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《半导体技术》 2006年01期
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TiSi_2在微波低噪声SiGe HBT中的应用

张伟  王玉东  熊小义  许军  单一林  李希有  刘爱华  钱佩信  
【摘要】:通过在SiGe HBT外基区和多晶发射极上制作TiSi2,从而使器件的高频噪声系数得到进一步降低。以PD=200mW的SiGe HBT为例,采用TiSi2工艺的噪声系数典型值为F=1.6dB@1.1GHz,明显低于无TiSi2工艺SiGe HBT的2.0dB@1.1GHz,且频率越高,二者差别越大。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 贾素梅;杨瑞霞;刘英坤;邓建国;高渊;;SiGe/Si异质结双极晶体管工艺技术研究[J];半导体技术;2012年04期
2 王玉东;徐阳;张伟;李希有;刘爱华;;SiGe HBT基区结构的优化对欧拉电压的影响[J];微电子学;2006年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 赵翔;SiGe RFIC宽带低噪声放大器的研究[D];电子科技大学;2007年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘志农,熊小义,黄文韬,李高庆,张伟,许军,刘志弘,林惠旺,许平,陈培毅,钱佩信;多晶发射极双台面微波功率SiGe HBT(英文)[J];半导体学报;2003年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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4 付朝元;晶体管瞬态热阻的JT-1测试法[J];半导体技术;1992年04期
5 王华;烧结条件对晶体管电热参数的控制作用[J];半导体技术;1993年02期
6 张德骏,苗庆海,张兴华,曹红,贾颖;提高功率晶体管封装性能的技术措施[J];半导体技术;2001年08期
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10 林兆军,张太平,武国英,王玮,阎桂珍,孙殿照,张建平,张国义;Au-GaN肖特基结的伏安特性[J];半导体学报;2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
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7 吴辉;唐小宏;;Ku频段低噪声放大器的设计[A];2007年全国微波毫米波会议论文集(上册)[C];2007年
8 麻来宣;张晨新;;通信接收机小信号放大器匹配网络设计[A];大型飞机关键技术高层论坛暨中国航空学会2007年学术年会论文集[C];2007年
9 邓绍范;邱景辉;梅海涛;;GaAsMESFET内匹配功率放大器[A];1995年全国微波会议论文集(上册)[C];1995年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 李琨;低噪声放大器动态范围扩展的理论和方法研究[D];天津大学;2010年
2 李超;毫米波集成接收前端的研究[D];电子科技大学;2001年
3 陈世勇;无线通信系统中的微波部件研究[D];重庆大学;2006年
4 李鸣;毫米波频率步进雷达前端关键技术研究[D];南京理工大学;2007年
5 石增良;硅双结型色敏传感器及其应用的研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 余益伟;超短波低噪声放大器的设计[D];杭州电子科技大学;2009年
2 李庆华;智能天线射频电路的研究与设计[D];西安电子科技大学;2002年
3 李辉;1.8GHz前馈功率放大器的仿真实现[D];电子科技大学;2002年
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5 张文剑;Ku波段三通道集成接收机[D];南京理工大学;2003年
6 陈俊;双环前馈功放线性化技术研究[D];福州大学;2003年
7 李明洋;智能天线射频接收电路研究与设计[D];西北工业大学;2004年
8 唐伟;微波低噪声放大器的理论分析和设计[D];合肥工业大学;2003年
9 张云峰;多频段点对点数字微波通信中继站的研究[D];大连海事大学;2004年
10 陈春红;V波段低噪声放大器的研制[D];南京理工大学;2004年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 薛春来;成步文;姚飞;王启明;;高频大功率SiGe/Si HBT的设计[J];半导体光电;2006年03期
2 朱泳,刘艳红,魏希文,沈光地,陈建新,邹德恕;SiGe材料及其在半导体器件中的应用[J];半导体技术;2001年08期
3 王光伟;;半导体锗硅薄膜材料及相关工艺技术[J];半导体技术;2006年12期
4 蒋昌凌;SiGe半导体技术新进展[J];半导体情报;2000年03期
5 姚飞,成步文,王启明;SiGe HBT及高速电路的发展[J];微纳电子技术;2003年10期
6 孙自敏,董志伟;SiGe器件及其研究综述[J];半导体情报;1999年01期
7 贾宏勇,孙自敏,陈培毅;Si_(1-x)Ge_x材料和双极型器件的进展[J];半导体情报;1999年03期
8 贾霖,倪学文,莫邦燹,关旭东,张录,宁宝俊,韩汝琦,李永康,周均铭;f_T为135GHz的平面结构SiGe异质结双极晶体管的研制[J];北京大学学报(自然科学版);2001年03期
9 方磊,陈邦媛;级联型低噪声放大器设计和优化的研究[J];电路与系统学报;2003年04期
10 陈震,吴德馨;SiGe材料及其在双极型器件中的应用[J];电子与封装;2005年01期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张东晖;张万荣;金冬月;谢红云;丁春宝;赵昕;;UWB LNA的增益平坦化及稳定性的反馈技术[J];半导体技术;2011年03期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 石勇;电子色散补偿器的ASIC设计[D];河北工业大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 刘志农,贾宏勇,罗广礼,陈培毅,林惠旺,钱佩信;HV/CVD系统Si、SiGe低温掺杂外延[J];半导体学报;2001年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘岩;娄大伟;金丽;祝波;任红;王悦虹;;CdS:Co掺杂量子点的合成与表征[J];吉林化工学院学报;2011年07期
2 ;18位、线性、低噪声、精密双极性±10 V直流电压源[J];电子技术应用;2011年04期
3 袁义哲;安力群;郝延明;王刚志;李燕丽;;单纵模671nm红光激光器[J];量子光学学报;2011年02期
4 赵云;;X波段低噪声放大器设计分析[J];无线电工程;2011年06期
5 祝加秀;;高性能宽带低噪声放大器的研制[J];现代电子技术;2011年11期
6 陈国帅;吴见平;黄锋锋;;RoF设备智能化的几种方法[J];光通信技术;2011年07期
7 王慧利;杜晓波;贺天民;;两种方法测量反射速调管的电子渡越时间及其比较[J];大学物理实验;2011年03期
8 王袁;;中央7套电视信号传输路径及故障分析[J];电大理工;2011年02期
9 ;1A、低噪声、同步降压—升压型DC/DC转换器可延长锂离子和碱性电池供电设备的电池运行时间[J];电子设计工程;2011年16期
10 黄大骏;王永纲;张丽君;朱文松;卢潇鸣;;用于焦平面测试系统的高效高精度数据采集方法与实现[J];红外与毫米波学报;2011年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 朱之墀;方守学;宋山;;Y6-32、Y6-45、Y6-41和G6-41系列低噪声风机研制[A];环境噪声控制论文集[C];1989年
2 李超;徐军;罗慎独;薛良金;;毫米波低噪声集成接收前端[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
3 金浩;王德苗;董树荣;;薄膜材料的微波复介电常数测量[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
4 何士华;刘昌龄;;微波在化学实验中的应用研究[A];第四届全国中学化学教学研讨会论文集(三)[C];2004年
5 张西旺;王怡中;;微波光催化降解偶氮染料X-3B[A];中国化学会第七届水处理化学大会暨学术研讨会会议论文集[C];2004年
6 于君;魏俊发;石先莹;刘莉;陈庆德;;微波辐射条件下催化合成十二氢苯并[9,10]菲[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
7 蔡西媛;;2~8GHz宽带低噪声场效应放大器的研制[A];1987年全国微波会议论文集(中)[C];1987年
8 王佐民;吕伟民;;低噪声沥青路面的声学特性[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册)[C];1999年
9 黎相照;李林;申洪;;微波解冻法对冷冻组织细胞角蛋白免疫组化检测影响的实验研究[A];中华医学会病理学分会2009年学术年会论文汇编[C];2009年
10 梁步阁;袁乃昌;;微波内场自动测量系统设计[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 ;微波炉应安置在何处[N];黄冈日报;2005年
2 何琴;美的微波炉剑指全球最佳[N];中国经营报;2005年
3 记者 毛磊;无声“微波钻”[N];科技日报;2002年
4 桑贵滦;低噪声环保马路悄然兴起[N];中国交通报;2002年
5 记者 汪永安;微波领域顶级华人学者汇聚合肥[N];安徽日报;2008年
6 本报记者 桑雪骐;微波炉要涨价了?近期不太可能![N];中国消费者报;2005年
7 刘芸;出售冒牌微波炉商家败诉赔偿消费者[N];北方经济时报;2005年
8 本报记者 吕媛;揭秘北京首条低噪声公路[N];北京科技报;2004年
9 李倩;2005:微波炉竞争“新四化”[N];中国电子报;2005年
10 高林;微波炉烹饪八大要则[N];中国电子报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李洪芹;赝配高速电子迁移率晶体管及其微波单片集成电路研究[D];中国科学院上海冶金研究所;2001年
2 皇甫江涛;微波异向介质的实验研究[D];浙江大学;2004年
3 唐军旺;微波辐射下NO转化的研究[D];中国科学院大连化学物理研究所;2001年
4 蒋文举;微波改性活性炭及其脱硫特性研究[D];四川大学;2003年
5 李洪义;生物组织微波热声断层成像技术研究[D];第四军医大学;2004年
6 蒋华义;微波对高粘高凝原油作用规律研究[D];西南石油学院;2004年
7 徐军;微波-ECR等离子体增强非平衡磁控溅射技术及CN薄膜的制备研究[D];大连理工大学;2002年
8 林敏;CMOS射频前端电路设计中的低噪声、高线性度研究[D];清华大学;2004年
9 余显斌;光纤光栅在微波信号处理中的应用研究[D];浙江大学;2005年
10 贺训军;Ka波段硅基分布式MEMS传输线移相器射频特性研究[D];哈尔滨工业大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 程琰;脱硫活性炭活化方法研究[D];四川大学;2004年
2 庄凯;超级电容器电极材料的研究[D];西华大学;2006年
3 艾鑫淼;烷基氯化物的Kornblum反应研究[D];浙江大学;2006年
4 刘威;不同聚合方法对义齿基托树脂挠曲强度影响的实验研究[D];中国医科大学;2006年
5 王建成;超声波和微波联合萃取和氧化脱除煤中硫[D];太原理工大学;2004年
6 孔祥吉;微波与催化氧化组合技术在水处理中的应用[D];黑龙江大学;2004年
7 蓝磊;改性膨润土处理含Cr(Ⅵ)废水的研究[D];广西大学;2005年
8 高永艳;水冷式微波电极定量消融脾组织的实验及临床研究[D];中国人民解放军军医进修学院;2006年
9 彭亮;陆地上空云中液态水的反演研究[D];中国气象科学研究院;2007年
10 刘召辉;低噪声专用仪表放大器的设计[D];浙江大学;2008年
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