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《半导体学报》 2003年07期
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退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响

吕建国  叶志镇  黄靖云  赵炳辉  汪雷  
【摘要】:研究了退火处理对 Zn O薄膜结晶性能的影响 .Zn O薄膜由直流反应磁控溅射技术制得 ,并在 O2 气氛中不同温度 (2 0 0~ 10 0 0℃ )下退火 ,利用 X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)和 X射线光电子能谱 (XPS)对其结晶性能进行了研究 ,提出了一个较为完善的 Zn O薄膜退火模型 .研究表明 :热处理可使 c轴生长的薄膜取向性增强 ;随退火温度的升高 ,薄膜沿 c轴的张应力减小 ,压应力增加 ;同时晶粒度增大 ,表面粗糙度也随之增加 .在 6 4 0℃的应力松弛温度 (SRT)下 ,Zn O薄膜具有很好的 c轴取向 ,沿 c轴的应力处于松弛状态 ,晶粒度不大 ,表面粗糙度较小 ,此时 Zn O薄膜的结晶性能最优 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
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6 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
7 杨成兴,季振国,刘坤,樊瑞新,叶志镇;雾化热解法制备ZnO薄膜及其光电性能[J];半导体学报;2002年10期
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10 张喜田,刘益春,支壮志,张吉英,申德振,许武,钟国柱,范希武;热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射[J];半导体学报;2003年01期
中国博士学位论文全文数据库 前8条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宋学萍,孙兆奇;氩气分压与膜厚对溅射Al膜微结构及应力的影响[J];合肥工业大学学报(自然科学版);2004年04期
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7 曾广根,冯良桓,黎兵,张静全,蔡亚平,郑家贵,蔡伟,郑华靖,陈茜,李卫;玻璃衬底上CdTe薄膜的制备及其性质[J];半导体光电;2005年03期
8 郭爱云,薛亦渝,夏志林,朱选敏,葛春桥;电子束蒸发沉积ZAO薄膜正交试验[J];半导体技术;2005年07期
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10 杨华明,杜春芳,欧阳静,张向超,苏晓辉;掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展[J];微纳电子技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 张立德;;国内外纳米材料与纳米结构研究的最新进展[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 周丽萍;吕珺;汪冬梅;陈雯雯;吴玉程;郑治祥;;退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李晓峰;第三代像增强器研究[D];中国科学院西安光学精密机械研究所;2001年
2 赵智彪;GaN和AIGaN/GaN的RFP-MBE生长及其特性研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 张秀娟;厚度和基底对FeS_2薄膜结构和性能的影响[D];浙江大学;2003年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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3 孟庆超;葛圣松;邵谦;;溶胶-凝胶法制备纳米薄膜技术应用研究进展[J];山东科学;2006年04期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 吴淼;非制冷红外探测器用高TCR氧化钒薄膜的制备研究[D];天津大学;2005年
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王晓晖,刘祥林,江度,陆大成;用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究[J];半导体学报;1997年11期
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1 张锡健;马洪磊;王卿璞;马瑾;宗福建;肖洪地;计峰;;退火温度对射频磁控溅射法生长的Mg_(0.16)Zn_(0.84)O薄膜性质的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
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3 江风益;;硅衬底氮化镓LED材料与器件研发进展[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
4 钟泽;苏剑锋;舒姮;陈小庆;傅竹西;;MOCVD低温外延ZnO/Si薄膜及其性质的研究[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
5 陈瑞;边旭明;范佰杰;何春河;李丽;;射频溅射生长氧化锌及氧化锌的腐蚀[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
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7 范广涵;;氮化物材料与光电器件若干基本问题的探索研究[A];第十一届全国MOCVD学术会议论文集[C];2010年
8 张翼英;杜丕一;韩高荣;;射频PECVD法制备Si-C-H薄膜的研究[A];薄膜技术学术研讨会论文集[C];2003年
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1 李翠平;ZnO/金刚石多层膜结构的高频SAW滤波器关键技术的研究[D];天津大学;2012年
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1 林小璇;TiN节能镀膜玻璃的APCVD法制备及热处理工艺研究[D];浙江大学;2011年
2 张志清;高催化活性TiO_2修饰MPOF的制备及应用技术探索[D];陕西科技大学;2012年
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4 李冬梅;硅基ZnO材料生长与硅基GaN交通绿LED老化性能研究[D];南昌大学;2006年
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6 万文坚;ZnO/CuSCN异质结的制备及性能研究[D];华南理工大学;2011年
7 卢慧粉;磁控溅射制备PbTe薄膜及Al惨杂性能的研究[D];山东师范大学;2012年
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9 王一鹏;等离子体浸没注入技术对半导体材料的改性研究[D];复旦大学;2010年
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