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《微纳电子技术》 2007年03期
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溶胶-凝胶旋涂法制备ITO薄膜

陈健  张江  高善民  曲荣君  
【摘要】:以InCl_3和SnCl_4·5H_2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺,在普通玻璃基片上制备掺锡氧化铟(ITO)纳米透明导电薄膜。应用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)对薄膜进行表征;研究了不同热处理温度、热处理时间及不同旋转速度对薄膜形态和结构的影响。结果表明,采用溶胶-凝胶旋涂法制备的ITO薄膜是由立方相纳米颗粒构成,随涂层增加,薄膜表面变得平滑。随热处理温度的提高或时间的延长,薄膜由非晶态逐渐转化为良好的晶态薄膜。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 高洪;陈炎兵;孙志刚;;溶胶-凝胶法制备Fe掺杂In_2O_3薄膜的室温铁磁性[J];武汉理工大学学报;2008年09期
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 汪莹莹;ITO功能纺织材料结构表征及其光电性能研究[D];江南大学;2008年
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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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4 马颖,张方辉,靳宝安,牟强,袁桃利;ITO透明导电薄膜的制备及光电特性研究[J];液晶与显示;2004年05期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前1条
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中国博士学位论文全文数据库 前7条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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10 潘洪涛;溶胶—凝胶法制备ITO薄膜及其性质研究[D];内蒙古师范大学;2008年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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8 张树高,黄伯云,方勋华;ITO薄膜的半导化机理、用途和制备方法[J];材料导报;1997年04期
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10 夏冬林;杨晟;王树林;赵修建;;ITO薄膜直流反应磁控溅射制备及性能研究[J];材料导报;2005年11期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
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【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 王文杰;Cu掺杂TiO_2粉末的结构和磁性[D];天津大学;2010年
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【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 范志新,孙以材,陈玖琳;氧化物半导体透明导电薄膜的最佳掺杂含量理论计算[J];半导体学报;2001年11期
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9 周引穗,王俊,杨晓东,董庆彦,高爱华,胡晓云,陆治国;透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究[J];光子学报;2002年09期
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【相似文献】
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5 姚红霞;;纳米氧化锌的制备及表征[J];河套大学学报(自然科学版);2006年01期
6 文德;刘妙丽;李强林;;超顺磁性Fe_3O_4纳米粒子的制备和表征[J];四川师范大学学报(自然科学版);2011年03期
7 金俊翔;;用异丙醇作分散剂制备氧化铝载体及载体表征[J];中山大学研究生学刊(自然科学版);1995年04期
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2 张保平;张金龙;陈锋;;纳米ZnFe_2O_4柠檬酸盐前驱体法的制备与表征[A];第十三届(2009年)冶金反应工程学会议论文集[C];2009年
3 张凯;范敬辉;马艳;吴菊英;;一种室温相变乳状液的制备及表征[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
4 孙瑞琴;淳远;马丙丽;董家騄;须沁华;;化学镀饰有机胺研制两亲性酸性沸石[A];第十三届全国催化学术会议论文集[C];2006年
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6 刘兴泉;吴玉塘;于作龙;;草酸盐胶态共沉淀法制备Cu-Cr氧化物纳米粉[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
7 甘礼华;王曦;刘明贤;庞颖聪;徐子颉;郝志显;陈龙武;;乳液反应与常压干燥法制备SiO_2气凝胶微球及其表征[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(下册)[C];2006年
8 贺军辉;陈学成;;以聚合物为原料原位制备碳纳米管球的新方法[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
9 曹丙庆;潘勇;赵建军;黄启斌;;分子印迹聚合物的合成进展[A];第三届科学仪器前沿技术及应用学术研讨会论文集(三)[C];2006年
10 柳士忠;柳利;黄维扬;艾伟河;张春梅;杜祖亮;;有机金属聚合物/多酸杂化LB膜的制备与光电性质研究[A];中国化学会2005年中西部十五省(区)、市无机化学化工学术交流会论文集[C];2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
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6 徐冰;东亚四国球迷为何相互猜忌[N];北京科技报;2005年
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2 田猛;生物人工肝用聚砜非对称中空纤维膜的制备及表征[D];四川大学;2007年
3 陈栋田;钛氧化合物纳米带及其复合功能材料的制备与表征[D];山东大学;2008年
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6 孙军海;螺旋纤维的制备与表征[D];西南交通大学;2008年
7 吴方锐;树脂基碳泡沫的制备研究[D];同济大学;2007年
8 黄真;氟尼辛/磺丙基醚-β-环糊精超分子包合物的制备与表征[D];重庆大学;2009年
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10 申万意;介孔氧化锆的制备及其吸附性能研究[D];河北师范大学;2007年
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