收藏本站
《半导体技术》 1997年02期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于神经网络BP算法PECVDSi_3N_4钝化工艺的模拟

徐重阳  丁晖  邹雪城  张少强  冯汉华  戴永兵  袁奇燕  万新恒  
【摘要】:由于IC制造过程的高度复杂非线性,利用传统的方法进行工艺分析难以获得满意的结果,现描述一种新的途径——神经网络反向传播算法(BP算法),并介绍了神经网络BP算法在PECVDSi3N4钝化工艺中的应用。通过建立PECVD淀积工艺的神经网络模型,对PECVDSi3N4钝化工艺进行了计算机模拟,讨论了相关工艺条件对Si3N4介质膜特性的影响。所编写的神经网络应用程序已用C语言在计算机上得到了实现

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 宁彬;吴钊;周健威;;电子政务绩效评价体系研究[J];电脑知识与技术;2011年13期
2 郭庆春;孔令军;史永博;崔文娟;张小永;寇立群;;基于神经网络的入境旅游人数预测[J];价值工程;2011年25期
3 黄莲花;李光明;;神经网络数据融合在车用传感器中的应用[J];装备制造技术;2011年08期
4 孙海龙;冯超;匙瑞堂;;滚动轴承状态监测[J];工业设计;2011年05期
5 张国光;王林山;;一类时滞递归神经网络的鲁棒稳定性[J];滨州学院学报;2011年03期
6 周鸣一;程文清;赵建立;;基于神经网络的程控交换机故障诊断方法研究[J];电脑知识与技术;2011年25期
7 孙朝云;;基于人工神经网络的预测模型[J];福建电脑;2011年07期
8 李刚;师颖;刘兴堂;胡小江;;基于神经网络的复杂仿真系统验证方法[J];计算机仿真;2011年08期
9 薛小兰;;人工神经网络在机械故障诊断中的应用[J];晋中学院学报;2011年03期
10 姜燕;李亢;;人工神经网络在冠心病中的仿真研究[J];计算机仿真;2011年06期
11 薛小兰;;人工神经网络在机械故障诊断中的应用[J];机械研究与应用;2011年03期
12 曹婧华;冉彦中;郭金城;;玉米考种系统的设计与实现[J];长春师范学院学报;2011年08期
13 李华;曹晓龙;成江荣;;BP神经网络在软件项目风险评估中的应用[J];计算机仿真;2011年07期
14 杨鹤年;;机电一体化系统中的智能控制技术[J];煤炭技术;2011年07期
15 陈敏;尹学志;;基于模糊推理和神经网络的呼吸障碍诊断方法的研究[J];中国医疗器械杂志;2011年04期
16 许杰;程锦房;何光进;;一种基于舰船磁场的神经网络识别模型[J];船电技术;2011年09期
17 张赫;王炜;刘莹莹;;神经网络在交通流信息融合中的应用[J];武汉理工大学学报(交通科学与工程版);2011年04期
18 李博;;基于人工智能技术的电子商务辅助教学系统[J];太原城市职业技术学院学报;2011年06期
19 卢香利;王弦;鲍务均;吴功平;;巡线机器人运动学模型的建立及正逆解的求取[J];机械研究与应用;2011年03期
20 王红娟;黄义定;;利用快速热退火法制备多晶硅薄膜[J];南阳师范学院学报;2011年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 侯艳芳;冯红梅;;基于神经网络的调制识别算法的研究[A];武汉(南方九省)电工理论学会第22届学术年会、河南省电工技术学会年会论文集[C];2010年
2 沈建荣;杨林泉;陈琳;;神经网络的稳定性判据与区域经济结构调整[A];系统工程与可持续发展战略——中国系统工程学会第十届年会论文集[C];1998年
3 石山铭;李富兰;丁俊丽;;神经网络的知识获取[A];全国青年管理科学与系统科学论文集(第1卷)[C];1991年
4 吴清烈;徐南荣;;基于神经网络的一种多目标决策方法[A];复杂巨系统理论·方法·应用——中国系统工程学会第八届学术年会论文集[C];1994年
5 李晓钟;汪培庄;罗承忠;;神经网络与模糊逻辑[A];中国系统工程学会模糊数学与模糊系统委员会第五届年会论文选集[C];1990年
6 房育栋;余英林;;高阶自组织映射及其学习算法[A];1995年中国控制会议论文集(上)[C];1995年
7 王晓晔;杜朝辉;吕德忠;刘建峰;;神经网络模糊控制在温度控制系统中的应用[A];1997中国控制与决策学术年会论文集[C];1997年
8 金龙;吴建生;;基于遗传算法的神经网络短期气候预测模型(摘要)[A];新世纪气象科技创新与大气科学发展——中国气象学会2003年年会“气候系统与气候变化”分会论文集[C];2003年
9 申伟;张元培;;基于MATLAB的自适应神经网络模糊系统(ANFIS)的应用[A];《制造业自动化与网络化制造》学术交流会论文集[C];2004年
10 田艳兵;;BP算法和PSO算法在神经网络中的研究[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘志祥;深部开采高阶段尾砂充填体力学与非线性优化设计[D];中南大学;2005年
2 戴雪龙;PET探测器神经网络定位方法研究[D];中国科学技术大学;2006年
3 马戎;智能控制技术在炼钢电弧炉中的应用研究[D];西北工业大学;2006年
4 文敦伟;面向多智能体和神经网络的智能控制研究[D];中南大学;2001年
5 吴大宏;基于遗传算法与神经网络的桥梁结构健康监测系统研究[D];西南交通大学;2003年
6 杜文斌;基于神经网络的冠心病证候诊断标准与药效评价模型研究[D];辽宁中医学院;2004年
7 熊雪梅;参数化模糊遗传神经网络及在植物病害预测的应用[D];南京农业大学;2004年
8 李智;电站锅炉燃烧系统优化运行与应用研究[D];东北大学;2005年
9 王承;基于神经网络的模拟电路故障诊断方法研究[D];电子科技大学;2005年
10 谭阳红;基于小波和神经网络的大规模模拟电路故障诊断研究[D];湖南大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 廖犬发;一种配电网故障区间诊断系统的研究[D];武汉大学;2004年
2 陈燕;基于粒计算——神经网络的故障诊断方法与应用[D];太原理工大学;2011年
3 魏秀;文化算法优化RBF神经网络及应用研究[D];太原理工大学;2011年
4 王晶;基于神经网络理论实现混沌系统控制与同步研究[D];郑州大学;2002年
5 易江义;神经网络PID控制在汽车发电机性能自动测试系统的应用[D];中南大学;2004年
6 张霞;GIS内部信号识别的神经网络建模及小波算法实现[D];天津大学;2003年
7 仲京臣;基于小波神经网络的故障诊断研究[D];中国海洋大学;2004年
8 任子武;基于神经网络的参数自整定PID控制算法研究[D];哈尔滨理工大学;2004年
9 高玉萍;基于专家系统与神经网络相结合的电力变压器故障诊断[D];西安理工大学;2005年
10 姆斯塔法;基于神经网络的二关节机器人协调控制[D];湖南大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 静蓉;AKT第七代PECVD预计明年中出货三星[N];电子资讯时报;2003年
2 记者 郝晓明;我国首台国产12英寸PECVD样机沈阳出厂[N];科技日报;2011年
3 记者 陈青 通讯员 孙国根;揭示神经网络形成新机制[N];文汇报;2011年
4 沈可心;首台国产12英寸PECVD设备诞生[N];中国化工报;2011年
5 记者 王冠/北京;全球七代线扩厂拉开序幕[N];电子资讯时报;2004年
6 于翔;数字神经网络中的协同应用[N];网络世界;2009年
7 健康时报特约记者  张献怀;干细胞移植:修复受损的神经网络[N];健康时报;2006年
8 邹丽梅 陈耀群;江苏科大神经网络应用研究通过鉴定[N];中国船舶报;2006年
9 记者 孙刚;“神经网络”:打开复杂工艺“黑箱”[N];解放日报;2007年
10 本报首席记者 任荃 实习生 史博臻;轨交“神经网络”触动创新神经[N];文汇报;2011年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978