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《半导体技术》 2005年06期
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限散射角电子束光刻技术及其应用前景

成立  赵倩  王振宇  祝俊  范木宏  刘合祥  
【摘要】:在下一代光刻(NGL)技术中,限散射角电子束光刻(SCALPEL)技术工艺简单、成本较低,因此是集成电路生产厂家首选的光刻方案之一。本文论述了SCALPEL的工作原理、加工工艺和方法、SCALPEL系统等,并对比分析了SCALPEL在NGL研发中的技术优势及其应用要点。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王振宇;成立;祝俊;李岚;;电子束曝光技术及其应用综述[J];半导体技术;2006年06期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王振宇,成立,高平,史宜巧,祝俊;先进的芯片尺寸封装(CSP)技术及其发展前景[J];半导体技术;2003年12期
2 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
3 成立,王振宇,高平,祝俊;VLSI电路可测性设计技术及其应用综述[J];半导体技术;2004年05期
4 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
5 成立,李春明,王振宇,祝俊;纳米CMOS器件中超浅结离子掺杂新技术[J];半导体技术;2004年09期
6 成立,王振宇,景亮;SOC设计:IC产业链设计史上的重大革命[J];半导体技术;2004年12期
7 成立,王振宇,祝俊,赵倩,侍寿永,朱漪云;圆片级芯片尺寸封装技术及其应用综述[J];半导体技术;2005年02期
8 成立,张荣标,李彦旭,董素玲;一种高速低耗全摆幅BiCMOS集成施密特触发器[J];固体电子学研究与进展;2003年02期
9 成立,高平;新型的芯片间互连用CMOS/BiCMOS驱动器[J];固体电子学研究与进展;2003年03期
10 成立,李春明,高平,王振宇,史宜巧;三种改进结构型BiCMOS逻辑单元的研究[J];固体电子学研究与进展;2004年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 张艳;胡桂;;SOC技术在电子设计中的发展[J];安阳工学院学报;2007年01期
2 成立;王玲;伊廷荣;植万江;范汉华;王振宇;;0.18μm CMOS施密特模数光电变换器[J];半导体光电;2008年04期
3 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
4 成立,王振宇,高平,祝俊;VLSI电路可测性设计技术及其应用综述[J];半导体技术;2004年05期
5 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
6 成立,李春明,王振宇,祝俊;纳米CMOS器件中超浅结离子掺杂新技术[J];半导体技术;2004年09期
7 成立,王振宇,景亮;SOC设计:IC产业链设计史上的重大革命[J];半导体技术;2004年12期
8 成立,王振宇,武小红,范木宏,祝俊,赵倩;深亚微米/纳米CMOS器件离子蚀刻新技术[J];半导体技术;2005年01期
9 成立,王振宇,祝俊,赵倩,侍寿永,朱漪云;圆片级芯片尺寸封装技术及其应用综述[J];半导体技术;2005年02期
10 范木宏,成立,刘合祥;电荷泵锁相环的全数字DFT测试法[J];半导体技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 王小玲;张悠慧;汪东升;;视频解码过程中运动补偿的软硬件混合设计实现[A];第一届建立和谐人机环境联合学术会议(HHME2005)论文集[C];2005年
2 马春雨;张庆瑜;;沉积温度对ZrO_2薄膜结构及表面形貌的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李劲;新型应变SGOI/SOI MOSFET的结构设计及性能分析[D];西安电子科技大学;2011年
2 秦珊珊;硅基应变MOSFET的研究和设计[D];西安电子科技大学;2011年
3 周法权;AFM横向测量中串扰效应的分析与消除方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 冯晓梅;面向IC封装的两自由度高速精密定位系统研究[D];天津大学;2005年
5 李洪波;基于AFM的刻线边缘粗糙度测量技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 叶芸;聚偏氟乙烯薄膜及超薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2007年
7 刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
8 陈卫兵;高k栅介质MOS器件模型和制备工艺研究[D];华中科技大学;2006年
9 颜莉萍;弹性分组环关键技术研究及其MAC专用集成电路设计[D];清华大学;2007年
10 秦文峰;BTO基铁电薄膜的制备与介电性能研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 华新孝;基于边界扫描技术的PCB功能模件测试方法的研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 刘洋;SnAgCuNiBi无铅钎料焊接性能及IMC生长机制[D];哈尔滨理工大学;2010年
3 谢翠琴;简化小尺寸MOS晶体管SPICE模型关键参数的研究[D];安徽大学;2010年
4 姜维军;BiCMOS时序电路设计[D];杭州师范大学;2010年
5 田圆;高k栅介质AlGaN/GaN MOS-HEMT器件特性研究[D];西安电子科技大学;2011年
6 蔡伟立;异质栅器件的短沟道效应研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 王爱秀;先进的3D叠层芯片封装工艺及可靠性研究[D];复旦大学;2011年
8 张明华;AlGaN/GaN异质结器件提升二维电子气浓度的研究[D];山东大学;2011年
9 李雪;面向IC封装的精密定位平台的运动控制研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
10 罗涛;复杂数字电路板的可测性研究[D];江苏科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 张建宏,刘明;电子束曝光技术的应用[J];世界产品与技术;2002年04期
2 卢维美;电子束纳米加工技术研究现状[J];微细加工技术;1998年02期
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 陈文昱;浸没式光刻中浸液控制单元的液体供给及密封研究[D];浙江大学;2010年
2 卢文娟;电子束重复增量扫描产生三维结构的关键技术研究[D];山东大学;2007年
3 尚玉峰;基于微纳结构集成光接收器件及关键工艺的研究[D];北京邮电大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 王亭亭;亚波长光栅的特性及其在光探测器中应用的研究[D];北京邮电大学;2012年
2 邓晗;亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究[D];浙江大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王正,刘之景;封装技术评述[J];半导体技术;1999年06期
2 成立,李彦旭,李春明,刘斌,汪洋;开发LSI DAC新品的技术综述[J];半导体技术;2001年06期
3 李彦旭,成立,巴大志;低电压、低功耗高速A/D转换器及其应用前景[J];半导体技术;2002年07期
4 成立,李彦旭,董素玲,汪洋,唐平;BiCMOS三态输出门电路的设计、制备及应用[J];半导体技术;2002年08期
5 Ressell Schlager;规划综合性强、性价比高的芯片测试策略[J];半导体技术;2003年06期
6 Masaharu Goto,Klaus-Dieter Hilliges;DFT时代的ATE结构——多端口ATE[J];半导体技术;2003年06期
7 董素玲,成立,王振宇,高平;用0.8μm工艺技术设计的65-kb BiCMOS SRAM[J];半导体技术;2003年06期
8 叶明军,颜学龙,雷加,郭学仁;伪随机测试生成在混合电路参数测试中的应用[J];半导体技术;2003年09期
9 高平,成立,王振宇,祝俊,史宜巧;数字VLSI电路测试技术-BIST方案[J];半导体技术;2003年09期
10 李仁;半导体IC清洗技术[J];半导体技术;2003年09期
【相似文献】
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1 石松;电子束光刻制作3nm布线[J];微电子技术;1998年03期
2 任黎明,王文平,陈宝钦,周毅,黄如,张兴;纳米级精细线条图形的微细加工[J];半导体学报;2004年12期
3 孙霞,丁泽军,肖沛,吴自勤;电子束光刻中邻近效应的Monte Carlo模拟[J];电子显微学报;2004年04期
4 杨香;韩伟华;王颖;张杨;杨富华;;利用电子束光刻制备晶面依赖的硅纳米结构(英文)[J];半导体学报;2008年06期
5 孙毓平;电子散射效应对电子束光刻的影响[J];物理;1985年12期
6 姚汉民,周明宝,田宏;迈向21世纪的光刻技术[J];光电工程;1999年01期
7 康晓辉,李志刚,刘明,谢常青,陈宝钦;一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法(英文)[J];半导体学报;2005年03期
8 孙霞;尤四方;肖沛;丁泽军;;电子束光刻的邻近效应及其模拟[J];物理学报;2006年01期
9 刘玉贵,王维军,罗四维;电子束纳米光刻技术研究[J];微纳电子技术;2003年Z1期
10 郭宝增,田华;角度限制散射投影电子束光刻[J];半导体技术;2001年10期
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1 龙世兵;李志刚;王丛舜;谢长青;张立辉;易里成荣;陈宝钦;赵新为;刘明;;一种SOI基平面侧栅单电子晶体管的制作方法[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年
2 鲁武;顾宁;陆祖宏;韦钰;;非弹性散射对电子束在抗蚀层及衬底中散射轨迹影响的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
3 杨正红;;在单一散射角测定样品的分子量——英国马尔文公司Zetasizer Nano ZS纳米粒度和Zeta电位分析仪[A];2003年中国纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2003年
4 孙霞;丁泽军;肖沛;吴自勤;;电子束光刻中邻近效应的Monte Carlo模拟[A];第十三届全国电子显微学会议论文集[C];2004年
5 刘海波;候国华;孙彦峰;马健;;激光散射装置的蒸汽干度测量方法研究[A];全国第十三次光纤通信暨第十四届集成光学学术会议论文集[C];2007年
6 韩春林;薛舫时;高建峰;陈辰;;InP基共振遂穿二极管研究[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
7 张益民;霍永峰;李学瑜;张东涛;;飞行模拟器视景显示系统[A];第五届全国仿真器学术会论文集[C];2004年
8 谢常青;朱效立;牛洁斌;李海亮;刘明;陈宝钦;胡媛;史丽娜;;微纳光学结构制备技术及应用[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
9 胡欢陵;李学彬;李琛;;双散射角光学粒子计数器测量气溶胶折射率[A];中国颗粒学会2004年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会会议文集[C];2004年
10 漆海滨;苏勇;高永楣;;激光与烟雾相互作用[A];'99十一省(市)光学学术会议论文集[C];1999年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 穆强 赵艳秋 编译;下一代光刻技术的烦恼[N];中国电子报;2002年
2 微 文;半导体厂商聚首谈“芯”[N];中国电子报;2002年
3 北京七星华创电子股份有限公司 董大为;新世纪的半导体光刻技术[N];中国电子报;2001年
4 记者王俊鸣;64位存储器在美问世[N];科技日报;2002年
5 本报记者 王心见;让摩尔定律继续发挥作用[N];科技日报;2006年
6 芒果;反叛!从声音开始[N];中国计算机报;2003年
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10 常丽君;超材料制成高定向太赫兹激光器[N];科技日报;2010年
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1 李海英;复杂粒子体系对波束的散射及其应用[D];西安电子科技大学;2009年
2 卢刚;纳米结构制备和硅单电子晶体管的研究[D];西安理工大学;2003年
3 柳龙华;X射线显微成像纳米光学元件制作与应用研究[D];中国科学技术大学;2009年
4 宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
5 申溯;基于液晶及表面等离子效应的若干光器件的研究[D];浙江大学;2006年
6 孙建敏;某些分子超激发态和广义振子强度的研究[D];中国科学技术大学;2006年
7 孟凡涛;纳米光刻技术及其在三端结器件和纳米光栅偏振器中的应用[D];大连理工大学;2011年
8 李祥震;粒子光散射的几何光学近似方法研究[D];西安电子科技大学;2009年
9 姜维春;金属原子束流源的研制及Li和CO的快电子能量损失谱研究[D];中国科学技术大学;2008年
10 冯俊波;硅基微纳光栅耦合器件及其制备技术研究[D];华中科技大学;2009年
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1 杨瑞;基于并行计算的电子束光刻邻近效应校正技术研究[D];中国石油大学;2010年
2 赵真玉;电子束光刻邻近效应校正技术研究[D];中国石油大学;2010年
3 陈国太;电子束光刻邻近效应的计算机模拟[D];安徽大学;2010年
4 曹力元;流式细胞计光学系统的研究[D];长春理工大学;2009年
5 张智卜;利用Monte Carlo方法研究发散角对光源附近空间分辨漫反射的影响[D];天津大学;2008年
6 火焰;双基地天气多普勒雷达构建和分析[D];南京气象学院;2002年
7 高丽艳;1550nm分布反馈激光器的模拟及制作均匀光栅的研究[D];河北工业大学;2005年
8 王伟;n型GaAs材料负微分迁移率特性的Monte Carlo模拟[D];西安理工大学;2006年
9 邓晗;亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究[D];浙江大学;2007年
10 杨坤杰;利用MCNP程序模拟检测管道油垢厚度方法探究[D];新疆大学;2009年
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