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《半导体学报》 1997年09期
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薄层电阻测试Mapping技术

孟庆浩  孙新宇  孙以材  
【摘要】:利用改进的范德堡法微区薄层电阻测试探针技术对n-Si片上的硼扩散图形进行薄层电阻的测量,并用发度表示其分布,可得到薄层电阻的不均匀度及平均值.这种所谓Mapping技术更有利于评价材料质量.

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 张艳辉,孙以材,刘新福,陈志永;斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术[J];半导体学报;2004年06期
2 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
3 孙以材,魏占永,孙新宇,高振斌,刘惠丽;压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术[J];半导体杂志;1999年04期
4 孙以材,高振斌,贾德贵,石俊生,杨瑞霞;压力传感器芯片版图设计中若干重要问题(1)[J];半导体杂志;1999年01期
5 刘新福,孙以材;微区薄层电阻测试方法的研究[J];河北工业大学学报;2003年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
2 李晨山;半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用[D];河北工业大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 孙以材,石俊生;在矩形样品中Rymaszewski公式的适用条件的分析[J];物理学报;1995年12期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 宿昌厚;全域f函数及其直观表达式[J];半导体技术;1987年03期
2 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
3 孙新宇,王鑫,孙以材,孟庆浩,孙冰,李福林;微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用[J];半导体技术;1998年02期
4 宿昌厚,鲁效明;双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J];半导体学报;2003年03期
5 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
6 孙冰;微区电学测试探针技术[J];半导体杂志;1996年02期
7 廖贤安,刘业翔,毛振萍;TiB_2-C复合涂层阴极材料的研制与应用[J];材料导报;1995年02期
8 李晨山;孙以材;赵卫萍;;四探针Rymaszewski法电阻率测量新型电路[J];电子器件;2006年04期
9 孙以材,刘新福,高振斌,孟庆浩,孙冰;微区薄层电阻四探针测试仪及其应用[J];固体电子学研究与进展;2002年01期
10 刘新福,孙以材;微区薄层电阻测试方法的研究[J];河北工业大学学报;2003年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
2 刘翠响;面向微区电特性及其均匀性分析的图像测量系统[D];河北工业大学;2003年
3 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
4 夏明祥;用脉冲激光沉积法在硅衬底上生长IrO_2薄膜的研究[D];武汉理工大学;2006年
5 李晨山;半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用[D];河北工业大学;2007年
6 谢辉;大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究[D];河北工业大学;2007年
7 苏双臣;用四探针法测试硅片微区薄层电阻的稳定性研究[D];河北工业大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 秦秋石,盖洪凯,刘通,张治国;压力变送器用全焊接结构的扩散硅敏感元件的研制[J];半导体技术;1991年01期
2 曹颜顺;半导体器件中金线与基片焊接的可靠性[J];半导体技术;1993年02期
3 孙以材,范兆书,孙新宇,宁秋凤;电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性[J];半导体技术;2000年05期
4 孙以材,王静,赵彦晓,田立强,刘江;动态随机存储器IC芯片制造技术的进展与展望[J];半导体技术;2002年12期
5 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
6 刘芳,张玉明,张义门,郭辉;离子注入制备n型SiC欧姆接触的工艺研究[J];半导体技术;2005年04期
7 孙新宇,王鑫,孙以材,孟庆浩,孙冰,李福林;微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用[J];半导体技术;1998年02期
8 石林初;电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用[J];半导体技术;1999年02期
9 宿昌厚,鲁效明;双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J];半导体学报;2003年03期
10 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
2 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 宋青林,孙以材;压力传感器激励电源电压值的选择[J];传感器世界;2000年09期
2 李晨山;孙以材;赵卫萍;;四探针Rymaszewski法电阻率测量新型电路[J];电子器件;2006年04期
3 孙以材,孟庆浩,宫云梅,赵卫萍,武建平;四探针Mapping自动测试仪中电阻率温度系数的规范化拟合多项式的应用[J];电子学报;2005年08期
4 陈德英,茅盘松,张旭,王强;一种压阻式高g值加速度传感器[J];固体电子学研究与进展;2004年03期
5 莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中;压阻式金刚石微压力传感器[J];微细加工技术;2001年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 Zhang Husheng, Li Kejie, Song Ping, Ma Jinyong School of Mechatronic Engineering Beijing Institute of Technology Beijing 100081;Design of Silicon Piezoresistive High-shocking Accelerometer[A];Proceedings of the 5th International Symposium on Test and Measurement(Volume 1)[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 席占稳;MEMS传感器及在引信中的应用研究[D];南京理工大学;2003年
2 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 邓琼;基于高G微加速度计的自适应钻地引信系统研究[D];电子科技大学;2006年
2 陈思远;MEMS气体压力传感器的系统级封装(SiP)技术研究[D];南昌大学;2007年
3 李晨山;半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用[D];河北工业大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 于信明;崔玉兴;;GaAs工艺监测研究[J];半导体技术;2011年07期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 黄立凝;深亚微米集成电路互连电阻异常分析及其解决方法[D];复旦大学;2010年
2 李骥;RuTi基单层薄膜作为铜互连扩散阻挡层研究[D];复旦大学;2010年
3 何瑞;Si(110)衬底上镍硅化物形成研究[D];复旦大学;2010年
4 赵莹;先进铜接触工艺的扩散阻挡层的研究[D];复旦大学;2010年
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