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《半导体学报》 2001年04期
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μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜的周期性结构和量子尺寸效应

徐明  王洪涛  冯良桓  周心明  蔡亚平  冯技文  徐宁  麦振洪  
【摘要】:利用射频辉光放电法 ,通过周期性交替切换两种耦合电极的方式 ,制备了 μc- Si∶ H/a- Si∶ H多层膜 .低角度X射线衍射 (L AXRD)测试表明 ,这种多层膜具有良好的周期性结构 .观察了上述多层膜的光学性质及电导率与温度的关系 ,发现其吸收边随着 a- Si∶ H层的减薄而蓝移 ,低温下的电导激活能 Ea 随着 a- Si∶ H层的减薄而减小 .

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杨恢东,吴春亚,麦耀华,李洪波,薛俊明,李岩,任慧智,张丽珠,耿新华,熊绍珍;VHF- PECVD法氢化微晶硅薄膜的低温制备(英文)[J];半导体学报;2002年09期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 郑家贵,冯良桓,蔡伟,黄天荃,蔡亚平,罗昭和,周心明;μc-Si:H/a-Si:H多层膜的制备及性质[J];半导体学报;1992年01期
2 周心明,郑家贵,曾家玉,黄天荃,邱淑蓁,蔡亚平,徐晓菲,冯良桓;Si:H薄膜的微结构及输运性质[J];太阳能学报;1989年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 郑家贵,冯良桓,蔡伟,黄天荃,蔡亚平,罗昭和,周心明;μc-Si:H/a-Si:H多层膜的制备及性质[J];半导体学报;1992年01期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王颖,申德振,张吉英,刘益春,张振中,吕有明,范希武;富硅量不同的富硅氮化硅薄膜的光致发光研究[J];液晶与显示;2005年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 邬洋;磁控溅射法所沉积SiN_x非晶薄膜的结构分析及发光特性研究[D];北京交通大学;2008年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 杨根;微晶硅薄膜的高速沉积研究[D];郑州大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 林鸿溢;;非晶硅和微晶硅的生长机理与结构模型研究[J];电子显微学报;1985年03期
2 周心明,郑家贵,曾家玉,黄天荃,邱淑蓁,蔡亚平,徐晓菲,冯良桓;Si:H薄膜的微结构及输运性质[J];太阳能学报;1989年01期
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