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《微纳电子技术》 2007年Z1期
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石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系

田文杰  宁永怀  崔媛媛  鄂然  张福学  
【摘要】:根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器。采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较。实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 田文杰;路峻岭;刘玲玲;张福学;;切变振动型石英晶体谐振器的特点及其应用[J];压电与声光;2006年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 崔媛媛;田文杰;鄂然;;单基三电极石英晶体谐振器频率-温度特性研究[J];微纳电子技术;2007年Z1期
2 罗兵;田文杰;邹淑芳;;薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验[J];微纳电子技术;2009年08期
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中国重要会议论文全文数据库 前4条
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4 田文杰;宁永怀;崔媛媛;鄂然;张福学;;石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 路峻岭,田文杰;AT切石英晶体频率力敏特性的实验研究[J];仪表技术与传感器;2003年08期
2 徐菲;葛运建;双丰;丁俊香;李珊红;;基于新型导电橡胶的三维力柔性阵列触觉传感器研究[J];仪器仪表学报;2011年06期
3 关丛荣,孙喜文;力敏Z元件的性能及在力传感器中的应用[J];黑龙江工程学院学报;2004年02期
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8 苏中,高晶敏,路峻岭;BK14-2型压电石英加速度计的研究[J];中国惯性技术学报;1998年04期
9 朱惠忠,冯冠平;差动式石英谐振力传感器[J];仪表技术与传感器;1999年05期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 田文杰;宁永怀;崔媛媛;鄂然;张福学;;石英单基多谐振器力敏特性与加力方位的关系[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
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