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《微纳电子技术》 2004年05期
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微器件的热学加工技术研究与应用

白晓丹  刘静  
【摘要】:归纳和总结了微系统热学加工技术方面的最新研究进展,着重讨论从材料的热学性质出 :发,实现微 /纳电子机械系统元件制造的若干新颖、低成本的方法,并特别介绍其中一些典型应用情况。通过分析表明,随着对微加工过程中一些关键热学机理的深入研究,许多现有技术瓶颈和界限均可望被逐步打破,从而促成更有效的微加工技术的建立。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谢勇君;MEMS微结构动态测试方法及关键技术研究[D];华中科技大学;2006年
2 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
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4 余洪斌;MEMS-DMs理论设计及工艺研究[D];华中科技大学;2005年
5 张思杰;基于MEMS的消化道无线内窥镜的研究[D];重庆大学;2005年
6 刘素芬;交叉导流式微型混沌混合器的研究[D];浙江大学;2005年
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8 张燕君;光电集成加速度地震检波器的理论与实验研究[D];天津大学;2006年
9 李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
10 徐洁;微尺度器件及旋转干气密封微间隙内流体流动问题的研究[D];上海交通大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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2 赵全斌;基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
3 邓进军;基于MEMS的微致动器阵列用于三角翼气动控制技术研究[D];西北工业大学;2003年
4 吴琦;MEMS用硅基永磁薄膜阵列设计与制备研究[D];电子科技大学;2003年
5 陈爽;面向灵巧蒙皮的微型压力传感器的设计与分析[D];西北工业大学;2004年
6 刘奎;面向灵巧蒙皮的微型剪应力传感器设计与仿真[D];西北工业大学;2004年
7 全定策;磁力轴承结构设计及其转子结构特性分析[D];武汉理工大学;2004年
8 刘玲;玻璃微细加工工艺的研究与磁流体推进式微型泵样机的研制[D];浙江大学;2004年
9 陶志军;微静电开关的非线性动力学[D];天津大学;2004年
10 金翠云;基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术的研究[D];天津大学;2003年
【二级参考文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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4 ;物理学教授——温景嵩[J];科学学与科学技术管理;2002年05期
5 高海昌,崔舒宁,张元冲;电致伸缩/压电微尺度智能结构的伽辽金方法[J];微纳电子技术;2003年02期
6 王秋军,徐红玉,宋亚勤,张元冲;微尺度热传导理论及金属薄膜的短脉冲激光加热[J];微纳电子技术;2003年11期
7 白晓丹,刘静;微器件的热学加工技术研究与应用[J];微纳电子技术;2004年05期
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10 赵继德;李应良;马传龙;;微尺度下新型MEMS滤波器的研究[J];激光技术;2005年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 张禹;刘国权;秦湘阁;;金刚石薄膜生长过程的Potts蒙特卡罗仿真:显微尺度二维动态可视化图像模型的探索性研究[A];第九届中国体视学与图像分析学术会议论文集[C];2001年
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4 申光宪;陈占福;李明;黄庆学;李玉贵;史荣;赵宏伟;陈步权;王振华;;2050热轧精轧机自适应均载装置[A];2001中国钢铁年会论文集(下卷)[C];2001年
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7 骆广生;陈桂光;徐建鸿;汪家鼎;;微尺度混合—颗粒材料制备的新技术[A];2003年中国纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2003年
8 谭季青;王小萍;;预防非典(SARS)室内外空气对流动态平衡之数值模拟研究[A];新世纪气象科技创新与大气科学发展——中国气象学会2003年年会“城市气象与科技奥运”分会论文集[C];2003年
9 张福元;张杰;王岩峰;行飞;;海面局部图像微尺度波谱计算方法[A];第十四届全国遥感技术学术交流会论文摘要集[C];2003年
10 舒思齐;杜莹;魏悦广;;神经网络专家系统在微材料结构力学中的应用[A];第十二届全国结构工程学术会议论文集第Ⅲ册[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;微尺度大气运动中的气溶胶物理[N];光明日报;2000年
2 北京清华大学微米纳米技术研究中心提供;微流体控制系统 微尺度中的巨人[N];科学时报;2001年
3 北京清华大学微米纳米技术研究中心;微流体控制系统 微尺度中的巨人[N];科学时报;2001年
4 记者 刘东峰;学科交叉共促过程工程发展[N];科学时报;2002年
5 黄辛;上海跻身国家知识创新体系前列[N];科学时报;2004年
6 王晓平 胡胜友;合肥微尺度物质科学国家实验室进入建设期[N];科学时报;2004年
7 金涌 张立平 费维扬;可持续发展呼唤化工科技创新[N];中国化工报;2005年
8 记者 李陈续 通讯员 胡胜友;我纳米材料研究取得新进展[N];光明日报;2005年
9 记者 李陈续 通讯员 胡胜友;我科学家实现最远距离自由空间纠缠光子分发[N];光明日报;2005年
10 记者 李陈续 通讯员 胡胜友;我科学家在单分子选键化学研究领域获重大进展[N];光明日报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 束学道;铝箔轧机二维微尺度可控辊系理论与实验研究[D];燕山大学;2000年
2 巫正中;RF-MEMS天线理论、建模仿真及特性研究[D];重庆大学;2002年
3 姜任秋;快速瞬态热质扩散过程非经典效应研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
4 朱恂;速度滑移及温度跳跃区微尺度通道内的流动与换热[D];重庆大学;2002年
5 冯昭华;气溶胶微粒电动悬浮振荡特性研究[D];四川大学;2004年
6 余文革;变形时域建模仿真理论及其在微机械天线中的应用[D];重庆大学;2004年
7 王沫然;微纳尺度气体流动和换热的Monte Carlo模拟[D];清华大学;2004年
8 李明;四辊轧机微动交叉机理及控制研究[D];燕山大学;2004年
9 刘志刚;微细通道内流动与换热可视化实验研究与分析[D];中国科学院研究生院(工程热物理研究所);2005年
10 余隽;微量热计的研制及微纳米薄膜比热测试与分析[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡靖;介质薄膜热导率测试研究[D];大连理工大学;2000年
2 宁金辉;超薄介质膜热扩散率的测试研究[D];大连理工大学;2000年
3 叶杰成;波耳兹曼传输方程和分子动力学对铜薄膜热导率模拟研究及其比较[D];大连理工大学;2001年
4 陈海军;超短激光脉冲交流量热法研究[D];大连理工大学;2002年
5 李明孜;特种机器人驱动机制的仿生研究[D];南京航空航天大学;2003年
6 谭宁;界面微尺度热现象的分子动力学模拟[D];重庆大学;2003年
7 罗骏;MicroPIV流场测试技术的研究[D];武汉理工大学;2004年
8 李凌风;两平行平板间微通道层流流动的实验研究和数值模拟[D];西安建筑科技大学;2004年
9 成广庆;微尺度多层膜力学响应的有限元分析[D];天津大学;2004年
10 翟辉;微尺度热质输运问题的理论研究[D];哈尔滨工程大学;2004年
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