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《半导体学报》 2003年01期
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硅基法布里-珀罗微腔的室温发光

王燕  但亚平  岳瑞峰  刘理天  
【摘要】:提出了一种新型基于法布里 -珀罗 (F- P)微腔的发光器件结构 .它采用 PECVD方法制备的非晶硅 /二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔 ,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层 ,通过对一维方向光子的限制 ,使发光层荧光强度增强 ,谱线变窄 .通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率 ,可以精确控制发光峰位 .实验结果证明该结构可望实现全硅基材料的强室温可见光发射 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 许海军,李新建;多孔硅微腔研究进展[J];科学技术与工程;2004年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 许海军;硅纳米孔柱阵列及其硫化镉纳米复合体系的光学特性研究[D];郑州大学;2005年
2 陈瑞改;大屏幕CRT投影显示中微腔荧光屏的研制[D];四川大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 李成,杨沁清,朱家廉,王红杰,成步文,余金中,王启明,王鲁峰,彭晔;用于共振腔光电探测器的Si基Bragg反射器[J];半导体学报;2000年05期
2 王燕,岳瑞峰;高温退火前后低碳含量a-SiC_x∶H薄膜结构和荧光特性的研究[J];真空科学与技术;2001年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 范希智,李国军;薄膜限抑全反射的讨论[J];鞍山师范学院学报;1996年04期
2 袁英,杨帆,孙骐;溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究[J];安阳师范学院学报;2003年05期
3 杨帆,路达;多层介质高反膜理论设计与光学特性分析[J];安阳师范学院学报;2005年02期
4 周震;马建新;余重秀;;一种新型谐振腔增强型光调制器结构的研究[J];半导体光电;2006年03期
5 侯识华;孙捷;毛容伟;吴旭明;马骁宇;谭满清;陈良惠;;基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J];半导体光电;2006年05期
6 彭伟,戚兵,丁建华,林钧岫;采用偏振分光棱镜的光桥式补偿技术[J];半导体光电;1998年05期
7 康香宁,徐云,宋国峰,叶晓军,陈良惠;窗口型极小孔激光器的研制(英文)[J];半导体学报;2003年11期
8 赵妙;周代兵;谭满清;王晓东;吴旭明;;双源电子束蒸发制备Si/SiO_2光学薄膜的工艺[J];半导体学报;2006年09期
9 李阳;孟志国;吴春亚;王文;郭海成;张芳;熊绍珍;;多晶硅薄膜阳极微腔有机发光器件及其简化制备流程的研究[J];半导体学报;2008年01期
10 李芳,张诚,林永昌;膜系优化设计中的模糊输入及评价函数的改进[J];北京理工大学学报;2000年02期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 贺祥清;王平秋;刘琼;薛锦;于清;;薄膜非均匀性及其对增透膜性能的影响[A];2007年中国南京第三届全国光学技术(光学制造技术与装备)交流会论文集[C];2007年
2 赵升林;孙龙;;薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
3 金扬利;马勉军;;导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
4 任秀娟;曹雪峰;;关于蓝宝石减反膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
5 鄢秋荣;黄伟;张云洞;;傅里叶合成法设计渐变折射率薄膜[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
6 徐清;黄美东;侯兴刚;吉亚萍;;金属/介电一维光子晶体的带隙特征研究[A];中国兵工学会2009年光学与光电技术交流会论文集[C];2009年
7 周言敏;李建芳;王君;袁勇;梅高国;;宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
8 李建芳;周言敏;王君;袁勇;梅高国;;光学薄膜在激光测距望远镜中的应用及设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 雷洁红;锂氢同位素化合物性质的理论研究及其薄膜的制备[D];中国工程物理研究院;2010年
2 王琼华;投影管中高亮度高分辨率YAG荧光屏的研制[D];电子科技大学;2000年
3 吴东江;有机及聚合物微腔激光器[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
4 邓云龙;涡轮LP-MOCVD研制GaInP/GaA1InP应变多量子阱高亮度发光二极管[D];华南师范大学;2002年
5 陈文彬;有机电致发光器件设计与制作[D];电子科技大学;2002年
6 余海湖;静电自组装纳米复合薄膜研究[D];武汉理工大学;2002年
7 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
8 陈波;空间极紫外太阳望远镜光学性能研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
9 张胜涛;铅、镍、铝、锌和铜电极改性的研究[D];重庆大学;2003年
10 刘强;高损伤阈值介质膜层的制备及其研究[D];四川大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李东海;短脉冲激光对材料的作用及破坏机理研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
3 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
4 赵元安;激光偏振膜稳定性研究[D];四川大学;2001年
5 赵秋玲;消色差相位延迟器的测试研究与性能优化设计[D];曲阜师范大学;2001年
6 刘锋;CVD法纳米硅系复合薄膜的微结构、性能及新型无光污染节能镀膜玻璃的研究[D];浙江大学;2002年
7 范树海;智能化多功能偏振参数测量系统的研制和改进[D];曲阜师范大学;2002年
8 曹明德;用于高亮度发光二极管的布拉格反射器研究[D];华南师范大学;2002年
9 李小甫;薄膜光波导新型成膜方法的研究[D];武汉理工大学;2002年
10 唐敏学;反射体全息的衍射偏振特性研究[D];苏州大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘明大,石家纬,李永军,陆羽,杨洪军,缪同群,金恩顺;微腔有机发光二极管[J];半导体光电;2000年03期
2 徐伟弘,晁战云,汪开源;多孔硅吸收光谱和反射光谱[J];半导体光电;1997年02期
3 郑厚植;半导体微腔物理及其应用[J];半导体学报;1997年07期
4 刘宝利,王炳燊,徐仲英;分布布拉格反射器(DBR)对半导体微腔一些特性的影响[J];半导体学报;2001年03期
5 徐少辉,熊祖洪,顾岚岚,柳毅,丁训民,侯晓远;电化学脉冲腐蚀法制备窄峰发射的多孔硅微腔[J];半导体学报;2002年03期
6 钱志远;高端电视也有缺撼——谈目下液晶电视的不足[J];电子世界;2005年05期
7 朱昌昌;数字式微镜器件(DMD)投影显示简介[J];光电子技术;1995年03期
8 邢德松,石建新,龚孟濂,庞起;纳米硫化锌的原位制备及其对多孔硅复合体系发光的调控[J];高等学校化学学报;2004年01期
9 赵毅,夏明哲,杨德仁,周成瑶,阙端麟;多孔硅与有机发光材料复合的光电特性[J];光电子·激光;2003年09期
10 叶超,宁兆元,程珊华;用脉冲电化学法在低HF浓度下制备多孔硅的研究[J];功能材料;2002年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 李莎;时喜喜;蔡林涛;;基于微腔光学晶体生物传感器的研究进展[J];传感器与微系统;2009年12期
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 明奇;双槽电化学腐蚀制备多孔硅及其发光性能研究[D];郑州大学;2010年
2 冯春岳;基于硅纳米孔柱阵列的三氧化钨薄膜的气湿敏性能研究[D];郑州大学;2007年
3 彭宝剑;上转换发光显示三基色材料及其光电特性研究[D];四川大学;2007年
4 徐大余;多孔硅的制备及其光致发光性能研究[D];中南大学;2008年
5 胡欣;单层/多层多孔硅的电化学制备及其爆炸性能研究[D];重庆大学;2008年
6 陈建文;多孔硅/硫复合材料合成与爆炸性能评价[D];重庆大学;2009年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 雷海峰;温家良;金锐;刘明光;;SiC肖特基二极管在升压斩波电路中的应用分析[J];电力电子技术;2011年06期
2 高慧莹;;国内LED衬底材料的应用现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;2011年07期
3 司伟;;水热改性纳米荧光粉Eu_(0.12)Y_(1.78)Ca_(0.10)O_(3-δ)及其光致发光性能[J];人工晶体学报;2011年03期
4 刘东来;聂二勇;张云森;袁超;沈晓帆;杨治美;刘俊刚;龚敏;孙小松;;电化学阳极氧化制备多孔硅及其发光性能研究[J];半导体光电;2011年03期
5 王丹;李焕勇;介万奇;;化学气相沉积法制备ZnSe微球[J];人工晶体学报;2011年03期
6 李赟;孙永强;高汉超;许晓军;;优化主氢流量及C/Si比提高76.2 mm 4H-SiC同质外延浓度均匀性[J];固体电子学研究与进展;2011年03期
7 钱先华;蒲锡鹏;张大凤;吴淑通;刘建秀;张浩;赵杰;李梅静;;NaY(WO_4)_2:Eu~(3+)红色荧光粉的水热法制备及其发光性能研究[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
8 许露;梁红伟;刘远达;李春野;柳阳;边继明;李国兴;李万程;吴国光;杜国同;;MOCVD法制备Cu掺杂ZnO薄膜[J];发光学报;2011年09期
9 黄诗浩;李成;陈城钊;郑元宇;赖虹凯;陈松岩;;Si基Ge外延薄膜材料发光性能研究进展[J];半导体光电;2011年03期
10 任艳东;吕树臣;;发光二极管用SrWO_4:Eu~(3+)红光荧光粉激发谱强度的调控[J];物理学报;2011年08期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张永华;彭军;;蓝宝石复合衬底上生长的碳化硅薄膜的结构分析[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
2 李慧;卢卓宇;蒋昌忠;任峰;肖湘衡;蔡光旭;;离子注入形成SiC纳米颗粒的发光性能研究[A];中国硅酸盐学会特种玻璃分会第三届全国特种玻璃会议论文集[C];2007年
3 梁长浩;孟国文;吴玉程;张庶元;张立德;;准一维β-SiC纳米丝的制备、表征与物性研究[A];2000年材料科学与工程新进展(上)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4 万寿科;孙学浩;张金福;王占国;;宽禁带半导体材料及纳米材料的低温光致发光研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 韩凤兰;吴澜尔;陈宇红;;气流磨尾尘的超细粉碎[A];第七届全国颗粒制备与处理学术暨应用研讨会论文集[C];2004年
6 高积强;;SiC材料应用的现在与未来[A];电子信息产业炉窑技术与材料节能研讨会会议资料[C];2006年
7 杨艳;;化学气相沉积碳化硅[A];第三届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集(下)[C];2006年
8 李金望;田杰谟;董利民;;碳化硅前驱体的制备和结构分析[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
9 李金山;桑可正;吕振林;刘林;;颗粒级配SiC-Si复相陶瓷的干摩擦磨损特性[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集(一)[C];2002年
10 刘岩;黄政仁;董绍明;杨金晶;江东亮;;孔筋对碳化硅泡沫陶瓷力学性能的影响[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 李建新;滨河碳化硅四项指标世界第一[N];宁夏日报;2010年
2 记者杨沛洁;易成碳化硅新年实现“开门红”[N];平顶山日报;2009年
3 记者 朱军备通讯员 吴王斌 张文胜;“伏尔肯”新流水线投产[N];宁波日报;2007年
4 本报记者 王伟丽;天富热电碳化硅项目再添盈利点[N];上海证券报;2007年
5 胡全基;天祝碳化硅冶炼工业快速发展[N];武威日报;2008年
6 何讯;企业呼吁——海关应分类管理碳化硅出口[N];国际经贸消息;2001年
7 ;我国碳化硅技术取得重大进展[N];中国冶金报;2003年
8 刘斌;湖水微澜[N];国际经贸消息;2002年
9 ;天富热电(600509) 碳化硅晶片成功投产[N];中国证券报;2007年
10 见习记者 崔凯;天富热电碳化硅项目显战略意义[N];证券时报;2008年
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1 周子彦;齐聚对苯撑乙烯类衍生物的设计合成、光电性能及理论研究[D];延边大学;2005年
2 胡晓云;稀土掺杂凝胶基质发光材料的制备及性能研究[D];西北大学;2005年
3 郭星原;ZnO晶须和TiO_2单晶的浮区法生长及其光谱研究[D];吉林大学;2006年
4 邹优鸣;宽带隙半导体ZnO(及SiC)薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学技术大学;2006年
5 陈征;Si基SiC薄膜和低维SiO_2的生长及其光致发光机理研究[D];中国科学技术大学;2007年
6 邓锐;宽带隙半导体(ZnO,SiC)材料的制备及其光电性能研究[D];中国科学技术大学;2008年
7 周金元;碳化硅和稀土掺杂碳化硅纳米结构的制备及其性能研究[D];兰州大学;2010年
8 金龙真;有机溶剂热分解法碳化硅纳米电缆合成与性能研究[D];吉林大学;2009年
9 朱教群;三元层状碳化物Ti_3SiC_2的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2003年
10 孟永强;双重加热法合成碳化硅晶片的研究[D];中国地质大学(北京);2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘海林;反应烧结碳化硅凝胶注模成型工艺及烧结体性能研究[D];中国建筑材料科学研究院;2004年
2 陈雪萌;用LPCVD法在硅衬底上生长3C-Sic[D];西安理工大学;2002年
3 李改叶;AL_2O_3-SiC复合材料结构与性能的研究[D];武汉科技大学;2004年
4 辛峰;碳化硅非线性电阻灭磁系统在线监测研究[D];华北电力大学(北京);2010年
5 程小强;多晶硅源漏SiC N-MOSFET关键技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
6 张明亮;硅系合金生产中SiC的生成及其对炉内反应的影响[D];内蒙古科技大学;2007年
7 郑勇;高比表面积碳化硅的合成及在氨合成反应的应用[D];福建师范大学;2007年
8 常远程;碳化硅肖特基势垒二极管静态特性的研究[D];西安电子科技大学;2001年
9 郜锦侠;碳化硅PMOS器件特性模拟及仿真[D];西安电子科技大学;2002年
10 周莉;改性纳米SiC粒子填充聚甲醛及其性能研究[D];南京理工大学;2005年
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