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《微纳电子技术》 2005年04期
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掺杂纳米SnO_2气敏传感器的研究进展

杨华明  杜春芳  欧阳静  张向超  苏晓辉  
【摘要】:介绍了半导体气敏传感器的发展历史和掺杂纳米SnO_2气敏传感器的特性与应用;详细分析了掺杂金属单质、金属氧化物和稀土元素对SnO_2气敏性的影响,通过掺杂可以显著改善其对特定气体的灵敏度、稳定性和选择性等参数;利用元件表面的氧吸附理论分析掺杂纳米SnO2的气敏机理;展望了SnO_2气敏传感器的发展前景。

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 潘丽华;二氧化锡基材料的气敏性能与催化性能关系研究[D];郑州大学;2006年
2 包化成;SnO_2甲醛气体传感器性能改善[D];大连理工大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 宁文生,杜丕一,翁文剑,韩高荣,沈鸽;气敏材料的研究进展[J];材料导报;2002年08期
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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8 赵懿琨;连洁;张飒飒;王公堂;宫文栎;于元勋;卜刚;;ZnO基紫外探测器的研究进展[J];材料导报;2006年01期
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中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 汪庆卫;宁伟;蒋守宏;沈玉君;;二氧化锡电极的研究及其发展[A];全国玻璃窑炉技术研讨交流会论文集[C];2004年
2 汪庆卫;宁伟;蒋守宏;沈玉君;;二氧化锡电极的研究及其发展[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
3 王小兰;李历历;段学臣;;掺杂Sb对二氧化锡纳米粉末晶粒尺寸及电阻率的影响[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
4 朱静;陈振宁;吕祖舜;;锑掺杂氧化锡纳米粉体的制备及应用发展前景[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
5 杨华明;敖伟琴;张向超;张科;;掺杂SnO_2气敏传感器的研究进展[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
6 李俊寿;朱冰;尹晓春;;SnO_2纳米材料研究的新进展[A];2003年中国纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2003年
7 Gang Du, Daoli Zhang, Lan Zhao, Jianmei Xu and Dongxiang Zhou MOE Engineering Research Centre for Functional Ceramics, Department of Electronic Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology, No. 1037 Luoyu Road Hongshan District Wuhan City Hubei Province P. R. China 430074;On the Microstructure and Electrical Properties of Undoped and Antimony-Doped Tin Oxide Thin Film Deposited by Sol-Gel Process[A];Proceedings of the 3~〔rd〕International Conference on High-Performance Ceramics(CICC-3)(1)[C];2004年
8 王海燕;段启亮;陈泳生;靳瑞敏;杨仕娥;卢景霄;;N~+离子注入ZnO薄膜表面性质的变化[A];第八届全国光伏会议暨中日光伏论坛论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘艳丽;低维半导体氧化物的合成及气体传感器的研制[D];湖南大学;2005年
2 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
3 罗元香;火炸药用纳米催化剂的制备及性能研究[D];南京理工大学;2004年
4 杨留方;铁酸盐复合氧化物(MFe_2O_4)系列气敏材料的制备及新型气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2005年
5 杨建广;锡阳极泥制取纯(NH_4)_2SnCl_6、Sb_4O_5Cl_2及纳米ATO的新工艺和理论研究[D];中南大学;2005年
6 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
7 金欣;熔融共混和溶解—涂覆型导电纤维研究[D];天津工业大学;2006年
8 赵士超;H_2O_2溶液反应法制备纳米氧化锌颗粒及表征[D];浙江大学;2006年
9 赵红;基于AAO制备的低维材料及其在环境催化中的应用[D];中国科学院研究生院(大连化学物理研究所);2006年
10 江名喜;配合—水热氧化法合成锑掺杂二氧化锡纳米粉末及其吸波性能的研究[D];中南大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张爱芳;Fe离子掺杂TiO_2氧敏薄膜的制备与性能研究[D];中南大学;2005年
2 李巍;基于检测甲烷气敏传感器的制备和研究[D];福州大学;2006年
3 程书洁;基于阳极氧化铝模板的金属氧化物及其复合一维纳米材料的电泳沉积法制备和表征[D];河南大学;2007年
4 周杰;硫化物及氧化物纳米材料的低热固相合成及表征[D];新疆大学;2005年
5 汪庆卫;二氧化锡电极的研究及其强韧化[D];东华大学;2005年
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7 沈明;卫星数传系统及部件的EDA设计[D];中国科学院研究生院(空间科学与应用研究中心);2005年
8 朱泓;多孔氧化铝模板制备ZnO纳米阵列及其光学性能研究[D];合肥工业大学;2005年
9 吴世华;铟锡醇盐的合成及ITO薄膜溶胶-凝胶法制备技术研究[D];昆明理工大学;2001年
10 刘梅;纳米半导体气敏材料的制备及性质研究[D];延边大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 余隽,唐祯安,陈正豪,魏广芬,王立鼎,闫桂贞;基于硅微加工工艺的微热板传热分析[J];半导体学报;2005年01期
2 冯颖;王敏;;微流控层流技术的研究[J];化学进展;2006年Z2期
3 高晓红;张登松;施利毅;方建慧;曹为民;;碳纳米管/SnO_2复合电极的制备及其电催化性能研究[J];化学学报;2007年07期
4 蓝宇,张连杰;大型有限元分析软件ANSYS[J];应用科技;2000年06期
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6 高霞;童海英;李金霞;;纳米氧化铝[J];化学教学;2006年02期
7 赵玮婷,徐瑞芬,付国柱;纳米SnO_2/TiO_2半导体薄膜电极的制备及其光电响应性能[J];北京化工大学学报(自然科学版);2004年06期
8 牟柏林,侯天意,霍丽娟,孙申美;天然沸石负载ZnO/SnO_2复合半导体的光催化活性[J];硅酸盐学报;2005年11期
9 潘庆谊,徐甲强,刘宏民,安春仙,贾娜;微乳液法纳米SnO_2材料的合成、结构与气敏性能[J];无机材料学报;1999年01期
10 林朝阳,任春华;塑料专用母粒发展现状[J];工程塑料应用;2004年03期
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 张凤田;微热板真空传感器及其单芯片集成技术的研究[D];大连理工大学;2007年
2 史志存;电子鼻及其应用研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
3 魏广芬;基于微热板式气体传感器的混合气体检测及分析[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 包化成;SnO_2甲醛气体传感器性能改善[D];大连理工大学;2006年
2 李晶;ITO透明导电薄膜的溶胶凝胶法制备及工艺研究[D];中南大学;2004年
3 常剑;氧化铟基气敏材料的催化性能及敏感机理研究[D];郑州大学;2004年
4 黄晓东;SnO_2基纳米复合氧化物催化气敏性质研究[D];北京化工大学;2005年
5 吴娜;甲醛气敏元件研制及灵敏度特性研究[D];大连理工大学;2006年
6 潘丽华;二氧化锡基材料的气敏性能与催化性能关系研究[D];郑州大学;2006年
7 童利苹;表面修饰SnO_2气体传感器工艺研究及性能分析[D];哈尔滨理工大学;2006年
8 陈炽;二氧化锡气敏传感器的研究[D];西安电子科技大学;2006年
9 利佳;ZnSnO_3气敏材料的制备、掺杂及其气敏性能研究[D];重庆大学;2007年
10 邱美艳;薄膜型气体传感器的研究与制备[D];河北工业大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 娄向东,沈荷生,沈瑜生;ZnO系半导体陶瓷气敏传感器的进展[J];传感器技术;1991年03期
2 胡英,周晓华,魏红军;CuO—ZnO异质结气体传感器的敏感性能[J];传感器技术;2000年06期
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4 缪晓波;智能传感器·网络传感器·信息传感器[J];传感器世界;2000年01期
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6 罗文秀;任鹏程;谭忠恪;;汞灯辅助MOCVD SnO_2薄层晶体的结构与透明导电性研究[J];功能材料;1993年02期
7 杜新华,刘振祥,谢侃,王燕斌,褚武扬;溅射二氧化铈氧敏薄膜的XPS研究[J];功能材料;1998年06期
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【相似文献】
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1 李珍;刘岩岩;吴明红;焦正;赵兵;;电子束辐照改性二氧化锡传感器件的敏感特性[J];核技术;2008年11期
2 蔡晔,葛忠华,陈银飞;金属氧化物半导体气敏传感器的研究和开发进展[J];化工生产与技术;1997年02期
3 杨志华,余萍,肖定全;半导体陶瓷型薄膜气敏传感器的研究进展[J];功能材料;2004年01期
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5 田敬民;场效应气敏传感器的研究进展[J];仪表技术与传感器;1998年10期
6 宿元斌;;用非加热式气敏传感器的有毒气体报警器[J];电子制作;2006年07期
7 江妙瑞;M.T.Weller;全志敏;;亚硝酸钠沸石NO_2气敏传感器的研究[J];化学传感器;1995年01期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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7 王学文;李光辉;张珽;;自支撑单壁碳纳米管超薄膜的制备及其柔性气敏传感器[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年
8 程纲;王理想;武兴会;杜祖亮;;基于单根氧化物纳米线的高性能气敏传感器研究[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
9 刘瑞;丁海燕;林剑;张珽;;气流喷打印技术制备功能化碳纳米管气敏传感器[A];中国化学会第28届学术年会第4分会场摘要集[C];2012年
10 宋文龙;郑聚成;陈高峰;何芳远;林志东;;氧化钛锡复合纳米粉的制备及其气敏性[A];第九届全国微型化学实验研讨会暨第七届中学微型实验研讨会论文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 本报驻美国记者 毛黎;“嗅”出分子的差异[N];科技日报;2010年
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1 孙鹏;多孔硅基复合薄膜气敏传感器的研究[D];天津大学;2012年
2 李建平;微结构气敏传感器与电子鼻研究[D];中国科学院电子学研究所;2000年
3 谢海芬;基于纳米分子筛和碳黑聚合物敏感膜的气敏传感器研究[D];复旦大学;2005年
4 吴莉莉;纳米碳管气敏传感器及随机共振检测系统的研究[D];浙江大学;2007年
5 惠国华;基于随机共振和定向多壁纳米碳管气敏传感器阵列的SF_6气体检测系统的研究[D];浙江大学;2008年
6 郑俊褒;基于导电聚合物的QCM气敏传感器研究[D];浙江大学;2008年
7 刘涛;电子鼻长期漂移抑制算法的研究[D];重庆大学;2012年
8 张覃轶;电子鼻:传感器阵列、系统及应用研究[D];华中科技大学;2005年
9 方向生;基于电子鼻技术的电气火灾预警系统研究[D];浙江大学;2007年
10 傅均;基于嗅觉神经网络的电子鼻仿生信息处理技术研究[D];浙江大学;2009年
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1 牛坤;基于电化学原理的气敏传感器的系统设计[D];吉林大学;2012年
2 孙迎伟;掺杂对金属氧化物气敏传感器气敏性能的影响[D];华中科技大学;2012年
3 李云涛;基于单根SnO_2纳米线肖特基势垒的气体传感器研究[D];河南大学;2012年
4 刘博;硅基微结构SnO_2气体传感器结构改进研究[D];大连理工大学;2010年
5 费跃;碳纳米管基气敏传感器检测室内甲醛研究[D];华东理工大学;2011年
6 杨卉;SnO_2基乙炔气敏元件的研制[D];吉林大学;2013年
7 周志刚;MOS气敏传感器的制备及棉花模板WO_3的应用研究[D];华中科技大学;2011年
8 陈慧卿;多孔硅气敏传感器NO_2气敏性能改进研究[D];天津大学;2012年
9 胡冠山;延迟线型声表面波气敏传感器的研究[D];山东大学;2005年
10 魏亚飞;基于人工神经网络的机器嗅觉系统研究[D];昆明理工大学;2009年
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