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《微纳电子技术》 2015年06期
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金属成分对固态硫化CZTS薄膜性能的影响

曹中明  杨元政  许佳雄  谢致薇  
【摘要】:采用磁控溅射法制备铜锌锡(CZT)金属预制膜,再利用固态硫化法制备了Cu2ZnSnS4(CZTS)薄膜。研究了CZT金属预制膜中Sn的原子数分数对CZTS薄膜的化学成分、结构组织和光学性能的影响规律。结果表明:实验制备的CZT金属预制膜硫化后均能得到主相为CZTS的薄膜。在适当的范围内增加CZT金属预制膜中Sn的原子数分数可提高CZTS薄膜的结晶度,有利于生长均匀致密的CZTS薄膜;Sn的原子数分数过高时,硫化后制得的CZTS薄膜存在杂相Sn2S3。当CZT预制膜中各成分的原子数分数比为yZn/ySn=0.24,yCu/yZn+Sn=0.33时,固态硫化后可获得表面均匀致密、具单相的CZTS薄膜,该薄膜中yZn/ySn=1.15,yCu/yZn+Sn=0.92,光吸收系数达104 cm-1,光学带隙为1.52 eV。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
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中国期刊全文数据库 前6条
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