收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

集成真空微电子器件的制备方法

S.M.Zimmerman  汤西英  
【摘要】:发射极极尖的锥尖是典型场发射真空微电子器件最好的物理结构,一般不是由标准的集成电路制备工艺制备的。本文提出利用共形薄膜填充小孔时自然形成的尖端作为模型来制备较尖的发射极。形成这个锥尖的方法不仅容易与制备阴极、二极管、三极管和更多电极器件的标准半导体工艺相结合,而且也能与器件结构内部所有电极自对准。本文将描述用于制备微电子三极管器件的基本工艺过程,然后给出怎样改变工艺才能制备出不同数量电极和独立的阴极结构。描述了初步实验结果,分析讨论了工艺重复性的估算。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杜行尧;射频功率晶体管可靠性设计研究[J];半导体技术;1980年01期
2 维强;小功率晶体管参数测量原理与方法(一)[J];半导体技术;1980年04期
3 石明;晶体管黑白电视接收机原理与维修(二)[J];半导体技术;1980年06期
4 王秀春;双极集成电路实现1000门的最新工艺技术[J];微电子学;1980年05期
5 WonchanKim,WalterL.Eng;发射极耦合注入逻辑[J];电子器件;1980年S1期
6 曾庆明;雷学棋;侯立章;;C波段1瓦硅功率晶体管[J];微纳电子技术;1980年06期
7 傅祚祺;影响正向AGC特性的因素[J];半导体技术;1981年04期
8 苏里曼;肖特基收集极宽发射极GaAlAs/GaAs高速开关晶体管的试制及其性能[J];半导体技术;1981年05期
9 熊承堃;崩越晶体管[J];固体电子学研究与进展;1981年01期
10 张全,朱恩均;多晶发射极超增益晶体管[J];电子学报;1981年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 张金堂;;肌电图机检修两例[A];山东医学会医疗器械专业委员会第八次学术年会论文集[C];2000年
2 李宏;;IEGT-电力半导体器件家族中的新成员[A];中国电工技术学会电力电子学会第八届学术年会论文集[C];2002年
3 陈奕;;BY-1型八通道脉冲磁疗仪维修两例[A];中华医学会医学工程学分会全国医疗器械应用技术评价暨医学影像技术研讨会论文集[C];2003年
4 强文义;赵广播;;关于我国发展空间核电源的建议[A];2004学术年会论文集[C];2004年
5 孙金海;赵国忠;张亮亮;钟华;沈京玲;张存林;;浅议电场和磁场对THz的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
6 孙金海;赵国忠;张亮亮;钟华;沈京玲;张存林;;外加电场和磁场对THz辐射产生的影响[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
7 赵国忠;张振伟;崔伟丽;钟华;张存林;杨国桢;R.N.Schouten;P.C.M.Planken;;基于不同半导体的太赫兹(THz)发射光谱[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
8 赵国忠;张存林;杨国桢;;面向光谱与成像应用的THz产生与探测实验系统[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
9 朱长纯;;纳米材料及其在真空微电子器件中的应用[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
10 薛文彦;马西奎;吴亚中;;基于软开关电路测量的IGBT高频寄生参数抽取[A];电工理论与新技术学术年会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 刘文超;砷化镓基高温HBT器件及其特性研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
2 王海燕;硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究[D];郑州大学;2005年
3 胡留长;平面型共振隧穿二极管与共振隧穿晶体管的研究与应用[D];天津大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 林大松;SiGe HBT建模及模拟技术研究[D];西安电子科技大学;2001年
2 史宁;真空微电子三极管的计算机模拟及性能测试[D];南京理工大学;2002年
3 吴尉;钼基体表面气相沉积钨涂层微观结构研究[D];中国原子能科学研究院;2003年
4 靳瑞英;光控SiC器件的计算机模拟[D];西安理工大学;2004年
5 陈雷东;InGaAs/InP HBT的直流特性分析与设计[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2003年
6 陈庆华;SiGe HBT及其单片集成电路的研究[D];电子科技大学;2006年
7 张华斌;SiGe HFIC宽带低噪声放大器的研究[D];电子科技大学;2006年
8 江勇;基于SiGe技术的5GHz频段射频接收机前端研究[D];西安电子科技大学;2007年
9 蔡霞;音频信号处理电路的设计[D];上海交通大学;2007年
10 宋瑞良;共振隧穿三极管模拟及研制的研究[D];天津大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 轩文;风云系列巡天观测风与雨[N];中国航天报;2000年
2 黑龙江 张宏伟;声光节拍器[N];电子报;2000年
3 王卫东;微机开关电源的检测和维修方法[N];北京电子报;2000年
4 四川工业大学电气协会 曹林;又一款调频话筒[N];电子报;2001年
5 浙江 王斌林;又一款调频话筒[N];电子报;2001年
6 江西 王强;变容管调频无线发送器[N];电子报;2001年
7 广东 陈允保;共射放大器反馈类型判断方法[N];电子报;2001年
8 广东 李继林;中大8080型卫星接收机电源故障检修一例[N];电子报;2001年
9 广东 陈志锋;使爱立信GF788手机振铃声增大[N];电子报;2001年
10 南京 闵雪峰;新型稳压器件LM2576及其应用[N];电子报;2001年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978