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《半导体技术》 1998年04期
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高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析

杨国伟  
【摘要】:讨论了高频辉光放电等离子体系统中绝缘衬底表面的自负偏压问题,用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。
【作者单位】湘潭大学物理系
【分类号】:O53,O461.21

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
2 万真真;辉光放电等离子体激发源驱动控制电路设计[D];河北大学;2006年
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 彭静,张军,蹇锡高,顾彪;低温等离子体在CF/树脂基复合材料中的应用[J];工程塑料应用;1998年11期
2 邹德恕,徐晨,鲁鹏程,杜金玉,崔碧峰,舒雄文,刘莹,沈光地;射频溅射法镀LD腔面光学薄膜的工艺研究[J];半导体光电;2003年06期
3 杨国伟;离子镀光学薄膜的等离子体物理过程[J];半导体光电;1996年01期
4 郭述文,朱基千,谭淞生,王渭源;氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜[J];半导体学报;1989年10期
5 朱立群,钟群鹏,杉山和夫;等离子体处理对非晶态合金镀层表面改性研究[J];北京航空航天大学学报;1998年02期
6 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[J];北京理工大学学报;2005年S1期
7 庞华,葛袁静,张跃飞,张广秋;射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响[J];北京印刷学院学报;2003年04期
8 王静,苏锋;非平衡等离子体作用下低碳烷烃无氧烯烃化反应研究[J];大连大学学报;2004年06期
9 王宗仁,苏晖;压铸铝合金表面强化新技术的研究与应用[J];东北师大学报(自然科学版);2002年02期
10 姚春秀,柯勤飞;丙烯酰胺接枝改性熔喷聚酯非织造布的研究[J];东华大学学报(自然科学版);2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 宋佩珂;曾祥斌;张锐;赵伯芳;;用于HIT太阳能电池的本征非晶硅薄膜[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
2 王德禧;;低温等离子体在聚合物材料中的应用[A];2005塑料助剂生产与应用技术信息交流会论文集[C];2005年
3 阮建军;施耀;;一种新型的除臭技术——非平衡等离子体[A];中国环境保护优秀论文精选[C];2006年
4 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[A];中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会论文集[C];2005年
5 岳蕾;谢芬艳;陈强;翁静;;射频等离子体聚合类聚乙烯氧抗菌功能材料的研究[A];第十一届全国包装工程学术会议论文集(一)[C];2007年
6 谢飞;何家文;;循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN膜耐腐蚀性能的影响[A];'99中国国际腐蚀控制大会论文集[C];1999年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 唐军旺;微波辐射下NO转化的研究[D];中国科学院大连化学物理研究所;2001年
2 柴红;微孔聚丙烯膜的亲和改性及固定金属离子亲和膜的制备和应用[D];浙江大学;2001年
3 徐云鹏;微波技术在甲烷转化过程中的应用[D];中国科学院大连化学物理研究所;2001年
4 张秀玲;等离子体催化共活化CH_4-CO_2制C_2烃反应研究[D];大连理工大学;2002年
5 魏文韫;高速气雾两相流弛豫过程相间动量传递研究[D];四川大学;2002年
6 代斌;等离子体催化二氧化碳经甲烷化制C_2烃反应的研究[D];大连理工大学;2002年
7 宋雪梅;化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究[D];北京工业大学;2003年
8 吕永康;等离子体热解煤制乙炔及热力学和动力学分析[D];太原理工大学;2003年
9 金郡潮;羊毛织物等离子体表面改性的研究[D];东华大学;2004年
10 孙铭山;外场作用下强化钢液脱氮、脱氧的研究[D];上海大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 代斌;等离子体—催化活化二氧化碳制低碳化合物的研究[D];大连理工大学;2000年
2 何欢;高频离子氮化的工艺研究[D];大连理工大学;2000年
3 蒋永锋;铝合金微弧氧化陶瓷层的制备工艺及陶瓷层生长过程的研究[D];西安理工大学;2001年
4 杨坤进;射频辉光放电等离子体空间特性的探针研究[D];汕头大学;2001年
5 程新利;Fe-Zr-B磁性薄膜的制备与研究[D];苏州大学;2001年
6 叶超;α-C:F薄膜的沉积、结构与介电性质研究[D];苏州大学;2001年
7 史庆军;常压辉光放电及其对涤纶织物的表面改性研究[D];大连理工大学;2001年
8 张琳;等离子体——催化分解脱除NO_X的研究[D];大连理工大学;2001年
9 黄俊卿;直流辉光放电正柱区及阴极鞘层区的模拟研究[D];大连理工大学;2001年
10 宋道颖;a-Si:H薄膜的MWECR CVD制备及特性研究[D];北京工业大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 张毅,陈英颖,张志颖;辉光放电光谱仪及其在钢板表面分析中的应用[J];宝钢技术;2001年04期
2 王浩敏,林更琪,李震,李佐宜;溅射氩气压对TbFeCo薄膜磁和磁光性能的影响[J];磁性材料及器件;2003年01期
3 欧庆瑜,梁冰,李菊白;脉冲放电检测器[J];分析测试技术与仪器;2001年01期
4 陈刚,葛爱景,卓尚军,王佩玲;辉光放电质谱法在无机非金属材料分析中的应用[J];分析化学;2004年01期
5 刘湘生;HGZ-Ⅱ型自动辉光放电光源的研制[J];分析试验室;1995年02期
6 赵金伟,郑建明;辉光放电光谱分析技术在金属材料分析中的应用[J];光谱实验室;2002年06期
7 李晓斌,强明辉;气体异常辉光放电的自寻优控制系统[J];甘肃工业大学学报;1998年03期
8 江美福,宁兆元;射频功率对反应磁控溅射法沉积的a-C:F薄膜的影响[J];苏州大学学报(自然科学版);2003年04期
9 张毅,张志颖,陈英颖;辉光放电光谱仪的基本原理及在钢铁分析中的应用[J];现代科学仪器;2000年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 刘续峰;ICP调谐基片偏压跳变回滞现象的研究[D];大连理工大学;2002年
2 张胜坤;电容耦合射频辉光放电等离子体激发源研制[D];河北大学;2005年
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 马雯;基于MEMS的微型ICP光谱激发源研究[D];河北大学;2006年
【相似文献】
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1 姚福保;张连珠;赵海涛;杨巍;;高频容性氢等离子体的特征[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
2 刘峰;王琪;李相波;;等离子体射流预处理船体钢表面亲水性研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3 郝莹莹;张连珠;;H_2-N_2甚高频放电原子态粒子的流密度[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李沛;低气压辉光放电等离子体灭菌消毒装置的研究[D];北京交通大学;2008年
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