收藏本站
《半导体技术》 2012年06期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法

王亮  胡静涛  
【摘要】:针对光刻过程非线性、时变和产品质量不易在线测量的特性,提出了一种基于最小二乘支持向量机预测模型和微粒群滚动优化方法的批次控制预测控制器。通过历史批次样本数据构建光刻过程的最小二乘支持向量机预测模型,解决了复杂光刻过程难以建立精确数学模型的难题,提高了预测模型的精度。通过预测误差的反馈校正和微粒群滚动优化算法求解最优控制律,提高了控制精度。性能分析结果表明,与指数加权移动平均方法及非线性模型预测控制方法相比较,批次控制预测控制器控制器减小了不同批次关键尺寸输出的差异,显著降低了关键尺寸输出的均方根误差,有效抑制了过程扰动影响。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 王亮;胡静涛;;光刻过程RtR控制方法研究进展分析[J];半导体技术;2011年03期
2 徐勇;张广辉;钱锋;;基于改进克隆选择算法的最小二乘支持向量机[J];华东理工大学学报(自然科学版);2008年05期
3 谢晓锋,张文俊,杨之廉;微粒群算法综述[J];控制与决策;2003年02期
4 张学工;关于统计学习理论与支持向量机[J];自动化学报;2000年01期
5 顾燕萍;赵文杰;吴占松;;最小二乘支持向量机的算法研究[J];清华大学学报(自然科学版);2010年07期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王东霞;张楠;路晓丽;;基于育种算法的SVM参数优化[J];安徽大学学报(自然科学版);2009年04期
2 陶秀凤,唐诗忠,周鸣争;基于支持向量机的软测量模型及应用[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2004年02期
3 程伟;张燕平;赵姝;;支持向量机在粮食产量预测中的应用[J];安徽农业科学;2009年08期
4 武素华;;基于最小二乘支持向量机的土壤含水量检测的研究与分析[J];安徽农业科学;2009年09期
5 陈念;沈佐民;;基于化学成分检测和SVM分类的茶叶品质鉴定[J];安徽农业科学;2010年15期
6 黄远顺;;矫直机的自动故障预报技术[J];安徽冶金;2012年01期
7 王尔丹;人群运动与密度估计技术研究[J];安全;2005年03期
8 冯学军;;最小二乘支持向量机的研究与应用[J];安庆师范学院学报(自然科学版);2009年01期
9 林春丽;齐欣;王克成;;SVM-KNN分类器在异常行为检测中的应用[J];辽宁科技大学学报;2010年05期
10 周德强;冯建中;;建筑物沉降预测的改进Verhulst模型研究[J];地下空间与工程学报;2011年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 宋海鹰;桂卫华;阳春华;;基于核偏最小二乘的简约最小二乘支持向量机及其应用研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
2 宋海鹰;桂卫华;阳春华;;基于最小二乘支持向量机的Hammerstein-Wiener模型辨识[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
3 刘羿彤;付梦印;高宏斌;;一种改进的PSO算法[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
4 ;Inverse System Control of Nonlinear Systems Using LS-SVM[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
5 ;A Novel Proximal Support Vector Machine and Its Application in Radar Target Recognition[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
6 ;A CDMA Signal Receiver Based on LS-SVM[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
7 顾小军;杨世锡;钱苏翔;;基于支持向量机的旋转机械多类故障识别研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
8 吕蓬;柳亦兵;马强;魏于凡;;支持向量机在齿轮智能故障诊断中的应用研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
9 李曙光;;粒子群算法在高速公路多路径费用拆分方法研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
10 姜明辉;袁绪川;;基于GA优化的个人信用评估SVM模型[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵莹;半监督支持向量机学习算法研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
2 母丽华;煤矿安全预警系统的方法研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 冷欣;船用增压锅炉汽包水位预测控制方法研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
4 朱广平;混响干扰中的信号检测技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
5 孔凡芝;引线键合视觉检测关键技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
6 郑大腾;柔性坐标测量机空间误差模型及最佳测量区研究[D];合肥工业大学;2010年
7 陈广洲;多源信息耦合的成矿预测新模型研究[D];合肥工业大学;2010年
8 李书艳;单点氨基酸多态性与疾病相关关系的预测及其机制研究[D];兰州大学;2010年
9 张明;电能质量扰动相关问题研究[D];华中科技大学;2010年
10 王晓明;基于统计学习的模式识别几个问题及其应用研究[D];江南大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曾传华;基于颜色和纹理特征的竹条分级方法研究[D];华中农业大学;2010年
2 展慧;基于多源信息融合技术的板栗分级检测方法研究[D];华中农业大学;2010年
3 杜二玲;拟概率空间上等均值噪声下统计学习理论的理论基础[D];河北大学;2007年
4 李金华;基于SVM的多类文本分类研究[D];山东科技大学;2010年
5 田文娟;基于支持向量机的人民币序列号识别方法的研究[D];山东科技大学;2010年
6 孟培培;基于3S的土地督察信息系统研究[D];山东科技大学;2010年
7 安文娟;Fisher和支持向量综合分类器[D];辽宁师范大学;2010年
8 姜成玉;基于支持向量机的时间序列预测[D];辽宁师范大学;2010年
9 李海清;支持向量机在金融市场预测中的应用[D];辽宁师范大学;2010年
10 徐玉颖;气垫式流浆箱智能解耦控制系统[D];浙江理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前7条
1 刘丽珏;蔡自兴;;一种改进的克隆选择优化算法[J];计算机工程与应用;2006年13期
2 范玉刚;李平;宋执环;;动态加权最小二乘支持向量机[J];控制与决策;2006年10期
3 张学工;关于统计学习理论与支持向量机[J];自动化学报;2000年01期
4 卢增祥,李衍达;交互支持向量机学习算法及其应用[J];清华大学学报(自然科学版);1999年07期
5 宋志宇;李俊杰;;最小二乘支持向量机在大坝变形预测中的应用[J];水电能源科学;2006年06期
6 徐炜,贺占庄,黄士坦;一种新的免疫克隆选择算法在多峰寻优中的应用[J];武汉大学学报(工学版);2005年05期
7 郭辉;刘贺平;王玲;;最小二乘支持向量机参数选择方法及其应用研究[J];系统仿真学报;2006年07期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王庆超;张健中;;基于Hammerstein模型的连续搅拌反应釜非线性预测控制[J];南京理工大学学报(自然科学版);2010年05期
2 蔡冬松;靖继鹏;;基于最小二乘支持向量机的数据挖掘应用研究[J];情报科学;2005年12期
3 张本法;杨赛楠;潘丰;;基于支持向量机的发酵过程建模研究[J];控制工程;2006年04期
4 郭辉;刘贺平;王玲;;基于最小二乘支持向量机对偶优化问题的核偏最小二乘[J];北京科技大学学报;2006年08期
5 张国云;彭仕玉;;混沌时间序列的最小二乘支持向量机预测[J];湖南理工学院学报(自然科学版);2006年03期
6 刘瑞兰;骆中华;苏宏业;;基于最小二乘支持向量机的复合肥装置养分含量的软测量建模[J];化工自动化及仪表;2006年05期
7 王定成;姜斌;;在线稀疏最小二乘支持向量机回归的研究[J];控制与决策;2007年02期
8 祝晓鲁;白振兴;贾海燕;;自动文本分类技术研究[J];现代电子技术;2007年03期
9 吴青;刘三阳;杜喆;;回归型模糊最小二乘支持向量机[J];西安电子科技大学学报;2007年05期
10 韩立炜;李宗坤;王建有;;最小二乘支持向量机参数反演方法及其应用[J];水利水电科技进展;2009年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 吴晓峰;费敏锐;;烧结终点温度预测控制系统的应用[A];2007年中国智能自动化会议论文集[C];2007年
2 穆朝絮;张瑞民;孙长银;;基于粒子群优化的非线性系统最小二乘支持向量机预测控制方法[A];2009年中国智能自动化会议论文集(第八分册)[控制理论与应用(专刊)][C];2009年
3 曾杰;梁年生;刘育骐;郭创新;;神经灵敏度预测控制器及其应用[A];1996年中国智能自动化学术会议论文集(上册)[C];1996年
4 刘丹军;胡邦辉;袁野;张辉;;最小二乘支持向量机在能见度预报中的应用[A];第26届中国气象学会年会灾害天气事件的预警、预报及防灾减灾分会场论文集[C];2009年
5 戴林超;吴琳丽;赵海娜;李训铭;;基于最小二乘支持向量机的故障预测法[A];2009年中国智能自动化会议论文集(第六分册)[中南大学学报(增刊)][C];2009年
6 卢志刚;易之光;赵翠俭;李兵;吴士昌;;基于最小二乘支持向量机的非线性自适应逆控制[A];2005中国控制与决策学术年会论文集(上)[C];2005年
7 虞俊;王冰;王平;陈星莺;;基于交叉验证最小二乘支持向量机的风速预测[A];中国高等学校电力系统及其自动化专业第二十四届学术年会论文集(下册)[C];2008年
8 鲁春燕;李炜;刘微容;;基于LS-SVM的氧化铝粉流量软测量建模[A];全国冶金自动化信息网2009年会论文集[C];2009年
9 赵众;池上康之;中村政俊;;基于非线性分离模型的预测控制及其应用[A];第16届中国过程控制学术年会暨第4届全国故障诊断与安全性学术会议论文集[C];2005年
10 郭瑞华;曹庆年;程国建;;基于粒子群优化的最小二乘支持向量机在岩性识别中的应用[A];第十一届中国青年信息与管理学者大会论文集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 田晓娜;液晶电视利润趋微 外资品牌增长强劲[N];中国计算机报;2007年
2 本报实习生 任仲林本报记者 吴晓向;常桂春:“质量信得过的人”[N];工人日报;2007年
3 于靖;光学科技离不开计量[N];中国质量报;2003年
4 王君毅 陈炳欣 特稿;LCD TV市场高速成长 面板厂又爱又恨 跌价过快 上、下游垂直整合渐成趋势[N];电子资讯时报;2007年
5 龙文;康佳:双倍高清发起“客厅革命”[N];国际商报;2006年
6 李阳;康佳液晶爆价格地震 双倍高清领“客厅革命”[N];经济视点报;2006年
7 本版编辑索寒雪 中国智囊团;贩卖“买来的真相”[N];中国经营报;2008年
8 记者 朱亦枫/北京;液晶引爆价格地震 主流尺寸全线突破关键价位[N];电子资讯时报;2006年
9 程文山 陈进荣;电力机车技术引进的最新步伐[N];人民铁道;2006年
10 ;液晶电视价格狂飙[N];消费日报;2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 林连雷;支持向量机算法及其在雷达干扰效果评估中的应用研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
2 刘昕;多功能传感器信号重构方法研究及其应用[D];哈尔滨工业大学;2009年
3 范玉刚;基于Kernel的机器学习在建模与分类问题的应用研究[D];浙江大学;2006年
4 王永安;液压集成块性能评估系统关键技术研究[D];大连理工大学;2009年
5 蒲秀娟;胎儿心电信号提取研究[D];重庆大学;2009年
6 于如军;管状直接甲醇燃料电池的研制及其建模与控制[D];上海交通大学;2006年
7 陈爱军;最小二乘支持向量机及其在工业过程建模中的应用[D];浙江大学;2006年
8 彭珍瑞;基于LS-SVM的气液两相流参数测量研究[D];浙江大学;2007年
9 岳俊红;复杂工业过程多模型预测控制策略及其应用研究[D];华北电力大学(北京);2008年
10 赵开春;仿生偏振导航传感器原理样机与性能测试研究[D];大连理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄少博;潜艇航向智能控制系统[D];哈尔滨工程大学;2009年
2 黄鲁江;基于逆系统方法的非线性预测控制的研究[D];兰州交通大学;2009年
3 刘冉;多变量系统的动态矩阵控制算法的实现及仿真[D];电子科技大学;2004年
4 康晓非;基于支持向量机的多用户检测算法研究[D];西安科技大学;2005年
5 王瑞;基于支持向量机的医学图像处理[D];西安理工大学;2008年
6 宋初一;基于最小二乘支持向量机及粒子群优化的特征选择算法研究[D];吉林大学;2008年
7 陈江涛;多变量预测控制器在200MW火电机组主汽温控制系统中的应用研究[D];浙江大学;2011年
8 张国俊;财务危机预警模型在信贷风险管理中的应用研究[D];重庆大学;2005年
9 李莹;精馏过程航煤干点的软测量工程实现[D];大连理工大学;2006年
10 樊伟;通信信号自动调制识别中的分类器设计[D];西南交通大学;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026