收藏本站
《微纳电子技术》 2003年Z1期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

SU-8胶及其在MEMS中的应用

刘景全  蔡炳初  陈迪  朱军  赵小林  杨春生  
【摘要】:SU 8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶。它适于制超厚、高深宽比的MEMS微结构。SU 8胶在近紫外光范围内光吸收度低 ,故整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致 ,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形 ;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性 ;SU 8胶不导电 ,在电镀时可以直接作为绝缘体使用。由于它具有较多优点 ,被逐渐应用于MEMS的多个研究领域。本文主要分析SU 8胶的特点 ,介绍其在MEMS的一些主要应用 ,总结了我们研究的经验 ,以及面临的一些问题 ,并对厚胶技术在我国的应用提出建议和意见

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 刘韧;郑津津;沈连婠;田扬超;刘刚;周洪军;;基于DILL模型的SU8厚胶曝光仿真[J];光电工程;2010年02期
2 刘冲;李苗苗;施维枝;杜立群;王立鼎;;基于SU-8厚胶光刻工艺的微电铸铸层尺寸精度控制新方法[J];机械工程学报;2011年03期
3 段炼;朱军;陈迪;刘景全;;SU-8光刻胶氧刻蚀的研究[J];压电与声光;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 方华斌;徐峥谊;刘景全;陈迪;蔡炳初;;PZT厚膜压电悬臂梁结构的有限元分析[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
2 吕春华;基于SU-8负光胶的微流控芯片加工技术的研究[D];浙江大学;2007年
3 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
4 李苗苗;μDMFC阳极流场气液输运及流场结构微细加工研究[D];大连理工大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吕志平;SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究[D];大连理工大学;2010年
2 李艳桥;微机电引信安全与解除保险装置结构设计[D];南京理工大学;2011年
3 杨孟琳;基于单片机控制的微杯型电子纸显示系统的设计和制作[D];天津大学;2010年
4 芦琦;基于测热式原理的集成微流体流量传感器的设计、制作及信号处理[D];上海交通大学;2011年
5 毕京林;分步电镀法Sn-Ag合金凸点的制备及工艺优化[D];上海交通大学;2012年
6 曹玉田;微针的制备与应用研究[D];上海交通大学;2012年
7 李哲斐;微流控芯片的制作及食品安全检测应用的研究[D];西北大学;2005年
8 汪潇;血糖监测微系统中微针头的制作研究[D];华东师范大学;2006年
9 禹图强;激光供能火箭发动机换热器理论与实验研究[D];国防科学技术大学;2007年
10 刘楠;UV-LIGA工艺中若干关键技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 伊福廷,张菊芳,彭良强,韩勇;利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 伊福廷,缪鹏,彭良强,张菊芳,韩勇;利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)[J];半导体学报;2004年01期
3 程吉凤;丁桂甫;姚锦元;汪红;刘瑞;;基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备[J];传感器与微系统;2009年03期
4 朱军,刘景全,张金娅,陈迪,石磊;环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望[J];高分子材料科学与工程;2004年04期
5 杜立群;李成斌;李永辉;于同敏;;超声时效技术在微注塑模具制作中的应用[J];光学精密工程;2012年06期
6 刘景全,朱军,丁桂甫,赵小林,蔡炳初;用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究[J];微细加工技术;2002年01期
7 李雄,徐智谋,易新建,何少伟,刘胜,连昆;不同波段近紫外光在SU-8胶中穿透深度的研究[J];微细加工技术;2004年01期
8 张晔,陈迪,张金娅,倪智萍,朱军,刘景全;SU-8胶光刻工艺参数优化研究[J];微细加工技术;2005年03期
9 张晔;陈迪;潘欣欣;方华斌;朱军;刘景全;;UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究[J];微细加工技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 陈迪;蔡炳初;;LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
2 张晔;陈迪;张金娅;朱军;刘景全;;UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 张帆;细胞电学及电化学性质研究:微纳米加工技术的应用[D];华东师范大学;2011年
2 孙洪文;微纳压印关键技术研究[D];上海交通大学;2007年
3 费旭;聚合物光波导材料的合成、表征及应用[D];吉林大学;2008年
4 靖向萌;MEMS探卡的设计及制备工艺研究[D];上海交通大学;2008年
5 路明;基于微观粒子的固体弹性常数及尺寸效应研究[D];机械科学研究总院;2009年
6 逄淑杰;用于泵浦激光放大器的稀土掺杂纳米粒子及有机杂化材料的制备与表征[D];吉林大学;2010年
7 黄永光;飞秒激光诱导金属表面微纳米结构的基础研究[D];北京工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 李艳桥;微机电引信安全与解除保险装置结构设计[D];南京理工大学;2011年
2 杨承;毛细管电泳芯片的设计与加工技术研究[D];华中科技大学;2004年
3 路亮;紫外激光曝光光刻SU-8胶的工艺研究[D];北京工业大学;2006年
4 宋海英;脉冲激光曝光SU-8胶的基础与光刻技术研究[D];北京工业大学;2008年
5 刘佳;光反应型聚合物基微流体反应器的制备[D];北京化工大学;2008年
6 汪鹏;PDMS在微流控生物芯片技术中的新型应用[D];上海交通大学;2009年
7 聂时振;微电铸的工艺技术研究[D];中国科学技术大学;2009年
8 王瑛;紫外厚胶深光刻技术研究[D];长春理工大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 甘雪萍,戴曦,张传福;超声空化及其在电化学中的应用[J];四川有色金属;2001年03期
2 何龙庆;林继成;石冰;;菲克定律与扩散的热力学理论[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2006年04期
3 Suki;无铅化成半导体制造业主旋律[J];半导体技术;2005年09期
4 马斌;徐永清;甘志银;张鸿海;刘胜;;用于药物释放系统的柔性微针研制[J];半导体技术;2005年12期
5 来五星;廖广兰;史铁林;杨叔子;;反应离子刻蚀加工工艺技术的研究[J];半导体技术;2006年06期
6 吴义伯;侯安州;倪鹤南;徐爱兰;惠春;任秋实;;基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究[J];半导体技术;2007年12期
7 宋志;魏淑华;段辉高;薛虹;韩立;;三维微结构制作现状与进展[J];半导体技术;2008年07期
8 傅岳鹏;谭凯;田民波;;电子封装技术的最新进展[J];半导体技术;2009年02期
9 赵丽华,周名辉,王书明,李锦标,霍彩虹,周晓黎;离子束刻蚀[J];半导体技术;1999年01期
10 余国彬,姚汉民,胡松,陈兴俊;深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用[J];微纳电子技术;2002年04期
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 记者 曲京佳;[N];中国化工报;2006年
2 纯君;[N];电子资讯时报;2005年
3 李洵颖 DigiTimes;[N];电子资讯时报;2006年
4 李壮;[N];中国高新技术产业导报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前8条
1 荣宇;电泳显示材料及器件的研究[D];浙江大学;2005年
2 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
3 王秋成;航空铝合金残余应力消除及评估技术研究[D];浙江大学;2003年
4 谌廷政;微光学器件灰度掩模制作及应用技术的研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 唐雄贵;厚胶光学光刻技术研究[D];四川大学;2006年
6 李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
7 李晓光;紫外光刻仿真及掩模优化设计研究[D];中国科学技术大学;2007年
8 梁军生;微型直接甲醇燃料电池结构、工艺及阳极气液输运研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吕志平;SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究[D];大连理工大学;2010年
2 肖啸;厚层抗蚀剂成像特性研究[D];四川大学;2003年
3 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
4 刘世杰;厚胶光刻技术研究[D];四川大学;2004年
5 李雄;UV-LIGA技术光刻工艺的研究[D];华中科技大学;2004年
6 郑宗林;MEMS封装中的倒装芯片凸点技术[D];华中科技大学;2004年
7 曾毅;Sn-Ag和Sn-Zn系多组元无铅软钎料研究[D];西安理工大学;2005年
8 刘驰;DMD用于数字光刻成像研究[D];四川大学;2005年
9 肖日松;微电铸工艺参数对模具质量影响研究[D];大连理工大学;2006年
10 黄朋生;硅基MEMS二维生物微探针阵列技术研究[D];清华大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 明平美;朱荻;胡洋洋;曾永彬;;辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术[J];兵工学报;2008年06期
2 褚旭阳;狄士春;王振龙;;微细电火花加工技术在组合加工中的应用[J];电加工与模具;2010年04期
3 明平美;李英杰;王艳丽;王书卿;姜无疾;;微细电铸法制造高开孔率精细网片[J];电加工与模具;2011年04期
4 明平美;朱荻;胡洋洋;曾永彬;;UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[J];光学精密工程;2007年05期
5 李加东;吴一辉;张平;宣明;刘永顺;王淑荣;;掩模电镀镍微结构的镀层均匀性研究[J];光学精密工程;2008年03期
6 郑晓虎;朱荻;;金属微结构阵列的电铸成型[J];光学精密工程;2008年03期
7 杜立群;刘亚萍;李永辉;李成斌;;超声处理对UV-LIGA工艺中SU-8胶溶胀的影响[J];光学精密工程;2012年09期
8 明平美;朱荻;胡洋洋;曾永彬;;高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析[J];机械工程学报;2008年08期
9 柳剑;王翠凤;;基于UV-LIGA技术的导光板微结构注射模型芯制作工艺研究[J];模具工业;2012年10期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 明平美;朱荻;胡洋洋;赵波;曾永彬;;基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前9条
1 王丹;硬脆非金属材料微结构微细加工关键技术研究[D];上海交通大学;2011年
2 王少华;微细电解线切割加工技术的试验研究与应用[D];南京航空航天大学;2010年
3 刘勇;微细电解铣削加工技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2010年
4 钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年
5 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
6 渠柏艳;基于血液样品和微流控芯片技术的细胞分离、PCR扩增及DNA测序方法研究[D];东北大学;2009年
7 禇旭阳;微细电火花集成加工技术的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 李苗苗;μDMFC阳极流场气液输运及流场结构微细加工研究[D];大连理工大学;2012年
9 金超武;高温磁悬浮轴承若干关键技术研究[D];南京航空航天大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吴涛;陶瓷微细结构的生坯加工方法研究[D];大连理工大学;2010年
2 吕志平;SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究[D];大连理工大学;2010年
3 李伟;微细电铸过程磁致对流效应数值分析[D];河南理工大学;2011年
4 宋曼;活动模板电解加工微小凹坑阵列研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 李鑫;微细电化学加工电源及检测系统研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
6 许龙芳;聚合物微流控芯片压印成型模具关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
7 张海军;收集振动能的压电微电池设计和制作工艺研究[D];大连理工大学;2006年
8 黄超;基于光镊拉曼光谱的单细胞分析方法研究[D];广西师范大学;2007年
9 邢宝玉;太阳热推力器结构设计与性能分析[D];国防科学技术大学;2009年
10 刘亚萍;超声改变SU-8胶溶胀性的机理及试验研究[D];大连理工大学;2012年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;产品世界[J];传感器世界;2002年03期
2 石云波,刘俊,张文栋;MEMS中的封装技术研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
3 黄子伦;控制MEMS封装成本的圆片规模封装[J];电子与封装;2003年06期
4 焦正,吴明红;日本基于MEMS传感器的研究进展[J];传感器世界;2004年01期
5 金铃;MEMS技术研究及应用[J];现代雷达;2004年12期
6 孟宝文;王全收;;System Four数字传感器工作与测试原理分析[J];物探装备;2007年S1期
7 李志坚;微电子机械系统(MEMS)发展展望[J];电子商务;1997年01期
8 邵雯雯,惠春,徐爱兰;BST-MEMS移相器开关[J];电子元件与材料;2004年10期
9 赵继德,李应良,马传龙;共面波导结构MEMS滤波器的设计[J];电子元件与材料;2005年02期
10 吴群,傅佳辉;MEMS射频与微波应用技术新进展[J];电子器件;2001年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈新隽;刘晓平;戴若犁;刘昊扬;;多MEMS传感器的嵌入式姿态测量系统设计[A];2011年机械电子学学术会议论文集[C];2011年
2 梁杰;李中华;;MEMS的微管道流动特征数值模拟研究[A];2003空气动力学前沿研究论文集[C];2003年
3 于华男;张勇;马小艳;;制导弹药用MEMS惯性导航系统发展与关键技术综述[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
4 张玉祥;李华成;马柳艺;;基于MEMS器件的交互笔运动跟踪研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅰ[C];2011年
5 胡星星;滕云田;;基于MEMS传感器的小型智能化强震仪[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
6 李建飞;薛兵;张俊峰;朱小毅;王晓蕾;;应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[A];中国地震学会第14次学术大会专题[C];2012年
7 张文明;孟光;;MEMS旋转机械微转子结构的材料选用研究[A];第9届全国转子动力学学术讨论会ROTDYN'2010论文集[C];2010年
8 陈述官;黄军辉;;MEMS传感器在汽车电子上的应用研究与展望[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
9 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
10 林日乐;满欣;周倩;李文蕴;谢佳维;张巧云;;石英MEMS陀螺[A];微机电惯性技术的发展现状与趋势——惯性技术发展动态发展方向研讨会文集[C];2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;测试会议聚焦MEMS[N];计算机世界;2003年
2 ;欧洲的MEMS工业[N];中国电子报;2002年
3 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
4 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
5 刘恕;微机电系统:从能看到能用[N];科技日报;2005年
6 ;Intel悄然推出手机MEMS模块[N];计算机世界;2004年
7 本报记者 徐勐 通讯员 苏媛;国家高新区MEMS研究院落户淄博[N];淄博日报;2010年
8 ;传感器热衷于MEMS市场将加速整合[N];电子报;2008年
9 记者 卫新华;我市全面启动MEMS研发和产业化工作[N];重庆日报;2001年
10 中电元协敏感元器件与传感器分会秘书长 齐文杰;MEMS传感器进驻汽车发动机[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 明平美;UV-LIGA-微细电火花加工组合制造技术基础研究[D];南京航空航天大学;2006年
2 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
3 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
4 张正元;射频微机械开关与放大器关键技术研究[D];重庆大学;2004年
5 王春田;MEMS数字检波器采集系统技术研究[D];中国地质大学(北京);2011年
6 杜广涛;新型MEMS磁敏传感器的研究[D];西南交通大学;2011年
7 王佩红;基于MEMS技术的微型电磁式振动能量采集器的研究[D];上海交通大学;2010年
8 肖功利;MEMS金属/电介质光子晶体的强透射特性研究[D];复旦大学;2009年
9 李庄;用于高场不对称波形离子迁移谱仪的MEMS振簧式静电计研究[D];中国科学技术大学;2010年
10 吕良;MEMS汽车传感器设计关键技术的研究[D];北京邮电大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 宿智娟;MEMS宽带毫米波天线阵列研究[D];上海交通大学;2010年
2 付宇辉;基于MEMS航位推算系统的设计与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 曾昊骋;MEMS开关与频率可重构天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
4 华晨辉;MEMS超声分离器的二维简正模式的研究及实验分析[D];电子科技大学;2010年
5 赵明锐;基于MEMS硅基底L波段微带天线的研究与设计[D];电子科技大学;2010年
6 孟丽娜;基于MEMS的微驱动器研制及其特性研究[D];黑龙江大学;2005年
7 苑海静;船用MEMS航姿测量系统算法研究与实现[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 牛凯;4×4MEMS光开关阵列的设计与实验研究[D];清华大学;2004年
9 赵磊;梳齿式MEMS光开关的分析与改进[D];西安电子科技大学;2010年
10 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026