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《微纳电子技术》 2002年04期
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深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用

余国彬  姚汉民  胡松  陈兴俊  
【摘要】:随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺。本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验结果表明深紫外光深度光刻具有很大的实用意义。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 孔祥东,张玉林,宋会英;LIGA工艺的发展及应用[J];微纳电子技术;2004年05期
2 刘韧;郑津津;沈连婠;田扬超;刘刚;周洪军;;基于DILL模型的SU8厚胶曝光仿真[J];光电工程;2010年02期
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 邵力耕;脉冲微纳米电铸相关问题的研究[D];大连理工大学;2011年
2 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
3 张继成;(类)金刚石薄膜的微细加工、表征及其在ICF靶制备中的应用[D];中国工程物理研究院;2008年
4 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前6条
1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 李雄;UV-LIGA技术光刻工艺的研究[D];华中科技大学;2004年
3 路亮;紫外激光曝光光刻SU-8胶的工艺研究[D];北京工业大学;2006年
4 马龙;基于准分子激光大深宽比微结构加工工艺研究[D];华中科技大学;2006年
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【同被引文献】
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4 罗元,李向东,付红桥,黄尚廉;MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究[J];半导体光电;2003年02期
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1 姜志刚;高气压直流辉光放电及其等离子体化学气相沉积金刚石厚膜的生长特性与应用研究[D];吉林大学;2004年
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6 唐雄贵;厚胶光学光刻技术研究[D];四川大学;2006年
7 李木军;接近式光刻仿真研究[D];中国科学技术大学;2007年
8 郭小伟;SLM无掩模光刻技术的研究[D];四川大学;2007年
9 李晓光;紫外光刻仿真及掩模优化设计研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马国佳;应用于微机电系统上的类金刚石膜制备[D];大连理工大学;2003年
2 肖啸;厚层抗蚀剂成像特性研究[D];四川大学;2003年
3 殷吉昊;纳米晶金刚石薄膜场致发射特性研究[D];电子科技大学;2003年
4 孙心瑗;热丝化学气相沉积金刚石膜的研究[D];湖南大学;2004年
5 刘世杰;厚胶光刻技术研究[D];四川大学;2004年
6 吴荣兵;空心玻璃微球球壳准分子激光刻蚀的研究[D];华中科技大学;2004年
7 李雄;UV-LIGA技术光刻工艺的研究[D];华中科技大学;2004年
8 刘驰;DMD用于数字光刻成像研究[D];四川大学;2005年
9 张进;金刚石薄膜制备工艺与电学、辐射响应性关系的研究[D];四川大学;2005年
10 陆平;用微电铸方法制作微流控芯片镍基阳模的研究[D];浙江大学;2006年
【二级引证文献】
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1 宋志;魏淑华;段辉高;薛虹;韩立;;三维微结构制作现状与进展[J];半导体技术;2008年07期
2 卢文娟;张玉林;孔祥东;郝惠娟;;基于软刻蚀技术的微三维结构加工方法研究[J];微纳电子技术;2007年10期
3 秦江;杜立群;刘冲;朱神渺;;SU-8胶微结构的尺寸公差研究[J];传感技术学报;2006年05期
4 杜立群;秦江;刘冲;朱神渺;李园园;;SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究[J];光学精密工程;2007年04期
5 许姣姣;司云森;余强;曾初生;;电化学沉积技术的新发展[J];南方金属;2007年02期
6 吴志亮;黄新龙;朱继南;张合;;MEMS引信部件LIGA制作工艺及其问题分析[J];探测与控制学报;2008年05期
7 贾轶杰;何勇;张年松;李迎;;几种最新加工微阵列方法的比较[J];机械制造与自动化;2012年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 刘斌;贺灿辉;;微成形模具制造技术与应用现状分析[A];第14届全国特种加工学术会议论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈龙江;曲面激光直写中若干关键技术研究[D];浙江大学;2010年
2 张洪亮;几种光电材料的制备及性能研究[D];兰州大学;2011年
3 吴志亮;特种小型机电引信设计及关键技术研究[D];南京理工大学;2010年
4 王少华;微细电解线切割加工技术的试验研究与应用[D];南京航空航天大学;2010年
5 贺占蜀;交错互通微通道多孔网格板制造及其强化传热研究[D];华南理工大学;2011年
6 孔祥东;电子束液态曝光技术的研究[D];山东大学;2005年
7 关艳霞;微流控分析系统中微流体驱动技术的研究[D];东北大学;2006年
8 宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
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10 张先锋;微尺度流动及强化混合技术的研究[D];中国科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张成;SU-8柔性微夹钳的拓扑优化设计与制作工艺[D];大连理工大学;2010年
3 张颖;仿生皮纳升高通量进样系统设计及制作[D];大连理工大学;2010年
4 吕志平;SU-8胶模溶胀性及其隔离带控制工艺研究[D];大连理工大学;2010年
5 杨孟琳;基于单片机控制的微杯型电子纸显示系统的设计和制作[D];天津大学;2010年
6 金方进;微细电火花铣削加工电极补偿算法及实验研究[D];上海交通大学;2012年
7 毕京林;分步电镀法Sn-Ag合金凸点的制备及工艺优化[D];上海交通大学;2012年
8 张欢;平面固态高压单触发开关的设计、制作与性能研究[D];南京理工大学;2012年
9 明安杰;8×8 MOEMS光开关的准直、耦合系统设计及实验研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 张荣荣;微型齿轮齿廓设计方法研究[D];南京航空航天大学;2006年
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1 ;光电所URE-2000系列紫外深度光刻机通过鉴定[J];光机电信息;2007年12期
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9 周南;;第14届固态传感器、传动器与微系统国际会议(Ⅱ)[J];分析试验室;2009年01期
10 彭良强;封面说明[J];物理;2002年09期
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1 郭育华;刘刚;田扬超;;NSRL的同步辐射X射线深度光刻技术[A];光子科技创新与产业化——长三角光子科技创新论坛暨2006年安徽博士科技论坛论文集[C];2006年
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3 辛洪兵;;弹性铰链的可靠性设计[A];2006年全国机械可靠性学术交流会论文集[C];2006年
4 伊福廷;张菊芳;;北京同步辐射装置LIGA技术研究[A];全国先进制造技术高层论坛暨制造业自动化、信息化技术研讨会论文集[C];2005年
5 周兆英;袁松梅;;微/纳机电系统的技术特点及其产业化分析(摘要)[A];中国科协2001年学术年会分会场特邀报告汇编[C];2001年
6 袁哲俊;;纳米技术的最新进展[A];面向21世纪的生产工程——2001年“面向21世纪的生产工程”学术会议暨企业生产工程与产品创新专题研讨会论文集[C];2001年
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1 杨虎军;DEM三维微加工能手[N];中国矿业报;2000年
2 易人;MEMS:小角色的大未来[N];计算机世界;2003年
3 召己;我国超导磁体在加速器应用国际领先[N];中国有色金属报;2002年
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5 秋人;21世纪经济的特点[N];中国质量报;2000年
6 于寅虎;加速度传感器期待大市场[N];中国电子报;2004年
7 辛言;未来机械工程科学发展趋势[N];中国建材报;2000年
8 本报记者 钟洪奇;智能微尘:魔鬼还是天使?[N];计算机世界;2003年
9 黄敏;光能“拧弯”物体[N];新华每日电讯;2010年
10 上海硅知识产权交易中心;硅基MEMS制造技术美国成熟中国活跃[N];中国电子报;2010年
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1 李晓光;紫外光刻仿真及掩模优化设计研究[D];中国科学技术大学;2007年
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3 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
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1 方志华;MEMS工艺版图三维重构技术研究[D];西北工业大学;2004年
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