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《半导体技术》 2012年04期
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基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制

王亮  胡静涛  
【摘要】:针对化学机械研磨(CMP)过程非线性、时变和不易在线测量的特性,提出了基于径向基函数(RBF)神经网络和微粒群(PSO)算法的CMP过程run-to-run(R2R)预测控制器NNPR2R。首先通过样本数据用减聚类算法和最小二乘法构建CMP过程的RBF神经网络预测模型,解决了复杂CMP过程难以建立精确数学模型的难题和提高了预测模型的精度。然后通过PSO算法滚动优化求取控制律,解决了基于导数的优化技术易于陷入局部最优的问题并提高了控制精度。仿真结果表明,CMP过程NNPR2R控制器的性能优于常规的EWMA方法,有效抑制了过程漂移和减小了不同批次间产品的差异,显著降低了材料去除率(MRR)的均方根误差。

【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙玉萍;马洪伟;冯东海;;半刚性连接钢框架的内力计算[J];四川建筑科学研究;2008年03期
2 孙静静;;频移随机共振在信号检测中的应用[J];安徽大学学报(自然科学版);2010年01期
3 夏辉;金京犬;;一种单输入/单输出的小脑模型神经网络研究[J];安徽工程科技学院学报(自然科学版);2008年02期
4 胡煜寒,张大庆,孙家军;非线性方程的一种区间迭代算法[J];鞍山钢铁学院学报;2000年05期
5 王亮;胡静涛;;基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法[J];半导体技术;2012年06期
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7 戴旭文,谷中丽,刘剑;汽车双横臂独立悬架的运动学分析和计算[J];车辆与动力技术;2002年02期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
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2 李曙光;;粒子群算法在高速公路多路径费用拆分方法研究[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
3 范业坤;梁新荣;;基于粒子群优化的高速公路匝道PI控制器[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
4 丛亮;胡成全;郭宗鹏;姜宇;沙丽华;;基于模拟退火思想的基本粒子群算法改进[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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2 杨然兵;4HQL-2型花生联合收获机主要装置的设计与试验研究[D];沈阳农业大学;2009年
3 齐峰;人工神经树网络模型的优化研究与应用[D];山东师范大学;2011年
4 聂黎;基于基因表达式编程的车间动态调度方法研究[D];华中科技大学;2011年
5 陈文清;基于免疫机理的水泥生产工艺故障智能诊断方法研究[D];华中科技大学;2011年
6 凌海风;面向装备保障的多准则决策相关方法和技术研究[D];南京大学;2011年
7 魏伟一;非均匀光照图像的灰度校正与分割技术研究[D];兰州理工大学;2011年
8 夏益民;基于传感器信息融合的移动机器人定位与地图创建研究[D];广东工业大学;2011年
9 杨文东;复杂高坝坝区边坡岩体的非线性损伤流变力学模型及其工程应用[D];山东大学;2011年
10 缪鹍;公(铁)工程三维选线的群智能算法研究[D];中南大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 贾东芳;离散模型下的美式期权定价[D];河南理工大学;2010年
2 姜婵娟;遥控式水下机器人PID运动控制算法优化研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
3 沈力华;基于智能优化算法的案例推理方法研究[D];大连理工大学;2010年
4 宋波;横轴式掘进机截割头设计过程及优化方法的研究[D];辽宁工程技术大学;2009年
5 吕明;等螺旋升角截齿排列截割头截割性能研究[D];辽宁工程技术大学;2010年
6 刘琼;基于群体智能的聚类算法研究[D];长沙理工大学;2010年
7 易鑫;功能陶瓷精密CMP抛光工艺参数决策优化的研究[D];湘潭大学;2010年
8 刘桂萍;基于T-S模型的模糊预测控制在三级液位系统中的应用研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
9 陈星毅;基于人体心血管生理的颈部服装压力舒适性研究[D];江南大学;2010年
10 何海娟;基于改进多目标粒子群算法的鲁棒控制方法研究[D];华东理工大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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5 程宏亮,张国贤,包海昆;基于GA神经网络的自适应预测控制的设计与仿真[J];系统仿真学报;2003年05期
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9 张阿卜,黄伟斌;采用遗传算法训练对角递归神经网络预测控制器[J];信息与控制;2000年01期
10 张海涛,陈宗海,秦廷,王雷,向微;重油分馏塔基于混沌神经网络的Laguerre函数模型自适应预测控制[J];信息与控制;2004年01期
【相似文献】
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2 王效岳;孙秀军;刘好明;杨燕;;RBFNN在关节空间中的轨迹规划研究[J];机床与液压;2008年04期
3 方力智;张翠芳;易芳;;基于改进差分进化算法的RBF神经网络优化方法[J];成都大学学报(自然科学版);2009年03期
4 武浩;朱拓;孔艳;陈卫;杨建磊;;基于径向基函数神经网络的荧光光谱技术在菌种识别中的应用[J];物理学报;2010年04期
5 胡进;胡桂明;毛世榕;;基于RBF神经网络的声纹识别的研究[J];网络安全技术与应用;2010年12期
6 陈益飞;;RBF神经网络的PID控制研究与仿真[J];计算机仿真;2011年04期
7 俞阿龙;;基于RBFNN的铂电阻温度传感器非线性补偿[J];传感器技术;2005年12期
8 曹安照;田丽;;基于RBF神经网络的短期电力负荷预测[J];电子科技大学学报;2006年04期
9 吕伟军;何为;;一种基于径向基函数神经网络的语音降噪方法[J];北京工商大学学报(自然科学版);2008年04期
10 严勇;汪镭;吴启迪;;一种基于群体智能的人工神经网络学习算法[J];系统仿真技术;2008年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 曾杰;梁年生;刘育骐;郭创新;;神经灵敏度预测控制器及其应用[A];1996年中国智能自动化学术会议论文集(上册)[C];1996年
2 韩敏;王晨;席剑辉;;基于改进RBF神经网络的非线性时间序列预测[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
3 王砚;魏建荣;张立毅;;基于RBF神经网络的多用户检测算法的研究[A];2006北京地区高校研究生学术交流会——通信与信息技术会议论文集(上)[C];2006年
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5 彭士涛;毛天宇;詹水芬;李广楼;;RBF人工神经网络在渤海湾海水水质综合评价中的应用[A];中国环境科学学会2009年学术年会论文集(第一卷)[C];2009年
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8 王祯学;林万昌;古钟壁;;自校正大范围预测控制[A];第三届全国控制与决策系统学术会议论文集[C];1991年
9 成则丰;柏一慧;金文英;方克鸣;程存归;;应用FTIR和径向基函数神经网络研究良性乳腺肿瘤组织切片[A];第十四届全国分子光谱学术会议论文集[C];2006年
10 何大阔;王福利;贾明兴;;基于改进DE算法的RBF神经网络建模方法研究[A];2009中国控制与决策会议论文集(3)[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前2条
1 本报记者 赵凤莉 通讯员 于雁雁;创国内同类装置“第一次”[N];中国化工报;2010年
2 林立恒 摘译;促使炼钢过程高效、简单、快捷[N];中国冶金报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 栾锋;支持向量机(SVM)和径向基神经网络(RBFNN)方法在化学、环境化学和药物化学中的应用研究[D];兰州大学;2006年
2 王长琼;基于混合智能的故障诊断与维修决策模型研究与实践[D];武汉交通科技大学;1999年
3 边利;精益供应链的供应商评价选择及优化研究[D];中南大学;2006年
4 于如军;管状直接甲醇燃料电池的研制及其建模与控制[D];上海交通大学;2006年
5 尹建川;径向基函数神经网络及其在船舶运动控制中的应用研究[D];大连海事大学;2007年
6 岳俊红;复杂工业过程多模型预测控制策略及其应用研究[D];华北电力大学(北京);2008年
7 隆金玲;Sum-of-Product神经网络和径向基函数神经网络的逼近能力研究[D];大连理工大学;2008年
8 张丽霞;汽车操纵稳定性和平顺性中逆问题的研究[D];南京航空航天大学;2007年
9 邹媛媛;混杂动态系统的预测控制器设计与性能分析[D];上海交通大学;2009年
10 李德伟;预测控制在线优化策略的研究[D];上海交通大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘冉;多变量系统的动态矩阵控制算法的实现及仿真[D];电子科技大学;2004年
2 张红;基于AHP-ANN的风险投资项目评估方法研究[D];中南大学;2005年
3 陈江涛;多变量预测控制器在200MW火电机组主汽温控制系统中的应用研究[D];浙江大学;2011年
4 潘妩媚;在线学习算法的研究及其应用[D];吉林大学;2005年
5 李志强;基于RBF神经网络在线辨识的永磁无刷直流电机单神经元自适应PID控制[D];天津大学;2005年
6 陈飞;模型预测控制器的性能评价与监控[D];浙江工业大学;2004年
7 郭一凡;灰预测控制器的MATLAB研究[D];华中科技大学;2004年
8 郑国荣;基于电信CRM系统的客户消费模式研究[D];重庆大学;2005年
9 田媛;PLC先进控制策略研究与应用[D];北京化工大学;2005年
10 孙瑞琛;自主式水下机器人传感器状态监测技术研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
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