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《半导体学报》 2003年06期
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铝掺杂氧化锌薄膜在玻璃衬底上的RF反应共溅射低温织构生长

邵乐喜  张昆辉  黄惠良  
【摘要】:以金属锌 ( Zn)和铝 ( Al)为靶材采用射频 ( RF)反应共溅射技术在低温 ( 2 0 0℃ )玻璃衬底上沉积了铝掺杂氧化锌 ( Zn O∶ Al)薄膜 .运用扫描电子显微镜 ( SEM)、能量色散 X射线谱 ( EDX)、表面轮廓仪 (α- Step)、X射线衍射( XRD)和双光束紫外 -可见光谱仪 ( U V- VIS)等分别对沉积样品的表面和断面的形貌结构、组成成分和光学特性进行了分析表征 .研究了反应气体氧与氩流量比 ( O2 / Ar)和 RF溅射功率对沉积样品的生长速率、结构特征和光电学性质的影响 .结果表明 ,薄膜的成长速率强烈依赖于 RF溅射功率 ,而薄膜的结构形貌和成分的化学配比则主要由反应气体流量比 O2 / Ar决定 .通过对沉积参数的优化但未经退火处理 ,得到了六角纤锌矿结构单一 ( 0 0 0 2 )结晶方向的 Zn O∶ Al薄膜 ,其可见光透过率达 85 % ,电阻率在 10 - 1 ~ 10 3Ω· cm之间 .实验发展的低温 RF共溅射技术不仅具有造价低廉、工艺简单可靠和材料来源广泛等特点 ,而且还能有效防止器件底层材料间的互扩散 ,沉积薄膜的性能基本符合光电器件涂层特别是薄膜太阳电池窗口层应用的要求 ,易于工业规模化地生产和推广

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【引证文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 邵乐喜;陈小敏;;太阳电池用氧化锌薄膜的蒸发氧化制备及其光电特性[A];第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 白秀琴;低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究[D];机械科学研究总院;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 徐艺滨;ZnO:Al薄膜的制备与特性研究[D];大连理工大学;2006年
2 段启亮;ZAO(掺铝氧化锌)导电膜的制备及特性研究[D];郑州大学;2005年
3 李志峰;气相沉积中薄膜织构的形成与价电子结构的关系[D];北京化工大学;2007年
4 殷胜东;ZnO:Al薄膜的制备及其性质的研究[D];重庆师范大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 刘舒曼,刘峰奇,郭海清,张志华,王占国;ZnO∶Tb纳米晶的制备、结构与发光性质[J];半导体学报;2001年04期
3 邵乐喜,黄春明,刘小平,屈菊兰,谢二庆;直流二极反应溅射沉积透明ZnO薄膜[J];真空电子技术;2002年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吕建国,叶志镇,汪雷;ZnO薄膜紫外受激发射研究的最新进展[J];半导体光电;2002年03期
2 王瑞华,李怀祥,张华,赵婧;制备纳米发光氧化锌的新方法[J];微纳电子技术;2004年02期
3 杨丽萍;刘锋; 韩焕鹏;;氧化锌材料的研究与进展[J];微纳电子技术;2007年02期
4 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
5 范志新;透明导电薄膜最佳掺杂含量的理论计算[J];半导体学报;2002年06期
6 杨成兴,季振国,刘坤,樊瑞新,叶志镇;雾化热解法制备ZnO薄膜及其光电性能[J];半导体学报;2002年10期
7 邹璐,叶志镇,黄靖云,赵炳辉;脉冲激光沉积法生长Zn_(1-x)Mg_xO薄膜[J];半导体学报;2002年12期
8 吕建国,叶志镇,张银珠,黄靖云,赵炳辉;固体源化学气相沉积生长c轴平行于衬底的ZnO薄膜(英文)[J];半导体学报;2003年01期
9 张喜田,刘益春,支壮志,张吉英,申德振,许武,钟国柱,范希武;热氧化制备纳米氧化锌薄膜的光致发光和室温紫外激光发射[J];半导体学报;2003年01期
10 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 邵乐喜;陈小敏;;太阳电池用氧化锌薄膜的蒸发氧化制备及其光电特性[A];第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛论文集[C];2004年
2 方玲;庄大明;吴敏生;赵大庆;;ITO薄膜组织结构与光电性能的关系研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 万翠凤;金胜明;;氧化锌掺杂制备高导电性粉末及应用[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
2 詹自力;纳米In_2O_3气敏性能及其气敏机理研究[D];郑州大学;2003年
3 马勇;ZnO薄膜制备及性质研究[D];重庆大学;2004年
4 马艳;ZnO薄膜的MOVPE法生长、掺杂及X光取向研究[D];吉林大学;2004年
5 袁国栋;Al-N共掺杂实现p型ZnO的机理及其相关器件基础研究[D];浙江大学;2006年
6 张银珠;脉冲激光沉积法生长ZnMgO合金薄膜和Li-N共掺p型ZnO薄膜及紫外探测器的研制[D];浙江大学;2006年
7 白秀琴;低温气相沉积薄膜及其摩擦学性能研究[D];机械科学研究总院;2006年
8 王琳;低维ZnO材料的外场制备、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2006年
9 蔡琪;新型Ag-ITO复合薄膜的制备、微结构及光电性质表征[D];安徽大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴旺;氧化物透明导电薄膜的溶胶—凝胶法制备[D];西安理工大学;2002年
2 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
3 杨成兴;雾化汽相沉积法制备ZnO薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2003年
4 巩锋;溶胶—凝胶法制备Al~(3+):ZnO薄膜及其性能研究[D];北京工业大学;2003年
5 宋永梁;溶胶凝胶法制备ZnO和Mg_xZn_(1-x)O薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2004年
6 王雅欣;ZnO:Al透明导电膜的性能研究及其在薄膜太阳能电池上的应用[D];河北工业大学;2004年
7 余俊;溅射法制备ZAO透明导电薄膜及其光电性能的研究[D];武汉理工大学;2004年
8 张贤高;ITO纳米粉的低温制备[D];华中师范大学;2004年
9 张景林;金属有机物化学汽相外延法生长ZnO薄膜[D];吉林大学;2004年
10 陶海华;有机薄膜电致发光器件(OLED)研究和研制[D];郑州大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 王卿璞,张德恒,薛忠营;射频磁控溅射ZnO薄膜的光致发光[J];半导体学报;2003年02期
3 苏青峰,夏义本,王林军,张明龙,楼燕燕,顾蓓蓓,史伟民;(100)定向CVD金刚石薄膜的制备及其电学性能[J];半导体学报;2005年05期
4 陈源,张德恒,马瑾,杨田林;不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究[J];半导体杂志;1999年03期
5 王传新,汪建华,马志斌,满卫东,王升高,康志成,吴素娟;低偏压下化学气相沉积金刚石薄膜的生长形貌研究[J];材料保护;2003年05期
6 马勇,王万录,廖克俊;ZnO薄膜的择优取向生长[J];材料导报;2003年S1期
7 贾晓林,张海军,谭伟;氧化锌薄膜研究的新进展[J];材料导报;2003年S1期
8 汪雷;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱研究[J];材料科学与工程;2002年03期
9 周兰英,杨健,贾庆莲;TiN涂层微观组织结构与表面性能的研究[J];材料科学与工程;2003年01期
10 黄佳木,董建华,张兴元;工艺参数对RF磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜特性的影响[J];材料科学与工程;2003年02期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
2 黄美东;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究[D];大连理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 程春晓;柔性衬底上金刚石薄膜的制备及其附着性能研究[D];郑州大学;2005年
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 靳瑞敏;中温制备多晶硅薄膜及相关理论问题的探讨[D];郑州大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
2 张永康,刘建本,易保华,陈德根,肖卓炳,陈上;常温固相反应合成纳米氧化锌[J];精细化工;2000年06期
3 姜燮昌,胡勇;ITO膜透明导电玻璃的应用前景及工业化生产[J];真空;1995年06期
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