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《微纳电子技术》 2004年03期
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MEMS器件中的铁电材料

郭冬云  王耘波  付承菊  于军  
【摘要】:铁电材料在微电子技术、光电子技术和集成光学等多个领域中具有极为重要的应用价值。本文简要介绍了铁电材料及其在MEMS器件方面的应用情况。

【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 陈刚;铁电材料直流功放式测试硬件与软件研究[D];华中科技大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 肖定全;薄膜物理及其应用讲座第六讲铁电薄膜的物理性能和应用[J];物理;1995年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘建华,孙杰,李松梅,陈冬梅;不同形貌氧化锌的微波电磁性能研究[J];北京航空航天大学学报;2004年09期
2 鄢国强,来旭春,周海丽;PbMn_(1/2)Nb_(1/2)O_3粉体的制备及表征[J];材料导报;1999年05期
3 屈绍波,杨祖培,高峰,田长生;弛豫铁电体有序—无序转变理论及进展[J];材料工程;2000年01期
4 侯识华,宋世庚,马远新,郑毓峰;铅过量PLZT铁电薄膜的制备及其电学性质研究[J];材料科学与工程;2001年03期
5 任清褒;固态电介质的物理特性及其应用前景[J];材料科学与工程学报;2003年06期
6 吴传贵,刘兴钊,张万里,李言荣;热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展[J];重庆师范大学学报(自然科学版);2005年03期
7 李东林,张良莹,姚熹;纳米晶KTiOPO_4的制备与表征[J];材料研究学报;1998年06期
8 任清褒;;CaCu_3Ti_4O_(12)多晶块材的巨介电常数[J];材料研究学报;2006年01期
9 郭革新,周国香,王爱坤,何文辰;关于自由能的一些讨论[J];大学物理;2004年06期
10 杨成韬,袁鑫,纪洪,李言荣;射频溅射制备钛酸铅薄膜[J];电子元件与材料;2001年02期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 朱杰;骆亚娟;孙大志;朱玉丹;金雪琴;;梯度钛酸锶钡(Ba_xSr_(1-x)TiO_3)材料性能的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
2 董树荣;王德苗;金浩;;微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
3 郭杰;王静宇;李振豪;;磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
4 江勤;姜胜林;张海波;杨智兵;钟南海;;非制冷红外探测器用热释电材料的研究进展[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(E 光电子器件技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 卢祥军;改性铅基复合钙钛矿型弛豫铁电陶瓷的结构与微波介电性能[D];浙江大学;2001年
2 杜设亮;精密机械仿生热稳定构件研究[D];浙江大学;2001年
3 杨文;非制冷焦平面用热释电材料研究[D];电子科技大学;2002年
4 常爱民;氧化物电子陶瓷材料的微波处理研究[D];电子科技大学;2002年
5 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
6 申林;掺镧钛酸铋粉体、陶瓷及薄膜的溶胶-凝胶制备技术与性能研究[D];四川大学;2002年
7 侯育冬;高性能压电变压器用多元系陶瓷的制备和性能研究[D];西北工业大学;2002年
8 崔斌;铅系弛豫铁电陶瓷的制备和介电性能的研究[D];西北工业大学;2002年
9 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
10 董树荣;微波介质陶瓷薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 朱卫东;溶胶—凝胶法制备Ba_xSr_(1-x)TiO_3薄膜及其性能研究[D];苏州大学;2001年
2 叶超;α-C:F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D];苏州大学;2001年
3 杨芝茵;残余应力对压电薄膜材料性能的影响[D];湘潭大学;2001年
4 彭润玲;Pb(Zr_(0.94)Ti_(0.06))O_3薄膜的铁电性及热释电性能的研究[D];南京航空航天大学;2002年
5 蔡政;功能陶瓷BaTiO_3制备、表征与铁电、介电性能研究[D];南京师范大学;2002年
6 曾新华;铅基弛豫型复合钙钛矿结构PMN-PT制备的若干问题研究[D];武汉理工大学;2002年
7 郭冬云;FFET存储器用Bi_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2002年
8 王念;PLZT的粉末合成及其微波烧结工艺研究[D];武汉理工大学;2002年
9 刘高旻;冲击加载下PZT-95/5陶瓷FE→AFE相变压力实验研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2002年
10 李怡;Ba_(6-3x)Sm_(8+2x)Ti_(18)O_(54)高介电常数微波介质陶瓷及其改性[D];浙江大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 柏朝晖,巴学巍;锆钛酸铅镧(PLZT)陶瓷材料的显微结构和性能[J];长春理工大学学报;2005年02期
2 余火根,余家国,郭瑞,赵修建;溶胶-凝胶薄膜的制备和应用[J];材料导报;2003年06期
3 侯识华,宋世庚,郑应智,马远新,郑毓峰;Sol-Gel法制备PLZT系铁电薄膜[J];材料科学与工艺;2002年01期
4 侯识华,宋世庚,马远新,郑毓峰;铅过量PLZT铁电薄膜的制备及其电学性质研究[J];材料科学与工程;2001年03期
5 周青春,徐荣青,李巧改,张秀荣;铁电体尺寸对其开关特性的影响[J];材料科学与工程;2002年02期
6 刘国营;刘祖黎;柳擎;刘红日;;ITO玻璃衬底上PLZT铁电薄膜的制备与电性能[J];电子元件与材料;2006年02期
7 刘云峰,陈国平;亚微米干法刻蚀技术的现状[J];电子器件;1998年02期
8 魏光村;孙忠林;徐燕妮;;软件加密技术研究[J];福建电脑;2006年09期
9 戴自璋;铁电薄膜材料的性能,应用和发展前景[J];化工新型材料;1997年06期
10 李建康,姚熹;一种新的铁电薄膜快速热处理工艺的研究[J];红外与毫米波学报;2004年02期
【相似文献】
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1 李天姣;;计算机辅助教学在电子技术专业课教学中的应用[J];考试周刊;2011年43期
2 王本菊;;霍尔效应及其应用[J];中国校外教育;2011年12期
3 张军;;“任务驱动”教学法在电子技术教学中的应用[J];内江科技;2011年07期
4 杨宏伟;赵鹏程;吴超;费逸伟;魏贤勇;;扫描电子显微镜在摩擦学研究中的应用[J];合成润滑材料;2011年02期
5 梁羽;;浅谈模拟电路[J];民营科技;2011年08期
6 郭晓玲;明平军;;集成运算放大器的特性及应用[J];信息技术;2011年08期
7 李园;宋艳霞;邢磊;;红外探测技术的应用[J];科技信息;2011年22期
8 陈淑平;程勇;;仿真软件在数字电路教学中的应用[J];科技创新导报;2011年22期
9 汪鹏飞;张永寿;宋天一;李道福;梁成浩;李虎洋;;浅谈红外探测技术及其在液态氧站中的应用[J];中国医学装备;2011年06期
10 何冬琼;;浅议多媒体技术在《电子技术基础》课程中的应用[J];中国科教创新导刊;2011年19期
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1 刘兴;;浅谈挠性印制板设计及其在系统设计中的应用[A];全国第十二届空间及运动体控制技术学术会议论文集[C];2006年
2 赵运涛;王冰;;浅析现代电子技术在建筑市场的应用[A];科学发展——七省市第九届建筑市场与招标投标优秀论文集[C];2009年
3 蔡毅;;非制冷红外成像技术及其应用[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
4 印忠义;;可应用于微波的低温共烧陶瓷多层基板[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
5 谭继廉;王小兵;张金霞;卢子伟;鲍志勤;李存璠;王柱生;凤莹;许金兰;朱光武;王世金;梁金宝;沈思忠;高萍;;半导体探测器及其在空间科学中的应用[A];第十届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];2000年
6 刘宝粮;吴世湘;;面向宇航/军事应用的纳小型连接器透视[A];中国电子学会第十四届电子元件学术年会论文集[C];2006年
7 刘德明;阎嫦玲;;高功率光纤激光器的关键技术及应用[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(C 激光技术与应用专题)[C];2006年
8 李青;;高压变频器在电厂凝结水泵上的应用[A];山东电机工程学会第七届发电专业学术交流会论文集[C];2008年
9 王敬宜;李中华;于志战;王云飞;郑阔海;;同轴微波放电等离子体源及其应用[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10 李宁;;红外诊断技术在池州供电公司的应用[A];第十五届华东六省一市电机工程(电力)学会输配电技术研讨会论文集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 辛 力;改进铁电材料手机省“芯”[N];大众科技报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 赵宏伟;尺蠖型压电驱动器基础理论与试验研究[D];吉林大学;2006年
2 傅德颐;半导体应变和极化诱导能带工程及其动力学输运研究[D];南京大学;2012年
3 胡文成;热释电机理及BST薄膜性能研究[D];电子科技大学;2008年
4 王龙海;用于嵌入式铁电存储器的集成铁电电容研究[D];华中科技大学;2006年
5 陈峰;外延Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3单晶薄膜的制备与性能研究[D];中国科学技术大学;2008年
6 杨锋;铁电薄膜与隧道结存储器件性能模拟及失效机理研究[D];湘潭大学;2010年
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1 张伟伟;新型BST移相器的设计研究[D];华东师范大学;2006年
2 陈刚;铁电材料直流功放式测试硬件与软件研究[D];华中科技大学;2006年
3 李秀峰;基于数字示波器的铁电材料参数测试系统[D];华中科技大学;2006年
4 许庭静;铁酸镥铁电材料的合成、微结构及性质研究[D];华东师范大学;2010年
5 王世杰;低损耗微波调谐铁电材料的研究[D];华中科技大学;2006年
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7 何健;铁电非制冷IRFPA实时成像系统和自适应非均匀校正算法研究[D];昆明理工大学;2008年
8 周金峰;垂直双扩散MOSFET栅电阻的测试研究[D];苏州大学;2007年
9 程铁栋;掺锶的钛酸铅铁电薄膜性能研究[D];广东工业大学;2008年
10 王小平;Hf-Bi_4Ti_3O_(12)薄膜的铁电性及其与GaN的集成生长研究[D];电子科技大学;2009年
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