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《半导体技术》 2005年05期
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离子注入聚醚砜薄膜的介电频谱分析

岳喜成  
【摘要】:离子注入纯聚醚砜(PES)薄膜的介电损耗在0~10MHz内小于0.062,没有松驰特性,这说明用离子注入在纯PES膜上制作元件和连线时,导电层与绝缘层复合介质在很宽的频率范围内(0~10MHz)没有松弛特性,即连线和连线之间及连线和基底之间没有松弛特性,纯PES是用离子注入法制作布线的理想材料。
【作者单位】宝鸡文理学院物理系
【基金】:陕西省教委专项科学研究基金资助项目(98JK008)
【分类号】:TN304

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 岳喜成;离子注入聚醚砜的射程分布和能量淀积[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2002年03期
2 岳喜成,王润轩;离子注入聚醚砜(PES)膜的介电频谱与红外光谱分析[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);1998年03期
3 席保锋;俞秉莉;屠德民;吴洪才;;离子注入聚酯薄膜的导电和介电性能的研究[J];西安交通大学学报;1990年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 岳喜成,王润轩;离子注入聚醚砜膜的光电特性研究[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);1998年01期
4 岳喜成,张掌权,吴洪才;离子注入高分子材料的研究动态及应用[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2000年03期
5 岳喜成;离子注入聚醚砜的射程分布和能量淀积[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2002年03期
6 岳喜成,王润轩;离子注入聚醚砜(PES)膜的介电频谱与红外光谱分析[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);1998年03期
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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3 贝建中,屈雪,王身国;生物材料与细胞的相互作用[J];北京生物医学工程;2005年01期
4 景凤娟,黄楠;与血液接触材料表面活化的研究进展[J];材料导报;2003年S1期
5 黄永刚;陈敏;李长敏;田继文;;低温等离子体技术在生物材料表面改性中的应用[J];材料导报;2004年02期
6 吴志宏;蒋波;张兴栋;;辐射技术在生物材料领域的研究及应用进展[J];材料导报;2005年02期
7 田继文;陈敏;李长敏;张庆瑜;任春生;;低温等离子体对生物材料表面改性固定生物分子的研究进展[J];材料导报;2005年03期
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10 林全愧;计剑;谭庆刚;任科峰;沈家骢;;层层自组装技术在生物医用材料领域中的应用研究进展[J];高分子通报;2006年08期
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 岳喜成,王润轩;离子注入聚醚砜膜的光电特性研究[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);1998年01期
2 岳喜成,王润轩;离子注入聚醚砜(PES)膜的介电频谱与红外光谱分析[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);1998年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 武继斌;吴洪江;张志国;高学邦;;S波段大功率GaAs PHEMT单片放大器[J];微纳电子技术;2011年08期
3 周原;韦冬;王茺;杨宇;;Si~+自注入Si晶体中缺陷分布的计算模拟[J];红外技术;2011年07期
4 廖乃镘;龙飞;罗春林;雷仁方;李贝;李仁豪;;减少硅片湿法清洗工艺铁离子沾污研究[J];半导体光电;2011年04期
5 路远;冯万鼎;乔亚;;三氧化钨薄膜的红外发射率调制技术[J];红外与激光工程;2011年07期
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中国重要报纸全文数据库 前10条
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中国博士学位论文全文数据库 前10条
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6 卢文轩;氮离子束注入硅酸盐细菌诱变选育研究[D];安徽农业大学;2006年
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10 周剑;L-乳酸生产菌株的诱变选育及发酵条件初步优化[D];南京工业大学;2005年
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