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《半导体学报》 2003年01期
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固体源化学气相沉积生长c轴平行于衬底的ZnO薄膜(英文)

吕建国  叶志镇  张银珠  黄靖云  赵炳辉  
【摘要】:报道了利用固体源化学气相沉积 (SS- CVD)技术制备出 c轴平行于衬底的 Zn O薄膜 .固体 Zn(CH3COO) 2 ·2 H2 O为前驱体 ,在不同的生长条件沉积 Zn O薄膜 ,并利用 X射线衍射 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)、光学透射谱对其性能进行研究 .结果表明 ,在玻璃衬底上 ,当衬底温度较低 (2 0 0℃ )、源温较高 (2 80℃ )时 ,Zn O薄膜呈 (10 0 )与(110 )的混合取向 ,即 c轴平行于衬底 .对此 ,文中给出了一个可能的定性解释 .AFM测试表明薄膜表面平整度不够理想 ,该薄膜在可见光区域透射率为 85 % ,光学带宽约为 3.2 5 e V.

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【引证文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【参考文献】
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10 杨成兴;雾化汽相沉积法制备ZnO薄膜及其性能研究[D];浙江大学;2003年
【同被引文献】
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【二级引证文献】
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10 吴建锋;刘茜;徐晓虹;华全;杨帅;;用于复合型薄膜电极的TiO_2-ZnO复合溶胶的研究[J];陶瓷学报;2011年02期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘建党;第一性原理正电子寿命和能带计算及几种薄膜的慢正电子分析[D];中国科学技术大学;2010年
2 熊涛;基于放射源的慢正电子脉冲束装置的研制[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 田鸣;半导体纳米材料制备与性能研究[D];沈阳工业大学;2010年
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10 冯亚菲;声表面波器件的制备及其性能研究[D];黑龙江大学;2008年
【二级参考文献】
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1 李剑光,叶志镇,赵炳辉,袁骏;硅基上直流反应磁控溅射沉积优质ZnO薄膜及其性能研究[J];半导体学报;1996年11期
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1 贺洪波,范正修,姚振钰;多种基底上溅射沉积ZnO薄膜的结构[J];功能材料与器件学报;1999年01期
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10 薛玉明;刘维一;朴英美;李凤岩;何青;周志强;孙云;;孪生对靶溅射ZnO:Al薄膜的研究[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
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1 赵杰;热氧化法与PLD法制备ZnO薄膜及其特性[D];大连理工大学;2005年
2 陈健;超声雾化热解法制备ZnO薄膜结构及其性能研究[D];北京工业大学;2004年
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5 苏凤莲;PLD和MOCVD方法生长的ZnO薄膜结构及发光性能[D];安徽大学;2005年
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7 任思雨;射频磁控溅射氧化锌薄膜的制备、改性及光催化性能研究[D];暨南大学;2005年
8 盖艳琴;钪掺杂ZnO薄膜的电子结构与缺陷磁性的研究[D];吉林大学;2006年
9 刘玫;脉冲激光沉积(PLD)半导体材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2006年
10 刘宇;ZnO掺铝透明导电薄膜的制备及其光电性能研究[D];西安建筑科技大学;2006年
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