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《半导体学报》 2001年07期
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纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计

陈兢  刘理天  李志坚  
【摘要】:综合使用通用电路模拟软件 PSPICE和有限元分析软件 A NSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟 .得到了各项参数的优化值 ,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应 .在此基础上 ,提出了一种 Top- down的优化设计方式以准确预测系统的行为 ,分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 戎华,黄庆安,李伟华;F-I类比方法及MEMS梁的等效电路宏模型[J];半导体学报;2003年05期
2 宁瑾,刘忠立;电容式微传声器的性能模拟与优化设计[J];半导体学报;2003年08期
3 霍明学,刘晓为,张铁良,兰慕杰,王东旺;电容式多晶硅微声传感器的模拟与设计[J];压电与声光;2004年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
2 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
【共引文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 董欣;新型硅基红外探测器的研制[D];北京工业大学;2000年
2 卜丹;基于MEMS的硅梁谐振式气体传感器研制[D];黑龙江大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 卢桂章,赵新;基于部件库的MEMS设计方法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 康建初,尹宝林,高鹏;支持 MEMS 的 CAD/CAE 系统结构研究[J];北京航空航天大学学报;1998年04期
3 孟为民,李伟华,黄庆安;MEMS的设计方法与系统模拟[J];传感器技术;2001年10期
4 孙道恒;MEMS耦合场分析与系统级仿真[J];中国机械工程;2002年09期
5 陈大鹏,叶甜春,谢常青,李兵,赵玲莉,韩敬东,胥兴才;LPCVD制备纳米硅镶嵌结构氮化硅膜及其内应力[J];半导体学报;2001年12期
6 宁瑾,刘忠立;电容式微传声器的性能模拟与优化设计[J];半导体学报;2003年08期
7 蔡公和,刘忠玉,蔡丽梅;硅微声压传感器[J];传感技术学报;1998年02期
8 赵洋,任天令,刘理天,李志坚;微麦克风的研究及展望[J];电子商务;1999年12期
9 王阳元,武国英,郝一龙,张大成,肖志雄,李婷,张国炳,张锦文;硅基MEMS加工技术及其标准工艺研究[J];电子学报;2002年11期
10 张永怀,白鹏,刘君华;红外气体分析器[J];分析仪器;2002年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 黄小振;电容式振动微机械陀螺接口电路的设计、模拟与测试[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 程迎军,蒋玉齐,许薇,罗乐;焊料键合实现MEMS真空封装的模拟[J];半导体学报;2005年05期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 纪新明;MEMS红外光声气体传感系统的研究[D];复旦大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 李俊;支持MEMS系统级设计的仿真器研究[D];西北工业大学;2007年
2 任森;硅微谐振式压力传感器芯体设计与制作工艺研究[D];西北工业大学;2007年
3 闫子健;MEMS CAD器件级宏模型获取技术[D];西北工业大学;2007年
4 孙振新;力电耦合MEMS器件的VHDL-AMS建模方法[D];东南大学;2004年
5 吴学石;微电子机械系统降阶建模方法研究[D];浙江大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邹泉波,刘理天,李志坚;纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究[J];半导体学报;1996年12期
2 赵洋,任天令,刘理天,李志坚;微麦克风的研究及展望[J];电子商务;1999年12期
3 ;电子元件、组件[J];中国无线电电子学文摘;1999年05期
4 任天令,张林涛,刘理天,李志坚;新型集成微麦克风和扬声器的结构设计[J];半导体技术;2000年05期
5 任天令,张林涛,刘理天,李志坚;铁电-硅集成微麦克风和扬声器的理论设计[J];压电与声光;2000年04期
6 任天令,张林涛,刘理天,李志坚;一种新型集成微麦克风和扬声器的设计[J];电子器件;2000年04期
7 陈兢,刘理天,李志坚;纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计[J];半导体学报;2001年07期
8 ;电子元件、组件[J];中国无线电电子学文摘;2001年05期
9 ;电声元件、器件[J];电子科技文摘;2001年05期
10 ;微电子学、集成电路[J];中国无线电电子学文摘;2002年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 陈兢;刘理天;李志坚;;基于多孔硅技术的电容式微麦克风的分析与设计[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 本报记者 晁毓山;歌尔:专注声学科技 传递美好声音[N];中国高新技术产业导报;2008年
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