收藏本站
《微纳电子技术》 2009年04期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于探针形式的三维硅微力传感器

林启敬  赵玉龙  蒋庄德  王鑫垚  王伟忠  
【摘要】:为满足三维微力测量的需求,以MEMS体硅压阻工艺技术为基础,研制了一种基于微探针形式,具有μN级三维微力测量和传感能力的半导体压阻式三维微力硅微集成传感器。传感器采用相互迟滞的4个单端固支硅悬臂梁,支撑中间的与微力学探针结合在一起的质量悬块的结构形式,在4mm×4mm的硅基半导体芯片上用MEMS体硅工艺集成而成。通过ANSYS数值仿真的方法分析了三维硅微力传感器结构的应力特点,解决了三维微力之间的相互干扰问题,并对传感器性能进行了测试。结果表明,其X、Z方向的线性灵敏度分别为0.1682、0.0106mV/μN,最大非线性度分别为0.19%FS和1.1%FS。该传感器具有高灵敏度、高可靠性、小体积、低成本等特点。

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 应科炜;吴文贡;汤达斌;胡洪平;冯勇建;;ADXRS角速度检测陀螺仪原理及应用[J];传感器世界;2006年01期
2 盛平;王寿荣;许宜申;;硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究[J];测控技术;2006年10期
3 张正元;徐世六;税国华;胡明雨;刘玉奎;;热激励硅基谐振型压力传感器技术研究[J];微电子学;2006年01期
4 揭琳锋;王国林;周孔亢;;智能轮胎传感器技术研究现状[J];汽车工程;2006年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘庆;;SST数字化隔离型压力/差压变送器[A];第十八届多国仪器仪表学术会议暨展览会学术论文集(应用篇)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 邱成军;基于MEMS技术新型压电微驱动器的研制[D];哈尔滨工程大学;2005年
2 金浩;薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的若干问题研究[D];浙江大学;2006年
3 王敏锐;ZnO薄膜压电微力传感器/执行器研究[D];大连理工大学;2007年
4 沈雪瑾;硅微单侧直脚谐振器与复合V型梁热致动器的机械性能研究[D];上海大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴慧;微惯性测量系统关键器件的研究[D];中北大学;2005年
2 俞科挺;FBAR双工器的分析和设计[D];浙江大学;2006年
3 卜丹;基于MEMS的硅梁谐振式气体传感器研制[D];黑龙江大学;2006年
4 伍艺;基于MEMS光栅光调制器的机电特性及控制系统研究[D];重庆大学;2006年
5 毛海央;压阻式微加速度计的误差机理分析[D];中北大学;2007年
6 王建;GaAs基共振隧穿压阻式声传感器研究[D];中北大学;2007年
7 徐玉明;超声—电解复合微细加工应用基础研究[D];扬州大学;2007年
8 夏文明;硅微微压传感器设计研究[D];江苏大学;2007年
9 秦维;多模移动终端射频前端中RF MEMS开关的研究[D];北京邮电大学;2007年
10 杨志伟;微凸起和微坑结构的特种加工成形技术研究[D];南京航空航天大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 王立鼎,刘冲;微机电系统科学与技术发展趋势[J];大连理工大学学报;2000年05期
2 吴鹰飞,周兆英;柔性铰链的设计计算[J];工程力学;2002年06期
3 吴鹰飞,周兆英;压电驱动柔性铰链机构传动实现超精密定位[J];机械强度;2002年02期
4 李学东,余志伟,杨明忠;基于MEMS技术的微型传感器[J];仪表技术与传感器;2005年09期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 肖素艳;车录锋;李昕欣;王跃林;;基于柔性MEMS皮肤技术温度传感器阵列的研究[J];光学精密工程;2005年06期
2 张文栋,石云波;新型复合硅微传感器的设计[J];纳米技术与精密工程;2004年01期
3 姜力,刘宏,蔡鹤皋;多维力/力矩传感器静态解耦的研究[J];仪器仪表学报;2004年03期
4 武宇,赵湛,方震,张博军;基于聚酰亚胺的温湿压集成传感器[J];仪器仪表学报;2004年S2期
5 徐敬波;赵玉龙;蒋庄德;张大成;杨芳;孙剑;;基于SOI的集成硅微传感器芯片的制作[J];半导体学报;2007年02期
6 张昭勇,秦明,张中平,黄庆安;CMOS集成二维风速和风向传感器的研制[J];仪器仪表学报;2003年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘修泉;李艳红;薛凯峰;黄平;;胶囊微机电无线能量传输系统设计与试验研究[J];工程设计学报;2011年03期
2 苏虎平;沈三民;安震;刘文怡;刘龙飞;任伟;;基于加速度计的陀螺三轴角速率提取算法研究[J];传感器与微系统;2011年07期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王立鼎;;微机电系统的发展趋势及国内外研发状况(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
2 贾继伟;金延中;张凤翠;;浅析微机电(MEMS)系统技术及其应用[A];十三省区市机械工程学会第五届科技论坛论文集[C];2009年
3 陈志勇;周斌;张嵘;;一种微机械硅谐振梁加速度计[A];2009中国仪器仪表与测控技术大会论文集[C];2009年
4 董景新;;微机械惯性仪表在国内外的发展[A];2003年惯性技术科技工作者研讨会论文集[C];2003年
5 郭增军;米淑静;;微机电系统(MEMS)与计量[A];企业计量测试与质量管理——中国科协2005年学术年会论文集[C];2005年
6 王庆敏;苏木标;刘玉红;陈保平;;MEMS加速度传感器在桥梁横向动位移监测中的应用[A];2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集(二)[C];2007年
7 徐爱东;杨拥军;卢新艳;;MEMS惯性器件的新进展及应用[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
8 张永宇;沈雪瑾;赵江铭;陈晓阳;;热致动硅微夹钳实验研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
9 何高法;唐一科;何晓平;刘世明;;一种新型谐振式微加速度计设计和分析[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
10 吴群;;微机电系统应用技术新进展[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 陈丹;科学家研制出可自我校准的微机电系统[N];科技日报;2010年
2 电脑报 陈平;小胶囊 大智慧[N];电脑报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟莹;微机电系统谐振器面内运动检测的激光多普勒方法[D];天津大学;2005年
2 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
3 范细秋;纳米压印及MEMS仿生功能表面制备的研究[D];华中科技大学;2006年
4 佟建华;压电双晶梁在微电机及微力传感器上的应用研究[D];大连理工大学;2006年
5 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
6 冷长林;基于激光多普勒技术的微机电系统运动检测[D];天津大学;2007年
7 刘危;基于MEMS的低成本MIMU的应用研究[D];国防科学技术大学;2004年
8 郭彤;基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究[D];天津大学;2004年
9 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
10 孔胜利;微梁力学性能尺寸效应的研究[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李杨;三维无线能量传输技术在体内微机电系统中的实验研究[D];华南理工大学;2011年
2 熊建功;基于MEMS细胞电融合芯片及其外围驱动电路的设计[D];重庆大学;2006年
3 刘佳;基于MEMS微致动器的碟翼流动控制研究[D];西北工业大学;2006年
4 王晶东;基于激光位移量测量的微小摩擦力测试系统研究[D];长春理工大学;2008年
5 张涛;激光多普勒微机电系统运动检测电路与软件设计[D];天津大学;2007年
6 徐景辉;MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究[D];西北工业大学;2006年
7 王志陶;电热微致动器的多能量域建模与仿真技术研究[D];燕山大学;2006年
8 俞静峰;MEMS微型可编程光栅技术研究[D];西北工业大学;2006年
9 姚占朝;面向主动流动控制的微致动器阵列与仿真分析[D];西北工业大学;2006年
10 闫子健;MEMS CAD器件级宏模型获取技术[D];西北工业大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026