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《半导体学报》 1997年11期
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用于GaN生长的蓝宝石衬底化学抛光研究

王晓晖  刘祥林  江度  陆大成  
【摘要】:蓝宝石是生长GaN材料最常用的衬底,本文研究了H2SO4和H3PO4的混合酸液的温度、混合酸的比例以及腐蚀时间对蓝宝石腐蚀速率的影响.发现在H2SO4:H3PO4=3:1的溶液中的腐蚀速率是由表面化学反应速率所控制.利用X射线双晶衍射对除去蓝宝石表面的机械损伤层情况进行了测量.

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵之雯;牛新环;檀柏梅;袁育杰;刘玉岭;;蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究[J];微纳电子技术;2006年01期
2 李剑光,叶志镇,汪雷,赵炳辉,袁骏,阙端麟;用于制备GaN的硅基ZnO过渡层的高温热处理研究[J];半导体学报;1999年10期
3 陆大成,韩培德,刘祥林,王晓晖,汪度,袁海荣,王良臣,徐萍,姚文卿,高翠华,刘焕章,葛永才,郑东;InGaN/AlGaN双异质结绿光发光二极管[J];半导体学报;2000年04期
4 刘祥林,汪连山,陆大成,汪度,王晓晖,林兰英;掺硅氮化镓材料的MOVPE生长及其性质研究[J];半导体学报;1999年07期
5 陈伟华,叶志镇;GaN和Al_xGa_(1-x)N薄膜材料研究进展[J];材料科学与工程;1997年01期
6 赵之雯;;用于GaN生长的蓝宝石衬底片化学机械抛光工艺研究[J];大众科技;2007年04期
7 陆大成,刘祥林,韩培德,王晓晖,汪度,袁海荣;InGaN/AlGaN双异质结蓝光和绿光发光二极管[J];高技术通讯;2000年05期
8 王晓晖,刘祥林,陆大成,袁海荣,韩培德,汪度;MOVPE生长InGaN/GaN单量子阱绿光LED[J];高技术通讯;2001年02期
9 周海,姚绍峰;蓝宝石晶片纳米级超光滑表面加工技术研究[J];金刚石与磨料磨具工程;2005年05期
10 王铎;龚子洲;;熔融法制备蓝宝石[J];长春工业大学学报(自然科学版);2010年06期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宋悠全;紫外激光抛光蓝宝石晶体过程研究[D];广东工业大学;2011年
2 吴建林;单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究[D];浙江工业大学;2010年
3 周平;单晶蓝宝石的延性研磨加工研究[D];浙江工业大学;2010年
4 王晓红;SAPMAC法蓝宝石生长形态及机制研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 袁志勇;蓝宝石动态腐蚀行为及机理[D];哈尔滨工业大学;2011年
6 张嵩;GaN厚膜HVPE生长工艺的研究[D];河北工业大学;2011年
7 郭晓艳;短波长激光抛光蓝宝石工艺过程研究[D];广东工业大学;2007年
8 张帷;蓝宝石衬底MOCVD横向外延过生长GaN薄膜的研究[D];河北工业大学;2007年
9 王笑;基于FUZZY和TRIZ的蓝宝石研磨工艺参数优化设计研究[D];浙江工业大学;2008年
10 李树荣;蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制[D];大连理工大学;2008年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陆大成,刘祥林,汪度,王晓晖,林兰英;GaN的MOVPE生长和m-i-n型蓝光LED的试制[J];高技术通讯;1996年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 郭晓艳;魏昕;谢昕;;蓝宝石抛光技术的研究进展[J];机电工程技术;2006年09期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 吴建林;单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究[D];浙江工业大学;2010年
2 郭晓艳;短波长激光抛光蓝宝石工艺过程研究[D];广东工业大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 袁永春;氮化物半导体的发展趋势[J];四川有色金属;1998年03期
2 宋登元;GaN薄膜异质外延制备技术的进展[J];半导体光电;1994年04期
3 刘玉岭,桑建新,叶占江;表面活性剂对硅单晶片表面吸附颗粒的作用[J];半导体技术;2001年07期
4 狄卫国,刘玉岭,司田华;ULSI硅衬底的化学机械抛光技术[J];半导体技术;2002年07期
5 吕海涛,张维连,左燕,步云英;化学腐蚀法研究蓝宝石单晶中的位错缺陷[J];半导体技术;2004年04期
6 李冰,郭霞,刘莹,李秉臣,王东凤,沈光地;蓝宝石基LED外延片背减薄与抛光工艺研究[J];半导体技术;2005年09期
7 马小军;;美国固体照明技术进展概况[J];半导体技术;2006年01期
8 钟继;;超高亮度发光二极管芯片切割技术[J];半导体技术;2007年07期
9 顾忠良;GaN半导体研究与进展[J];半导体情报;1999年04期
10 李栓庆;GaN基半导体激光器发展动态研究[J];半导体情报;2000年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 吕紹旭;;2010台北光电周系列研讨会巡礼——从光电展LED研讨会看全球固态照明市场发展趋势[A];海峡两岸第十七届照明科技与营销研讨会专题报告暨论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
2 倪晓昌;飞秒激光微精细加工理论与实验研究[D];天津大学;2004年
3 许承海;SAPMAC法大尺寸蓝宝石晶体生长的模拟分析与应用研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王晓红;SAPMAC法蓝宝石生长形态及机制研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 徐峰;CVD金刚石厚膜的加工技术研究[D];南京航空航天大学;2002年
3 谢小柱;声光调QYAG脉冲激光修锐超硬磨料砂轮的试验研究[D];湖南大学;2002年
4 周一览;共聚焦激光扫描显微镜的研制[D];浙江大学;2002年
5 杨志兵;45钢硼-稀土(铬)共渗工艺与组织性能的研究[D];中南大学;2004年
6 孟兆祥;用于GaN材料制备的HVPE外延系统反应室模拟[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
7 章佶;超短脉冲与透明介质相互作用研究[D];华东师范大学;2005年
8 朱效立;准分子激光微细加工工艺和加工机理研究[D];北京工业大学;2005年
9 张韶辉;激光切割工艺技术研究[D];西安理工大学;2005年
10 游牧;超短激光脉冲与透明介质相互作用[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 胡春香;陶向阳;;脉冲激光沉积ZnO薄膜的结构和光学特性[J];安阳师范学院学报;2006年02期
2 魏恒;刘玉岭;陈婷;孙业林;刘效岩;;蓝宝石衬底表面粗糙度的研究[J];半导体技术;2009年08期
3 张泽芳;刘卫丽;宋志棠;;不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响[J];半导体技术;2012年04期
4 闫华,卢励吾,王占国;MOCVD生长的InGaN合金的性质[J];半导体学报;2001年02期
5 王国宏,沈光地,郭霞,高国,韦欣,张广泽,马骁宇,李玉璋,陈良惠;隧道结 Al Ga In P发光二极管(英文)[J];半导体学报;2002年06期
6 杨成兴,季振国,刘坤,樊瑞新,叶志镇;雾化热解法制备ZnO薄膜及其光电性能[J];半导体学报;2002年10期
7 吕建国,叶志镇,黄靖云,赵炳辉,汪雷;退火处理对ZnO薄膜结晶性能的影响[J];半导体学报;2003年07期
8 夏长生;李志锋;王茺;陈效双;陆卫;;抛物线型衬底InGaN/GaN发光二极管的模拟研究[J];半导体学报;2006年01期
9 王吉翠;邓乾发;周兆忠;李振;袁巨龙;;蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究[J];表面技术;2011年05期
10 李庚伟,吴正龙,杨锡震,杨少延,张建辉,刘志凯;氧离子束辅助激光淀积生长ZnO/Si的XPS研究[J];北京师范大学学报(自然科学版);2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 王芳;回长顺;刘涛;金玉竹;;蓝宝石平面元件加工工艺改进[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 卢焕明;硅基ZnO薄膜与一维ZnO材料的显微结构研究[D];浙江大学;2006年
2 薛书文;溶胶凝胶法制备ZnO基薄膜及离子注入研究[D];电子科技大学;2007年
3 张浴晖;射频磁控溅射法制备FC/ZnO有机—无机杂化材料及其结构与性能研究[D];东华大学;2008年
4 宋剑锋;曲面光学零件气囊抛光工艺参数优化及其相关技术研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
5 董艳锋;ZnO及其掺杂薄膜结构与性质研究[D];曲阜师范大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陶占春;Al_2O_3陶瓷化学机械磨削用磨具的研制及性能研究[D];大连理工大学;2010年
2 屠喜;气浮垫精密研抛设备改造及其工艺研究[D];西安工业大学;2011年
3 赵祥敏;磁控溅射制备A1N过渡层ZnO薄膜及其性能研究[D];牡丹江师范学院;2011年
4 吴建林;单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究[D];浙江工业大学;2010年
5 周平;单晶蓝宝石的延性研磨加工研究[D];浙江工业大学;2010年
6 李卫波;飞秒激光抛光碳化硅陶瓷材料的工艺过程研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 袁志勇;蓝宝石动态腐蚀行为及机理[D];哈尔滨工业大学;2011年
8 宋玲彦;透明导电膜ZGO的研究及其在硅基薄膜太阳电池中的应用[D];河北工业大学;2011年
9 翟静会;垂直式HVPE系统制备GaN衬底材料的数值模拟研究[D];河北工业大学;2011年
10 吴健;蓝宝石CMP加工机理与工艺技术的研究[D];浙江工业大学;2012年
【相似文献】
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1 孙澜,陈平,韩平,郑有,史君,朱嘉,朱顺明,顾书林,张荣;蓝宝石衬底上6H-SiC单晶薄膜的化学气相淀积生长[J];功能材料;2004年02期
2 冯丽萍,刘正堂,孙金池,崔虎;蓝宝石衬底上SiO_2薄膜的制备与光学性能[J];硅酸盐学报;2004年08期
3 李栓庆;GaN基半导体激光器发展动态研究[J];半导体情报;2000年03期
4 王娟,檀柏梅,赵之雯,李薇薇,周建伟;蓝宝石衬底片的抛光研究[J];电子工艺技术;2005年04期
5 赵之雯;牛新环;檀柏梅;袁育杰;刘玉岭;;蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究[J];微纳电子技术;2006年01期
6 冯丽萍;刘正堂;李强;;SiO_2薄膜对蓝宝石红外透过性能的改善[J];无机材料学报;2007年03期
7 马平;魏同波;段瑞飞;王军喜;李晋闽;曾一平;;蓝宝石衬底上HVPE-GaN厚膜生长[J];半导体学报;2007年06期
8 Fister;;蓝宝石RadeonHD2400XT静音超频版评测手记拿什么来爱你[J];电脑自做;2007年09期
9 ;1GB显存才够劲 蓝宝石Radeon HD4850 1GB海外版显卡[J];电脑迷;2009年11期
10 周兆忠;袁巨龙;文东辉;;蓝宝石衬底的超光滑表面加工进展[J];航空精密制造技术;2009年03期
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1 邵建人;向洪兵;杜继红;;交流系统接地网的腐蚀与防护研究[A];全国电网中性点接地方式与接地技术研讨会论文集[C];2005年
2 孙永福;宋玉鹏;董立峰;;海底土的电阻率特征及其腐蚀性分级评价[A];渤海湾油气勘探开发工程技术论文集(第十集)[C];2005年
3 马杰华;朱世富;赵北君;赵国栋;杨帆;陈宝军;何知宇;;AgGa_(1-x)In_xSe_2晶体的蚀坑研究[A];第四届西部十二省(区)市物理学会联合学术交流会论文集[C];2008年
4 胡毅;王力农;郑传广;;送电线路接地装置采用降阻剂的防腐问题分析[A];全国电网中性点接地方式与接地技术研讨会论文集[C];2005年
5 姚美意;周邦新;李强;刘文庆;王树安;黄新树;;Zr(Fe,Cr)_2第二相对Zr-4合金腐蚀时吸氢行为影响的研究[A];2006全国核材料学术交流会论文集[C];2006年
6 叶荣昌;侯建;张波;龙毅;常永勤;;室温磁制冷材料La(Fe_(0.94)Co_(0.06))_(11.7)Si_(1.3)在去离子水中腐蚀行为的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(3)[C];2007年
7 高明赞;徐天宁;蒋海平;干伟忠;;混凝土结构钢筋电解行为的模拟实验研究[A];第17届全国结构工程学术会议论文集(第Ⅱ册)[C];2008年
8 李莉;谢志海;赵敏;张旭;;大水沟油区注入水水质腐蚀与防护技术[A];中国化工学会2009年年会暨第三届全国石油和化工行业节能节水减排技术论坛会议论文集(下)[C];2009年
9 徐仰涛;尹燕;夏天东;;医用NiTi形状记忆合金在模拟人体环境中腐蚀速率的研究[A];中国生物医学工程进展——2007中国生物医学工程联合学术年会论文集(下册)[C];2007年
10 王子羲;赵京辉;李振华;王浩;夏海滨;王跃成;;不锈钢过滤材料耐海水腐蚀实验研究[A];中国科协2009年海峡两岸青年科学家学术活动月——海上污染防治及应急技术研讨会论文集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;蓝宝石将光技术带入芯片[N];中国计算机报;2002年
2 思怡;星光蓝宝石的故乡斯里兰卡[N];中国矿业报;2004年
3 记者 肖胤 卢志民 王剑慧;湛江——南海的蓝宝石[N];湛江日报;2009年
4 王壮凌;鉴别真假蓝宝石有高招[N];金融时报;2000年
5 本报记者  李锐;上海国投“蓝宝石”系列产品风行市场[N];上海证券报;2006年
6 余平 编译;镶嵌彩色宝石经验谈(下)[N];中国黄金报;2006年
7 中国科学院派驻慕尼黑科学院学者 陈晔;足球带给慕尼黑节日欢乐[N];中国经济时报;2010年
8 金绎;台北最大规模珠宝展华丽登场[N];中国黄金报;2007年
9 特约记者 邵釜明 李新俊 记者 常国梁;一台炉子能“长”85公斤蓝宝石[N];泰州日报;2011年
10 记者 李琦琨;贵阳产“蓝宝石”将打破国外垄断[N];经济信息时报;2010年
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1 朱振;碳化硅和蓝宝石衬底二氧化锡外延薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2012年
2 张丽;氧化锌薄膜的微结构调整及光、电、磁性质研究[D];河北大学;2009年
3 张岱宇;蓝宝石的冲击光辐射及其高压相图[D];西南交通大学;2008年
4 彭冬生;基于预处理衬底GaN外延生长及器件研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2007年
5 张克华;基于半固着磨具的蓝宝石延性域加工基础研究[D];浙江工业大学;2009年
6 何建平;环境与力学因素协同作用下的航空铝合金性能研究[D];南京航空航天大学;2002年
7 冯丽萍;蓝宝石衬底上中波红外增透保护膜系的设计、制备及性能[D];西北工业大学;2006年
8 杨天鹏;ZnO薄膜的等离子体辅助MOCVD生长及掺杂研究[D];吉林大学;2009年
9 吴昌聚;微/纳结构牺牲层腐蚀及其模型研究[D];浙江大学;2006年
10 许承海;SAPMAC法大尺寸蓝宝石晶体生长的模拟分析与应用研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 冯丽萍;蓝宝石衬底上SiO_2薄膜的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2004年
2 宋文燕;蓝宝石衬底上Si_3N_4膜系的制备工艺与性能研究[D];西北工业大学;2005年
3 吕瑜;蓝宝石衬底上Ga_2O_3薄膜的制备及性质研究[D];山东大学;2012年
4 田光;流速对二氧化碳腐蚀速率影响的研究[D];西安石油大学;2010年
5 殷和栋;蓝宝石变温弹性模量的实验测量[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 吕海涛;蓝宝石衬底与GaN外延层中缺陷与杂质的研究[D];河北工业大学;2004年
7 袁志勇;蓝宝石动态腐蚀行为及机理[D];哈尔滨工业大学;2011年
8 张征;科学测厚系统的研究及在炼化企业的应用[D];北京化工大学;2012年
9 王睿;薄壁不锈钢管在生活供水中腐蚀性试验研究[D];北京工业大学;2012年
10 冯蓓;二氧化碳驱采出液腐蚀的动态模拟研究[D];西安石油大学;2011年
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