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《微纳电子技术》 2003年Z1期
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MEMS工艺集成化设计及其可视化

唐华锋  苑伟政  
【摘要】:针对目前MEMS设计复杂 ,直观性差等问题 ,提出了工艺集成化设计和可视化的可行性解决方案 ,对其中的关键技术进行了研究 ,并基于所提出的方案研究了工艺设计的集成化和可视化的实现技术。首先对MEMS表面加工工艺进行了详细的分析 ,采用面向过程的方法建立了表面工艺过程的统一模型。基于这一模型 ,研究了MEMS工艺设计的集成化技术 ,实现了工艺设计中各种信息的集成化 ,并设计开发了工艺设计的集成化软件环境。最后 ,对工艺设计中的二维版图的三维重构算法进行了详细的研究 ,通过SolilWorksAPI接口的开发 ,在SolilWorks的环境下实现了工艺过程的三维可视化

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 杨洋;微流控版图设计软件开发[D];吉林大学;2009年
【参考文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 常洪龙;基于“Top-Down”的MEMS集成设计方法及关键技术研究[D];西北工业大学;2002年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 严宇才;张端;;微机电系统技术的研究现状和展望[J];电子工业专用设备;2011年04期
2 朱林;徐进良;孔凡让;王海鸣;;虚拟装配技术在硅基微燃烧室结构设计中的应用[J];光学精密工程;2008年06期
3 张长富;蒋庄德;卢德江;任泰安;王久洪;;基于三维特征的微机电系统器件结构设计方法[J];西安交通大学学报;2007年05期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 孙广毅;高深宽比微纳结构模拟、加工及应用[D];南开大学;2010年
2 林谢昭;静电微器件的模型自由度缩减方法研究[D];浙江大学;2010年
3 朱林;硅基微尺度燃烧器燃烧特性与结构失效的研究[D];中国科学技术大学;2008年
4 胡伟;面向MEMS产品概念设计的多模式实例检索与评价方法研究[D];华南理工大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 唐军;单芯片集成加速度计陀螺仪设计研究[D];中北大学;2006年
2 王涛;三轴硅微加速度计的集成设计与实现[D];西北工业大学;2006年
3 李红卫;微流控芯片系统级建模研究[D];西北工业大学;2007年
4 马颖蕾;八梁固支压阻加速度传感器及测试电路[D];复旦大学;2010年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 卢桂章,赵新;基于部件库的MEMS设计方法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
2 刘浩学,王克蒙,杨文杰;EPS文件的折手拼版方法[J];北京印刷学院学报;1999年03期
3 谭宜勇;卢桂章;赵新;王磊;;基于IP数据库的MEMS设计系统[J];传感技术学报;2008年02期
4 陈勇;;基于MEMS CAD的加工工艺仿真研究[J];传感器世界;2007年03期
5 董立菊,于戈;一种有效的图像二值化方法[J];东北大学学报;2004年12期
6 吴春浔,张星明;一个扫描图件的图文分离算法[J];贵州工业大学学报(自然科学版);2001年06期
7 陈浩,陈宏;解读AUTOCAD的DXF文件[J];贵州科学;2002年04期
8 吴冰,秦志远;自动确定图像二值化最佳阈值的新方法[J];测绘学院学报;2001年04期
9 王树文,闫成新,张天序,赵广州;数学形态学在图像处理中的应用[J];计算机工程与应用;2004年32期
10 杜建强,陈月林,刘少媚,周济;工程图纸上的字符提取和识别系统[J];计算机工程;1995年01期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 康建初,尹宝林,高鹏;支持 MEMS 的 CAD/CAE 系统结构研究[J];北京航空航天大学学报;1998年04期
2 裘安萍,蔡体菁,周百令,王寿荣;音叉式硅微机械振动陀螺仪的粘滞阻尼研究[J];东南大学学报(自然科学版);2000年01期
3 李志坚;微电子机械系统(MEMS)发展展望[J];电子科技导报;1997年01期
4 余雄庆;飞机设计新技术——多学科设计优化[J];航空科学技术;1999年01期
5 周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹;微型机电系统[J];中国机械工程;2000年Z1期
6 阮爱武,冯培德,郭秀中;硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析[J];中国惯性技术学报;1998年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘检华;宁汝新;阎艳;;集成化虚拟装配工艺规划系统研究[J];中国机械工程;2006年23期
2 陈晓嘉;理论与实践相结合的优秀专著──简评《高分子材料的制备与加工》[J];科技与出版;1998年02期
3 王昆林;激光材料加工的数学模型[J];激光杂志;1996年03期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘检华;宁汝新;阎艳;;VAPP:一个集成的虚拟装配工艺规划系统[A];2005年中国机械工程学会年会论文集[C];2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 徐景辉;MEMS工艺集成化设计与仿真技术研究[D];西北工业大学;2006年
2 王所紧;基于装配工艺的可视化及故检技术研究[D];西北工业大学;2007年
3 肖伟杰;高速走丝电火花线切割工艺仿真系统的研究[D];浙江大学;2004年
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