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《半导体技术》 2009年09期
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太阳电池用Ge抛光片清洗技术的研究进展

赵权  
【摘要】:Ge抛光片作为化合物太阳电池的衬底材料已引起人们的广泛关注。制备工艺要求衬底材料的表面具有稳定的化学特性和高的清洁度,因此,Ge抛光片的清洗技术显得尤为重要。Ge在常温下既不与浓碱发生反应,也不与单一的强酸反应,其清洗机理与Si、GaAs等材料相差较大。在实验和查阅文献的基础上,阐述了Ge抛光片的清洗机理,介绍了太阳电池用Ge抛光片表面的宏观沾污和微观沾污的清洗方法和过程、同时对Ge抛光片表面的氧化状态进行了分析。另外,还对目前国内外Ge抛光片清洗技术的研究现状及技术水平做了介绍,指出了Ge抛光片清洗技术存在的问题,并对其发展趋势进行了展望。
【作者单位】中国电子科技集团公司第四十六研究所;
【分类号】:TM914.4

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 白敏菂;冷宏;李超群;;面向硅片清洗技术的高浓度臭氧产生装置[J];电子工业专用设备;2011年07期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 储佳,马向阳,杨德仁,阙端麟;硅片清洗研究进展[J];半导体技术;2001年03期
2 何良恩,凤坤,唐雪林,李刚;对抛光片清洗技术的研究[J];半导体技术;2004年07期
3 赵权;;半导体单晶抛光片清洗工艺分析[J];半导体技术;2007年12期
4 曹宝成,于新好,马瑾,马洪磊,刘忠立;用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究[J];半导体学报;2001年09期
5 曹宝成,于新好,马洪磊;新型半导体清洗剂的清洗工艺[J];半导体学报;2002年07期
6 李仁;兆声清洗技术分析及应用[J];电子工业专用设备;2004年01期
7 闫志瑞;半导体硅片清洗工艺发展方向[J];电子工业专用设备;2004年09期
8 刘玉岭,李薇薇,檀柏梅;微电子工艺中的清洗技术现况与展望[J];河北工业大学学报;2002年06期
9 郭运德;硅片清洗方法探讨[J];上海有色金属;1999年04期
10 张忠卫,陆剑峰,池卫英,王亮兴,陈鸣波;砷化镓太阳电池技术的进展与前景[J];上海航天;2003年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 廖乃镘;龙飞;罗春林;雷仁方;李贝;李仁豪;;减少硅片湿法清洗工艺铁离子沾污研究[J];半导体光电;2011年04期
2 曹宝成,于新好,马洪磊,张庆坤;氢氟酸在新型清洗工艺中的作用[J];半导体技术;2002年07期
3 苏建修,康仁科,郭东明;超大规模集成电路制造中硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2003年10期
4 罗余庆,康仁科,郭东明,金洙吉;大直径硅晶片化学机械抛光及其终点检测技术的研究与应用[J];半导体技术;2004年06期
5 何良恩,凤坤,唐雪林,李刚;对抛光片清洗技术的研究[J];半导体技术;2004年07期
6 陈苏,张楷亮,宋志棠,封松林;多层互连工艺中铜布线化学机械抛光研究进展[J];半导体技术;2005年08期
7 王娟,刘玉岭,张建新;微电子用硅溶胶的纯化[J];半导体技术;2005年09期
8 闫志瑞;李俊峰;刘红艳;张静;李莉;;HF/O_3在300mm硅片清洗中的应用[J];半导体技术;2006年02期
9 陈志刚;陈杨;陈爱莲;;硅晶片化学机械抛光中的化学作用机理[J];半导体技术;2006年02期
10 盛金龙;;IC制造中清洗技术发展的分析[J];半导体技术;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前6条
1 史梦然;赵建忠;;InSb CMP超精密加工表面吸附物控制技术研究[A];全国光电子与量子电子学技术大会论文集[C];2011年
2 檀柏梅;刘玉岭;赵之雯;郝子宇;周建伟;王胜利;;专用复合型表面活性剂在微电子技术中的应用[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年
3 周海;杭寅;姚绍峰;;蓝宝石晶片表面净化技术研究[A];2005年机械电子学学术会议论文集[C];2005年
4 韩婷婷;李波;李玉香;王卿璞;;超临界CO_2微乳液对高浓度离子注入光刻胶的清洗[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第6分册)[C];2010年
5 杨园静;涂洁磊;李雷;姚丽;;三结砷化镓叠层太阳电池的光学匹配设计与分析[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
6 李烨;涂洁;;砷化镓量子点太阳电池及材料的研究现状[A];战略性新兴产业的培育和发展——首届云南省科协学术年会论文集[C];2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 余剑峰;新型化学机械抛光垫和抛光液的研究[D];华南理工大学;2010年
2 孙禹辉;硅片化学机械抛光中材料去除非均匀性研究[D];大连理工大学;2011年
3 石晶;基于硅微通道板的新型三维传感器[D];华东师范大学;2011年
4 黄雅婷;抛光后清洗中纳米颗粒去除机理与实验研究[D];清华大学;2010年
5 韩力英;集成电路中版图处理及互连线优化技术的研究[D];河北工业大学;2011年
6 朱祥龙;300mm硅片超精密磨床设计与开发[D];大连理工大学;2011年
7 徐驰;基于摩擦力在线测量的化学机械抛光终点检测技术研究[D];大连理工大学;2011年
8 慈朋亮;硅微通道板制备及其热电性能研究[D];华东师范大学;2011年
9 陈杨;核壳结构SiO_2/CeO_2、PS/CeO_2复合微球的可控合成及其CMP性能研究[D];江苏大学;2012年
10 宋明辉;聚光多结太阳能电池的设计、制备及可靠性研究[D];华中科技大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张亚萍;锗单晶片的表面化学腐蚀研究[D];浙江理工大学;2010年
2 赵海轩;超精密磨削硅片变形规律的研究[D];大连理工大学;2010年
3 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
4 杨杰;集成电路用硅片加工化学品研究[D];长春工业大学;2010年
5 杨永淼;基于查找表的CMP冗余金属填充寄生电容提取技术[D];西安电子科技大学;2011年
6 刘亚;硫族光电材料的制备与表征[D];山东建筑大学;2011年
7 陈贵财;太阳能多晶硅片表面污染物去除技术的研究[D];大连理工大学;2011年
8 李海燚;太阳电池缓冲层CdS和Cd_xZn_(1-x)S薄膜的制备研究[D];内蒙古大学;2011年
9 韩雨;基于晶片键合技术的热释电红外探测器研究[D];中北大学;2011年
10 董国庆;深亚微米光阻残留颗粒的研究[D];复旦大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 闫志瑞;李俊峰;刘红艳;张静;李莉;;HF/O_3在300mm硅片清洗中的应用[J];半导体技术;2006年02期
2 成立;李加元;李岚;李华乐;王振宇;;晶圆制备工艺用清洗洁净及环保新技术[J];半导体技术;2006年10期
3 雷红;;CMP后清洗技术的研究进展[J];半导体技术;2008年05期
4 高宝红;刘玉岭;朱亚东;刘效岩;;BDD电极电化学氧化清洗工艺氧化性研究[J];半导体技术;2009年09期
5 库黎明;闫志瑞;索思卓;周旗钢;;300mm Si片加工及最新发展[J];半导体技术;2009年12期
6 许宝兴;半导体制造中清洗技术的新动向[J];电子工业专用设备;2005年07期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 俞晖;晶片清洗工艺的优化选取及其影响[J];半导体技术;1993年01期
2 储佳,马向阳,杨德仁,阙端麟;硅片清洗研究进展[J];半导体技术;2001年03期
3 李仁;半导体IC清洗技术[J];半导体技术;2003年09期
4 杨培根;微电子工业中的清洗方法[J];半导体技术;1997年04期
5 江瑞生;集成电路多层结构中的化学机械抛光技术[J];半导体技术;1998年01期
6 刘传军,赵权,刘春香,杨洪星;硅片清洗原理与方法综述[J];半导体情报;2000年02期
7 梁励芬,董树忠,顾志光,李炳宗;Si(100)上生长的CoSi_2薄膜的STM研究[J];半导体学报;1997年01期
8 曹宝成,于新好,马瑾,马洪磊,刘忠立;用含表面活性剂和螯合剂的清洗液清洗硅片的研究[J];半导体学报;2001年09期
9 张树永,郭永榔,曹宝成,于新好;超大规模集成电路硅片溶液清洗技术的进展[J];化学进展;2000年01期
10 曹宝成,马洪磊,罗升旭,刘可辛,于新好,杜信荣,宗福建,李玉香,计锋;新型电子清洗工艺对半导体表面的清洗效果[J];山东大学学报(自然科学版);1995年02期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 任殿胜;砷化镓表面特性及紫外光激发下表面氧化反应研究[D];天津大学;2003年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘春香;杨洪星;赵权;;多结化合物电池用p型Ge抛光片清洗技术研究[J];半导体技术;2010年08期
2 俞佩瑶;;利用太阳电池的大气监视装置[J];今日科技;1981年04期
3 史济群,成盛勇,马稚尧,周京英;太阳电池伏安特性测试仪的研制[J];华中理工大学学报;1998年05期
4 夏庚培,蔡伟,郑家贵,冯良桓,蔡亚平,黎兵,李卫,武莉莉,鄢强;CdTe多晶薄膜太阳电池的结构改进[J];太阳能学报;2005年03期
5 郭小勇;;染料敏化太阳能电池取得突破性进展[J];功能材料信息;2010年Z1期
6 李长健,孙仲林,徐温元;非晶硅肖特基势垒太阳电池[J];太阳能学报;1981年03期
7 李文滋;张丞源;;我国第一届光生伏打(太阳电池)会议即将召开[J];太阳能;1982年03期
8 陈竑,韩江源;多功能太阳电池电性能测试系统[J];太阳能学报;1984年01期
9 高元恺;叶奕锽;;测量太阳能电池参数的简单方法[J];哈尔滨工业大学学报;1985年04期
10 敏感;;国际太阳能新闻[J];太阳能;1985年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 胡林华;莫立娥;戴松元;;染料敏化太阳电池薄膜电极溶胶修饰及电子传输研究[A];中国化学会第十三届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2011年
2 袁兵;王一平;;强光条件下太阳电池表面温度分布的研究[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
3 孔凡建;;太阳电池和光伏组件的质量标准[A];江苏省能源研究会成立二十周年纪念暨第十届学术年会热电专委会第十二届年会暨学术报告会论文集[C];2004年
4 陈双宏;翁坚;黄阳;王利军;戴松元;;染料敏化太阳电池的实用化研究[A];安徽新能源技术创新与产业发展博士科技论坛论文集[C];2010年
5 方霞琴;戴松元;王孔嘉;;染料敏化纳米薄膜太阳电池的实验研究[A];2004年全国太阳能光化学与光催化学术会议论文集[C];2004年
6 胡林华;戴松元;戴俊;刘伟庆;王孔嘉;;纳米多孔薄膜在染料敏化太阳电池中的应用[A];安徽节能减排博士科技论坛论文集[C];2007年
7 陈庭金;王履芳;涂洁磊;;MIp~+-Al_xGa_(1-x)As/p-n-n~+-GaAS太阳电池的电特性[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
8 孟昭渊;;太阳能路灯的普及为什么困难重重[A];上海市照明学会成立30周年庆典暨四直辖市照明科技论坛、长三角照明科技论坛、上海市照明学会2008年年会论文集[C];2008年
9 廖显伯;刁宏伟;胡志华;曾湘波;徐艳月;孔光临;;非晶硅基太阳电池p型界面的研究[A];21世纪太阳能新技术——2003年中国太阳能学会学术年会论文集[C];2003年
10 樊昕昱;陈凤翔;徐林;崔容强;;太阳电池测试系统[A];中国第六届光伏会议论文集[C];2000年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 青化 编译;太阳电池及其利用方法(十四)[N];电子报;2011年
2 青化 编译;太阳电池及其利用方法(十五)[N];电子报;2011年
3 青化 编译;太阳电池及其利用方法(二十)[N];电子报;2011年
4 青化 编译;太阳电池及其利用方法(二十一)[N];电子报;2011年
5 ;太阳电池及其利用方法 (二十二)[N];电子报;2011年
6 青化 编译;太阳电池及其利用方法(二十三)[N];电子报;2011年
7 青化 编译;太阳电池及其利用方法(二十四)[N];电子报;2011年
8 ;太阳电池及其利用方法(二十六)[N];电子报;2011年
9 青化 编译;太阳电池及其利用方法(二十七)[N];电子报;2011年
10 青化 编译;太阳电池及其利用方法(一)[N];电子报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王朋;晶体硅太阳电池中的电学复合行为[D];浙江大学;2011年
2 贺超;共轭聚电解质及氧化钼作为电极修饰层对聚合物太阳电池性能的影响[D];华南理工大学;2011年
3 张希;太阳电池透明电极与质子辐照三结太阳电池研究[D];复旦大学;2009年
4 黄海宾;热丝CVD法制备硅基薄膜材料及相关太阳电池模拟研究[D];南京航空航天大学;2010年
5 罗翀;多晶硅及碲化镉薄膜光伏材料关键制备技术的研究[D];南开大学;2010年
6 陈晓杰;InGaP/GaAs微结构材料GSMBE生长与特性及HBT和太阳电池器件研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
7 徐苗;基于聚合物—富勒烯体异质结光伏器件的应用研究[D];华南理工大学;2010年
8 王贺权;太阳电池减反射薄膜的研究[D];东北大学;2005年
9 韩宏伟;染料敏化二氧化钛纳米晶薄膜太阳电池研究[D];武汉大学;2005年
10 黄艳;新型聚对苯乙炔(PPV)衍生物的合成及其在发光二极管和太阳电池中的应用研究[D];四川大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 吕晶;基于P3HT:PCBM聚合物太阳电池的研究[D];北京交通大学;2011年
2 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
3 沙磊;粉末涂敷法制备CuInS_2太阳电池光吸收层的研究[D];内蒙古大学;2011年
4 狄迪;氧化锌纳米结构太阳电池的制备及其光电性能的研究[D];陕西师范大学;2010年
5 李海燚;太阳电池缓冲层CdS和Cd_xZn_(1-x)S薄膜的制备研究[D];内蒙古大学;2011年
6 郜小勇;高效、低成本太阳电池的研究[D];郑州大学;2001年
7 陈伟;n型硅上丝网印刷制备Al-p~+发射极的研究[D];北京交通大学;2011年
8 杨丽;柔性染料敏化太阳电池高效率化研究[D];大连理工大学;2010年
9 吴宝山;大面积染料敏化太阳电池高效化研究[D];大连理工大学;2011年
10 霍秀敏;氧碳含量对太阳电池光电转换效率影响的研究[D];河北工业大学;2004年
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