收藏本站
《微纳电子技术》 2003年04期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

聚酰亚胺在MEMS中的特性研究及应用

邓俊泳  冯勇建  
【摘要】:聚酰亚胺具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好、化学性质稳定等特点,在MEMS工艺中有很广泛的应用前景,适于做牺牲层、绝缘层和平坦层等。在简要介绍聚酰亚胺的基础上,着重介绍聚酰亚胺在MEMS工艺中的特性、工艺流程及应用。
【作者单位】厦门大学机电工程系 厦门大学萨本栋微机电研究中心
【分类号】:TP21

手机知网App
【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 龚超,夏善红,邓凯,白强,陈绍凤;聚酰亚胺振动膜微型电场传感器[J];微纳电子技术;2004年12期
2 蔡描;郭兴龙;刘蕾;陈瑾瑾;赖宗声;;RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进[J];传感器与微系统;2006年07期
3 胡梅丽,赖宗声,茅惠兵,忻佩胜,沈德新;RF/MW MEMS开关中聚酰亚胺的牺牲层技术研究[J];微电子学;2005年01期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 张凤田;微热板真空传感器及其单芯片集成技术的研究[D];大连理工大学;2007年
2 李东仓;并三苯有机场效应晶体管的研制[D];兰州大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 鲁李乐;MEMS电磁驱动器的理论分析与实验研究[D];上海交通大学;2008年
2 赵悦;微反射镜阵列的设计和工艺研究[D];华中科技大学;2006年
3 武宇;探空温湿压集成传感器的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2004年
4 陈瑾瑾;通信MEMS射频接触式开关的设计与制作技术研究[D];华东师范大学;2005年
5 曾欢欢;聚酰亚胺集成温湿压传感器的研制[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2006年
6 王艳;基于柔性衬底的微型换能器技术[D];西北工业大学;2007年
7 王雄;新型冲击片雷管设计与制作关键技术研究[D];国防科学技术大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 魏晋云;由氧化层厚度估算化学反应扩散掺杂量的研究[J];太阳能学报;1998年03期
2 何光;石庚辰;;MEMS弹簧特性的有限元分析[J];微计算机信息;2006年35期
3 罗益民,曹家驹,陶敦仁;离子注入硅的碘钨灯快速退火[J];微细加工技术;1987年Z1期
4 闫利文;微电子机械系统技术应用研究[J];机械工程师;2003年07期
5 王荣,尚世琦,杨学昌;硼扩散杂质分布研究[J];辽宁大学学报(自然科学版);1994年02期
6 阮刚;;硅日光电池中某些物理参数的测定[J];复旦学报(自然科学版);1980年02期
7 俞晖;晶片清洗工艺的优化选取及其影响[J];半导体技术;1993年01期
8 何德湛;C-V技术及其在半导体工艺检测上的应用[J];半导体技术;2000年03期
9 王德煌,李艺;外加电场影响Al_2O_3超微晶粒近红外光透射[J];北京大学学报(自然科学版);1996年05期
10 余稳;微波对半导体器件破坏机理──一维器件模型及稳态处理[J];常德师范学院学报(社会科学版);1998年06期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 马望京;赵艳艳;段培成;李智;;传统卤化银感光材料的生产工艺与集成电路制造工艺比较研究[A];中国感光学会影像材料的研究与应用学术研讨会论文集[C];2007年
2 张锐;孙连举;;制导控制系统与电子技术发展[A];航天电子信息配套发展战略论坛论文集[C];2005年
3 颜黄苹;黄元庆;;微/纳制造与微/纳测量技术综述[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
4 肖成榕;张建寰;;微位移机构及其控制技术研究现状和发展[A];福建省科协第五届学术年会数字化制造及其它先进制造技术专题学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 翟燕;PMDA-ODA型聚酰亚胺聚集态结构的可控制备及其薄膜性能研究[D];四川大学;2007年
2 张歆东;基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究[D];吉林大学;2007年
3 张朝阳;纳秒脉冲电流微细电解加工技术研究[D];南京航空航天大学;2006年
4 俞必强;多学科设计优化及在MEMS设计中应用的研究[D];北京科技大学;2006年
5 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
6 郭占社;基于微机械工艺的电磁型平面微电机的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2003年
7 谢海波;集成微泵式微流控芯片关键技术的研究[D];浙江大学;2004年
8 张春良;微制造平台振动主动控制研究[D];浙江大学;2003年
9 孔祥东;电子束液态曝光技术的研究[D];山东大学;2005年
10 李伟剑;微机电系统的多域耦合分析与多学科设计优化[D];西北工业大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾文光;新型复合结构电热微驱动器[D];上海交通大学;2008年
2 吴晓;联苯二胺型聚酰亚胺结构与性能的研究[D];四川大学;2007年
3 张瑞斌;聚酰亚胺环带球晶的形成与影响因素的研究[D];四川大学;2007年
4 王培超;PN结同位素微电池制作工艺研究[D];大连理工大学;2008年
5 黄荣辉;对苯二胺/4,4'-二氨基二苯醚/均苯四酸二酐型聚酰亚胺纤维的研究[D];四川大学;2007年
6 刘斌;硅集成探针技术及微纳摩擦效应研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
7 赵全斌;基于压阻检测的双端固支硅纳米梁研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
8 王兴彦;改性三元共聚亚胺的研究[D];哈尔滨理工大学;2007年
9 左行勇;MEMS及MCM中柔性铰链的设计与制造[D];电子科技大学;2007年
10 邓学亮;引信安全系统中高G值双稳态微加速度开关研究与设计[D];南京理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李德胜,张宇峰,李浩群;微机械电磁继电器的研究[J];北京工业大学学报;2004年02期
2 徐毓龙;汽车用传感器发展动向[J];传感器世界;1996年05期
3 康中尉,罗飞路;矩形激励线圈的磁场分析[J];传感器世界;2003年02期
4 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英;微机械技术发展现状[J];哈尔滨工业大学学报;1997年06期
5 史锡婷;陈四海;何少伟;黄磊;李毅;易新建;;剥离技术制作金属互连柱及其在MEMS中的应用[J];半导体技术;2005年12期
6 蒋军彪,冯培德,魏芳琳,徐建东;微镜单元的设计与加工工艺研究[J];航空精密制造技术;2001年01期
7 杨友文,王建华;MEMS技术现状及应用[J];微纳电子技术;2003年03期
8 鞠挥,吴一辉;微型光谱仪的发展现状[J];光学精密工程;2001年04期
9 张新宇,易新建,赵兴荣,麦志洪,何苗,刘鲁勤;微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究[J];光学精密工程;1997年05期
10 马晓玲,熊志坚,李莉;二阶系统的瞬态响应性能指标分析与应用[J];贵州师范大学学报(自然科学版);2003年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 肖素艳;车录锋;李昕欣;王跃林;;基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陈金伙;有机场效应晶体管的研究与试制[D];兰州大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王鹏;并三苯有机薄膜晶体管的研制[D];兰州大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 蔡描;郭兴龙;刘蕾;陈瑾瑾;赖宗声;;RF MEMS开关在牺牲层工艺上的改进[J];传感器与微系统;2006年07期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 龚超;陶虎;白强;陈绍凤;夏善红;;交错振动式微型电场传感器[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张凤田;微热板真空传感器及其单芯片集成技术的研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 赵悦;微反射镜阵列的设计和工艺研究[D];华中科技大学;2006年
2 黄飞;微电子技术与微电子机械系统[D];合肥工业大学;2006年
3 蔡描;微波MEMS可重构低通滤波器的设计与实现[D];华东师范大学;2007年
4 胡梅丽;射频/微波MEMS接触式开关的研究[D];华东师范大学;2004年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘建平 ,张维 ,丁汉堃;聚酰亚胺工艺的注意事项[J];半导体技术;1985年01期
2 唐北安;聚酰亚胺表面钝化工艺及对半导体器件可靠性和稳定性的影响[J];半导体技术;1985年05期
3 刘明大,李淑文,石志宏;聚酰亚胺厚膜的等离子刻蚀[J];半导体光电;1985年04期
4 Gay Samuelson ,张菊华;用于多层超大规模集成电路的聚酰亚胺[J];电子元件与材料;1986年05期
5 Y.K.Lee ,J.D.Craig ,梁子材;微电子器件用聚酰亚胺涂料[J];电子元件与材料;1986年05期
6 George.A.Brown ,梁子材;在集成电路制造中聚酰亚胺涂膜的电子电导与离子电导本质的研究[J];电子元件与材料;1986年06期
7 梁广港;聚酰亚胺印刷法硅片表面钝化工艺[J];半导体技术;1988年03期
8 张明云;微电子学领域中日益活跃的聚酰亚胺材料[J];电子元件与材料;1989年02期
9 ;聚酰亚胺彩色滤光片材料[J];液晶与显示;1989年06期
10 彭昭廉,黄秋芝;聚酰亚胺与硅片粘附牢度的研究[J];半导体技术;1990年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张龙庆;;聚酰亚胺[A];中国工程塑料工业协会第一届年会论文集[C];1998年
2 张鑫巍;范广宇;李恕广;邓麦村;;6FDA型聚酰亚胺共聚物(6FDA-TMPDA/DABA)合成以及性能表征[A];2000年材料科学与工程新进展(下)——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
3 郝济远;高生强;王晓春;胡爱军;杨士勇;;PMR-Ⅱ热固性聚酰亚胺材料提高性能的研究[A];复合材料的现状与发展——第十一届全国复合材料学术会议论文集[C];2000年
4 雷勇;刘宇锋;江璐霞;傅强;;聚酰亚胺/蒙脱土纳米复合薄膜的制备和表征研究[A];复合材料的现状与发展——第十一届全国复合材料学术会议论文集[C];2000年
5 张爱清;Myong-HoonLee;李香丹;;聚酰亚胺的氯甲基化反应(英文)[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6 韩文广;李耀星;;聚酰亚胺废料回收的研究[A];第八届全国绝缘材料与绝缘技术学术会议论文集[C];2002年
7 王震;方省众;李青璇;张所波;高连勋;丁孟贤;;聚酰亚胺基体树脂的新发展[A];2002年材料科学与工程新进展(下)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
8 陈建升;李仲晓;尚玉明;胡爱军;高生强;杨士勇;;短切碳纤维增强的PMR型聚酰亚胺复合材料的合成与性能研究[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
9 高生强;胡爱军;陈建升;尚玉明;杨士勇;贾均红;陈建敏;;自润滑聚酰亚胺复合材料(ZRPI)性能研究[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
10 黄发荣;包志军;;乙炔基聚酰亚胺的研究[A];复合材料:生命、环境与高技术——第十二届全国复合材料学术会议论文集[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 蔡永源;材料新秀加紧抢市场[N];中国化工报;2001年
2 特约记者 顾定槐 虞仲义;营造创新环境 培育科技成果[N];中国化工报;2001年
3 记者 石明山 通讯员 徐海;新型半金属轿车刹车片问世[N];科学时报;2002年
4 严新;我国研制出新型材料刹车片[N];中国有色金属报;2002年
5 陈葳;热塑性聚酰亚胺材料开发成热点[N];中国化工报;2003年
6 李闻芝;航空航天:塑料复合材料功不可没[N];中国化工报;2003年
7 ;聚合物光纤技术发展迅猛[N];人民邮电;2003年
8 ;一种耐高温耐磨耗聚酰亚胺密封材料及其制备方法和用途[N];中国有色金属报;2003年
9 ;“863”超大规模集成电路配套材料重大专项进展[N];中国电子报;2004年
10 孟晖;二甲基乙酰胺:量少价昂亟待发展[N];中国化工报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王锦艳;含杂萘酮结构的新型高性能树脂的研究[D];大连理工大学;2001年
2 范浩军;侧链液晶聚酰亚胺的合成、表征及性能研究[D];四川大学;2001年
3 王家俊;聚酰亚胺/氮化铝复合材料的制备与性能研究[D];浙江大学;2001年
4 李玲;聚酰亚胺齐聚物改性高性能树脂基体的研究[D];西北工业大学;2002年
5 徐慎刚;主链含荧光染料可溶性聚酰亚胺的合成、表征和发光性能[D];浙江大学;2003年
6 刘习奎;含联苯基团侧链的聚酰亚胺的合成、结构与性能研究[D];四川大学;2003年
7 尹燕;关于高分子电解质型燃料电池用新型侧链型磺化聚酰亚胺的合成及性能的研究[D];天津工业大学;2003年
8 徐静;基于聚合物集成光波导的MZI传感芯片的研究[D];浙江大学;2004年
9 赖仕全;纳米粒子改性聚四氟乙烯和聚酰亚胺的摩擦学性能研究[D];复旦大学;2005年
10 杨进;全芳酯侧链聚酰亚胺的合成、结构与性能研究[D];四川大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 任东文;颜料分散型液晶彩色显示用聚酰亚胺滤色片材料的研制[D];大连理工大学;2000年
2 张鑫巍;新型聚酰亚胺膜材料的合成及其交联方法的研究[D];中国科学院大连化学物理研究所;2001年
3 李秀茹;聚酰胺酸稳定性和超支化聚酰亚胺的研究[D];福建师范大学;2001年
4 唐秀波;三阶非线性光学材料—聚酰亚胺的微波辐射合成及其成膜性研究[D];苏州大学;2002年
5 王建浦;新型(艹北)聚酰亚胺发光二极管的研究[D];浙江大学;2003年
6 汪成;含电子给——受体结构苝聚酰亚胺的合成与光电导性研究[D];黑龙江大学;2003年
7 储焱;耐电晕纳米杂化聚酰亚胺的合成及表征[D];哈尔滨理工大学;2003年
8 耿洪斌;长链聚酰亚胺的制备与表征[D];南京工业大学;2003年
9 许蕾;无机纳米—聚酰亚胺薄膜制备及在高压力下松驰特性研究[D];哈尔滨理工大学;2003年
10 高晋;聚酰亚胺纤维的制备及结构与性能[D];东华大学;2004年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026