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《微纳电子技术》 2003年Z1期
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利用紫外光刻技术进行SU8胶的研究

伊福廷  张菊芳  彭良强  韩勇  
【摘要】:SU 8光刻胶优异的性能在MEMS技术的发展重得到了广泛的应用 ,已经成为MEMS研究中必不可少的方法之一。SU 8光刻胶能够进行厚度达毫米的结构研究工作 ,另一方面SU 8结构具有很好的侧面垂直结构 ,通过控制工艺参数 ,能够获得满意的SU 8胶结构。SU 8光刻胶已应用于LIGA技术的标准化掩模制造工艺和一些器件的研究工作。在SU8胶研究过程中 ,克服了许多技术难题 ,使得这一技术能够应用到实际的需要中。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 刘韧;郑津津;沈连婠;田扬超;刘刚;周洪军;;基于DILL模型的SU8厚胶曝光仿真[J];光电工程;2010年02期
2 李晓娟;于晓波;赵昕;李长敏;林海;;Eu(TTFA)_3掺杂环氧基光刻胶薄膜的强烈红色荧光[J];光子学报;2009年09期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 李冬林;模板电解加工群孔基础研究及应用[D];南京航空航天大学;2010年
4 陈长鸣;硅基聚合物平面光波导器件的基础研究[D];吉林大学;2010年
5 高磊;基于负型光刻胶SU-8的光开关的研究[D];吉林大学;2010年
6 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曹玉田;微针的制备与应用研究[D];上海交通大学;2012年
2 路亮;紫外激光曝光光刻SU-8胶的工艺研究[D];北京工业大学;2006年
3 陈长鸣;紫外固化型聚合物阵列波导光栅(AWG)器件的研制[D];吉林大学;2007年
4 李梅;极化聚合物的电光特性研究及其应用[D];吉林大学;2008年
5 宋海英;脉冲激光曝光SU-8胶的基础与光刻技术研究[D];北京工业大学;2008年
6 彭亚雄;基于EOPCB的聚合物波导研究[D];华中科技大学;2007年
7 单志博;基于极化聚合物DR1/SU-8的电光开关基础研究[D];吉林大学;2009年
8 姚园媛;C-MEMS工艺制备碳微结构实验研究[D];华中科技大学;2008年
9 王瑛;紫外厚胶深光刻技术研究[D];长春理工大学;2010年
10 周彬;飞秒激光多光子微加工技术的研究[D];天津大学;2009年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘景全,蔡炳初,陈迪,朱军,赵小林,杨春生;SU-8胶及其在MEMS中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 伊福廷,缪鹏,彭良强,张菊芳,韩勇;利用背面曝光技术制造大高宽比SU8结构的一种新方法(英文)[J];半导体学报;2004年01期
3 程吉凤;丁桂甫;姚锦元;汪红;刘瑞;;基于UV-LIGA技术的微孔异形喷丝头制备[J];传感器与微系统;2009年03期
4 罗坚;陈东升;李梅;路庆华;;无机基片表面选择性制备铜线路图形[J];材料导报;2006年11期
5 朱军,刘景全,张金娅,陈迪,石磊;环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望[J];高分子材料科学与工程;2004年04期
6 杜立群;李成斌;李永辉;于同敏;;超声时效技术在微注塑模具制作中的应用[J];光学精密工程;2012年06期
7 刘景全,朱军,丁桂甫,赵小林,蔡炳初;用SU-8胶制高深宽比微结构的试验研究[J];微细加工技术;2002年01期
8 李雄,徐智谋,易新建,何少伟,刘胜,连昆;不同波段近紫外光在SU-8胶中穿透深度的研究[J];微细加工技术;2004年01期
9 张晔,陈迪,张金娅,倪智萍,朱军,刘景全;SU-8胶光刻工艺参数优化研究[J];微细加工技术;2005年03期
10 张晔;陈迪;潘欣欣;方华斌;朱军;刘景全;;UV-LIGA双层微齿轮加工工艺研究[J];微细加工技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 陈迪;蔡炳初;;LIGA技术、准LIGA微加工技术及其应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
2 张晔;陈迪;张金娅;朱军;刘景全;;UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 张帆;细胞电学及电化学性质研究:微纳米加工技术的应用[D];华东师范大学;2011年
2 孙洪文;微纳压印关键技术研究[D];上海交通大学;2007年
3 费旭;聚合物光波导材料的合成、表征及应用[D];吉林大学;2008年
4 靖向萌;MEMS探卡的设计及制备工艺研究[D];上海交通大学;2008年
5 路明;基于微观粒子的固体弹性常数及尺寸效应研究[D];机械科学研究总院;2009年
6 逄淑杰;用于泵浦激光放大器的稀土掺杂纳米粒子及有机杂化材料的制备与表征[D];吉林大学;2010年
7 黄永光;飞秒激光诱导金属表面微纳米结构的基础研究[D];北京工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 李艳桥;微机电引信安全与解除保险装置结构设计[D];南京理工大学;2011年
2 杨承;毛细管电泳芯片的设计与加工技术研究[D];华中科技大学;2004年
3 路亮;紫外激光曝光光刻SU-8胶的工艺研究[D];北京工业大学;2006年
4 宋海英;脉冲激光曝光SU-8胶的基础与光刻技术研究[D];北京工业大学;2008年
5 刘佳;光反应型聚合物基微流体反应器的制备[D];北京化工大学;2008年
6 汪鹏;PDMS在微流控生物芯片技术中的新型应用[D];上海交通大学;2009年
7 聂时振;微电铸的工艺技术研究[D];中国科学技术大学;2009年
8 王瑛;紫外厚胶深光刻技术研究[D];长春理工大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 何龙庆;林继成;石冰;;菲克定律与扩散的热力学理论[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2006年04期
2 魏红振,余金中,刘忠立,王启明;硅基光波导及光波导开关的研究进展[J];半导体光电;1999年06期
3 禹培栋,王国忠,陈明华,谢世钟;光开关技术进展[J];半导体光电;2001年03期
4 罗元,李向东,付红桥,黄尚廉;MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究[J];半导体光电;2003年02期
5 贺开矿;表面活性剂在IC芯片光刻工艺中的应用[J];半导体技术;2005年03期
6 宋志;魏淑华;段辉高;薛虹;韩立;;三维微结构制作现状与进展[J];半导体技术;2008年07期
7 余国彬,姚汉民,胡松,陈兴俊;深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用[J];微纳电子技术;2002年04期
8 彭良强,徐韬光,韩勇,伊福廷,张菊芳;质子LIGA工艺的探讨[J];微纳电子技术;2002年05期
9 田丰,韩立,杨忠山;化学放大胶在电子束光刻技术中的应用[J];微纳电子技术;2003年12期
10 刘景全,蔡炳初,陈迪,朱军,赵小林,杨春生;SU-8胶及其在MEMS中的应用[J];微纳电子技术;2003年Z1期
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 曾永彬;屏蔽模板随动式微细电铸技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
2 汤儆;表面金属纳米结构体系的电化学、STM针尖诱导和模板法构筑及其表征[D];厦门大学;2002年
3 徐惠宇;微细电解加工系统及其相关工艺的研究[D];南京航空航天大学;2005年
4 谌廷政;微光学器件灰度掩模制作及应用技术的研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
6 李晓光;紫外光刻仿真及掩模优化设计研究[D];中国科学技术大学;2007年
7 朱保国;脉冲电化学微细加工关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 肖啸;厚层抗蚀剂成像特性研究[D];四川大学;2003年
2 刘世杰;厚胶光刻技术研究[D];四川大学;2004年
3 李雄;UV-LIGA技术光刻工艺的研究[D];华中科技大学;2004年
4 刘驰;DMD用于数字光刻成像研究[D];四川大学;2005年
5 董德生;阵列轴孔的微细超声电火花复合加工技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 卢伟;SU-8胶接触式UV光刻模拟[D];东南大学;2006年
7 王传玉;含偶氮材料的非线性光学特性研究[D];上海交通大学;2008年
8 李梅;极化聚合物的电光特性研究及其应用[D];吉林大学;2008年
9 翁明浩;微细阵列轴孔的电火花和电化学加工工艺研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 张运宏;基于数字图像全息干涉法测量液相扩散系数的研究[D];大连交通大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 廖金生;游航英;温和瑞;陈景林;游维雄;魏银伟;;LED用La_2(WO_4)_3∶Eu~(3+)红色荧光粉合成及光谱性能[J];光子学报;2011年05期
2 张琨;岳远斌;李彤;孙小强;张大明;;感应耦合等离子体刻蚀在聚合物光波导制作中的应用[J];中国光学;2012年01期
3 王旗;王希斌;孙小强;田亮;王菲;张大明;;基于Norland紫外固化胶的热光开关器件[J];中国光学;2012年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 廖金生;游航英;李勇;陈景林;游维雄;魏银伟;温和瑞;;作为LED用La_2(WO_4)_3:Eu~(3+)红色荧光粉合成及光谱性能[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 范晖;金属零件叠层模板电沉积成形的基础研究[D];南京航空航天大学;2009年
2 胡洋洋;UV-LIGA与微细电加工组合制造金属阵列网板技术研究[D];南京航空航天大学;2010年
3 钱双庆;表面织构电解加工技术的基础研究与应用[D];南京航空航天大学;2011年
4 李彤;铒镱共掺有机聚合物平面光波导放大器的优化设计与制备[D];吉林大学;2012年
5 张玲;飞秒写制长周期光纤光栅的光谱特征及传感应用[D];山东大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张颖;仿生皮纳升高通量进样系统设计及制作[D];大连理工大学;2010年
2 马松涛;光致发光稀土/丙烯酸酯类聚氨酯材料的制备及性能研究[D];郑州轻工业大学;2010年
3 张海斌;树脂基磁电复合薄膜的制备与性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
4 杨孟琳;基于单片机控制的微杯型电子纸显示系统的设计和制作[D];天津大学;2010年
5 张金星;基于光波导互连的EOPCB的研究[D];华中科技大学;2011年
6 毕京林;分步电镀法Sn-Ag合金凸点的制备及工艺优化[D];上海交通大学;2012年
7 张欢;平面固态高压单触发开关的设计、制作与性能研究[D];南京理工大学;2012年
8 陈丽芬;1.3um超辐射发光二极管的工艺、性能测试与光学膜的优化设计[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2008年
9 康彩萍;有机聚合物波导及电光开关的制备与研究[D];吉林大学;2010年
10 李涛;聚合物电光开关制备技术研究[D];吉林大学;2010年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 沈蓓军,王润文,路敦武,黄惠杰;准分子激光深层光刻蚀在 LIGA 工艺中的应用[J];光学精密工程;1998年02期
2 李心平;薄膜式电阻应变计[J];传感器技术;1992年03期
3 贺超,陈伟明,刘业异;CPLD在精密激光定位系统中的应用[J];光电工程;1998年S1期
4 郭宝增,田华;角度限制散射投影电子束光刻[J];半导体技术;2001年10期
5 郑学仁;21世纪深亚微米芯片技术的新进展[J];华南理工大学学报(自然科学版);2002年11期
6 唐晓颖,叶婵,宫艳娟;功率半导体器件芯片双面多层金属化技术及应用[J];森林工程;2003年04期
7 刘建海,陈开盛,曹庄琪;光刻技术在微细加工中的应用[J];半导体技术;2001年08期
8 王邦江,李德杰;FED的光刻技术[J];微细加工技术;1998年03期
9 陈旭南,罗先刚,李展,余国彬;温度气压对高分辨力光刻物镜像质影响研究[J];微细加工技术;2000年01期
10 谢杰林,朱海峰;脉冲选择电镀金加厚工艺技术研究[J];微电子学与计算机;1999年05期
中国重要会议论文全文数据库 前7条
1 唐世洪;;双E型硅压力传感器的研制[A];2000全国力学量传感器及测试、计量学术交流会论文集[C];2000年
2 方慧;吕志成;余林颇;周明;;光刻微电极用于电化学发光检测[A];中国化学会第27届学术年会第09分会场摘要集[C];2010年
3 王俊;郭育华;朱学林;刘刚;田扬超;;陶瓷微加工工艺及陶瓷微反应器的制作研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
4 张飞;李艳秋;;四极照明光刻成像质量仿真研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
5 明平美;朱荻;胡洋洋;赵波;曾永彬;;基于UV-LIGA技术制备微型柔性镍接触探针[A];2006年中国机械工程学会年会暨中国工程院机械与运载工程学部首届年会论文集[C];2006年
6 张晟;;细间距SMT模板的制作研究[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
7 杨中华;;BeO基板微带电路制造工艺研究[A];全国第六届SMT/SMD学术研讨会论文集[C];2001年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 张敬一;四十五所:进军IC设备主流市场[N];中国电子报;2002年
2 ;我国集成电路产业回顾和展望[N];中国高新技术产业导报;2002年
3 李海泉;21世纪电子工艺装备发展方向[N];中国电子报;2001年
4 闻芹堂;新型电子化学品进入快速发展期[N];中国化工报;2000年
5 米镇涛;绿色化工:可持续发展必由之路[N];中国化工报;2002年
6 北京赛迪新型材料工程咨询中心 韦东滨 李国强 霍振武 刘磊;欧洲半导体:成功源于合作[N];中国电子报;2002年
7 ;华晶股份2001年原材料使用报告 [N];中国电子报;2002年
8 王;Intel RP1 实验室落成[N];中国计算机报;2001年
9 SEMI中国标准化委员会秘书处 中国电子技术标准化研究所 $$胡燕 刘筠;SEMI标准:引导和推进[N];中国电子报;2002年
10 本报记者 赵艳秋;光刻胶行业:“刻”不容缓[N];中国电子报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 韦群燕;高导电率精密印刷银浆制备技术研究[D];昆明理工大学;2007年
2 彭荣;高分子表面微图案技术研究干细胞形状、尺寸和密度对其分化的影响[D];复旦大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 胡晓峰;纳米热压印设备与试验研究[D];华中科技大学;2005年
2 邵壮;离子交换条形介质光波导的制备[D];吉林大学;2006年
3 聂雅茹;无机、有机图案化表面的两种构筑方法[D];吉林大学;2006年
4 池永江;WDM网络中偏振无关声光可调谐滤波器的研究[D];浙江工业大学;2006年
5 余杰;GeO_2、β-Ga_2O_3纳米结构的可控合成及其发光性能[D];陕西师范大学;2009年
6 解雨庆;高功率TaN薄膜及集成电阻器的研究[D];电子科技大学;2012年
7 张宏坤;计算机硬盘磁头的微加工工艺研究[D];北方工业大学;2010年
8 何春梅;玻璃薄膜基离子交换光波导的制作与测试[D];吉林大学;2011年
9 徐慧忠;基于AMR效应与Si集成的开关芯片的制备[D];电子科技大学;2011年
10 陈科钻;ASIC版图设计中的光刻缺陷研究[D];大连理工大学;2010年
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