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《半导体技术》 2005年01期
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深亚微米/纳米CMOS器件离子蚀刻新技术

成立  王振宇  武小红  范木宏  祝俊  赵倩  
【摘要】:综述了制备深亚微米/纳米CMOS器件的离子蚀刻新技术:考夫曼(Kaufman)离子铣蚀刻、氟基气体多晶硅蚀刻、氯基或溴基气体硅深蚀刻、电子回旋共振(ECR)蚀刻系统和电感耦合等离子体蚀刻器(ICPE)等,并对比分析了上述蚀刻技术各自的优缺点及其应用要点。

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 李元元;二氧化硅和光阻等离子刻蚀影响因素正交试验研究[D];天津大学;2010年
2 祝俊;高速低耗BICMOS存贮器(Memory)的设计与仿真研究[D];江苏大学;2005年
3 朱漪云;基于BiCMOS的单片开关电源管理芯片[D];江苏大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 成立,李彦旭,李春明,刘斌,汪洋;开发LSI DAC新品的技术综述[J];半导体技术;2001年06期
2 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
3 成立,王振宇,高平,祝俊;VLSI电路可测性设计技术及其应用综述[J];半导体技术;2004年05期
4 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
5 成立,李春明,王振宇,祝俊;纳米CMOS器件中超浅结离子掺杂新技术[J];半导体技术;2004年09期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成立,张荣标,李彦旭;几种用于SDR系统的高速高精度ADC电路[J];半导体技术;2001年10期
2 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
3 成立,王振宇,高平,祝俊;VLSI电路可测性设计技术及其应用综述[J];半导体技术;2004年05期
4 成立,李春明,王振宇,高平;IC产业链中的新技术应用与产业发展对策[J];半导体技术;2004年06期
5 成立,李春明,王振宇,祝俊;纳米CMOS器件中超浅结离子掺杂新技术[J];半导体技术;2004年09期
6 成立,王振宇,景亮;SOC设计:IC产业链设计史上的重大革命[J];半导体技术;2004年12期
7 成立,王振宇,祝俊,赵倩,侍寿永,朱漪云;圆片级芯片尺寸封装技术及其应用综述[J];半导体技术;2005年02期
8 范木宏,成立,刘合祥;电荷泵锁相环的全数字DFT测试法[J];半导体技术;2005年04期
9 李彦旭,徐立新,崔占忠,林蔚;高速ADC中CMOS比较器的改进[J];半导体技术;2005年04期
10 成立,赵倩,王振宇,祝俊,范木宏,刘合祥;限散射角电子束光刻技术及其应用前景[J];半导体技术;2005年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 马春雨;张庆瑜;;沉积温度对ZrO_2薄膜结构及表面形貌的影响[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李劲;新型应变SGOI/SOI MOSFET的结构设计及性能分析[D];西安电子科技大学;2011年
2 秦珊珊;硅基应变MOSFET的研究和设计[D];西安电子科技大学;2011年
3 周法权;AFM横向测量中串扰效应的分析与消除方法的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
4 冯晓梅;面向IC封装的两自由度高速精密定位系统研究[D];天津大学;2005年
5 李洪波;基于AFM的刻线边缘粗糙度测量技术研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
6 叶芸;聚偏氟乙烯薄膜及超薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2007年
7 刘毛;铪基高介电常数栅介质薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
8 陈卫兵;高k栅介质MOS器件模型和制备工艺研究[D];华中科技大学;2006年
9 颜莉萍;弹性分组环关键技术研究及其MAC专用集成电路设计[D];清华大学;2007年
10 秦文峰;BTO基铁电薄膜的制备与介电性能研究[D];电子科技大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 华新孝;基于边界扫描技术的PCB功能模件测试方法的研究[D];哈尔滨理工大学;2010年
2 谢翠琴;简化小尺寸MOS晶体管SPICE模型关键参数的研究[D];安徽大学;2010年
3 田圆;高k栅介质AlGaN/GaN MOS-HEMT器件特性研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 蔡伟立;异质栅器件的短沟道效应研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 王爱秀;先进的3D叠层芯片封装工艺及可靠性研究[D];复旦大学;2011年
6 张明华;AlGaN/GaN异质结器件提升二维电子气浓度的研究[D];山东大学;2011年
7 李雪;面向IC封装的精密定位平台的运动控制研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
8 罗涛;复杂数字电路板的可测性研究[D];江苏科技大学;2011年
9 王锐;寄生参数对射频功率放大器的影响[D];河北工业大学;2011年
10 张乐;基于边界扫描的板级测试方法研究与应用[D];南京理工大学;2012年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成立,李彦旭,董素玲,汪洋,唐平;BiCMOS三态输出门电路的设计、制备及应用[J];半导体技术;2002年08期
2 钟国华,吴玉广;PWM芯片分析及其振荡器电路的简化设计[J];半导体技术;2004年02期
3 付玉霞,刘志弘,刘荣华,仲涛,李希有;铝-RIE刻蚀工艺[J];半导体情报;2000年05期
4 王泗禹,康剑;半导体微细加工中的刻蚀设备及工艺[J];微纳电子技术;2002年11期
5 周荣春,张海霞,郝一龙;微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状[J];微纳电子技术;2003年Z1期
6 张鉴,黄庆安;ICP刻蚀技术与模型[J];微纳电子技术;2005年06期
7 徐卿,许维胜,吴启迪;功率集成电路中过热保护电路的设计[J];传感器技术;2004年02期
8 王振宇,成立,高平,史宜巧;BiCMOS器件应用前景及其发展趋势[J];电讯技术;2003年04期
9 李靖;中国开关电源市场的分析[J];电工技术杂志;2000年02期
10 童志义;国外VLSI等离子蚀刻设备的现状及发展趋势[J];电子工业专用设备;1992年01期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 刘宁宁;基于BiCMOS工艺的PWM调制DC-DC电源设计[D];西北大学;2008年
2 伊廷荣;基于BiCMOS技术的AC/DC开关电源管理IC的设计[D];江苏大学;2009年
3 李雪飞;InGaN/GaN多量子阱太阳电池的器件研制[D];广西大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 成立,李彦旭,李春明,刘斌,汪洋;开发LSI DAC新品的技术综述[J];半导体技术;2001年06期
2 成立,李彦旭,董素玲,汪洋,唐平;BiCMOS三态输出门电路的设计、制备及应用[J];半导体技术;2002年08期
3 Ressell Schlager;规划综合性强、性价比高的芯片测试策略[J];半导体技术;2003年06期
4 Masaharu Goto,Klaus-Dieter Hilliges;DFT时代的ATE结构——多端口ATE[J];半导体技术;2003年06期
5 董素玲,成立,王振宇,高平;用0.8μm工艺技术设计的65-kb BiCMOS SRAM[J];半导体技术;2003年06期
6 叶明军,颜学龙,雷加,郭学仁;伪随机测试生成在混合电路参数测试中的应用[J];半导体技术;2003年09期
7 高平,成立,王振宇,祝俊,史宜巧;数字VLSI电路测试技术-BIST方案[J];半导体技术;2003年09期
8 李仁;半导体IC清洗技术[J];半导体技术;2003年09期
9 王振宇,成立,高平,史宜巧,祝俊;先进的芯片尺寸封装(CSP)技术及其发展前景[J];半导体技术;2003年12期
10 郑敏政;加速我国集成电路产业的发展[J];半导体技术;2004年01期
【相似文献】
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1 甘学温 ,赵冬燕 ,莫邦燹;深亚微米CMOS将成为RFIC的候选技术[J];世界产品与技术;2002年04期
2 王阳元;面向21世纪的硅深亚微米集成电路若干科学技术问题[J];世界科技研究与发展;1996年Z1期
3 ;深亚微米电路设计面临的挑战及解决方法[J];电子设计技术;1999年03期
4 刘红侠,郝跃,孙志;深亚微米MOS器件的热载流子效应[J];半导体学报;2001年06期
5 韩育,高学邦;深亚微米pHEMT器件的建模[J];微纳电子技术;2003年12期
6 张兴,王阳元;薄膜深亚微米SOI MOSFET的瞬态数值模拟[J];半导体学报;1997年01期
7 高明伦,胡永华,李丽;深亚微米芯片设计中相位噪声的讨论[J];微电子学与计算机;2002年09期
8 王丽英;杨军;罗岚;;深亚微米SOC芯片物理设计中基于串扰的时序收敛方法[J];微电子学与计算机;2006年01期
9 于宗光;魏敬和;王国章;;SoC和FPGA技术未来的发展趋势[J];电子与封装;2006年03期
10 黄如,王阳元;深亚微米SOI栅控混合管(GCHT)的准二维电流解析模型[J];半导体学报;2000年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 许献国;徐曦;胡健栋;;抑制体硅CMOS器件闭锁的新方法[A];第十二届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集[C];2004年
2 张国栋;;应对深亚微米SOC的设计技术[A];2003中国通信专用集成电路技术及产业发展研讨会论文集[C];2003年
3 段敬来;刘杰;姚会军;侯明东;孙友梅;宋银;莫丹;王志光;;重离子蚀刻径迹中钴纳米线阵列的制备与研究[A];第二届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2005年
4 程彬杰;邵志标;;深亚微米全耗尽SOI器件建模及模型参数提取研究[A];新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展(上册)[C];2001年
5 王亮;赵大鹏;李庆祥;李玉和;;深亚微米飞行高度测量技术研究[A];第二届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2004年
6 瞿欣;王家楫;;深亚微米IC超浅结的SIMS表征[A];2005年全国无机质谱、同位素质谱和质谱仪器学术报告会论文集[C];2005年
7 李富华;李征帆;代文亮;王玉洋;;深亚微米CMOS集成电路中共面传输线特性研究及应用[A];2003'全国微波毫米波会议论文集[C];2003年
8 李学文;孙可平;李学军;;深亚微米CMOS集成电路ESD保护技术研究综述[A];中国物理学会静电专业委员会第十三届学术年会论文集[C];2006年
9 陆亚伟;李祥林;崔丽娟;王宏艳;刘淑华;;多用途试样表面处理机[A];第四次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1986年
10 刘新民;;多晶硅太阳电池的酸腐绒面技术[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 金志明 通讯员 蒋宏 黄平;上海交大攻克“深亚微米”高地[N];中国教育报;2000年
2 本报记者 刘晖;数码“布衣”[N];计算机世界;2002年
3 ;读广告看产品[N];中国电脑教育报;2003年
4 北京中电华大电子设计有限责任公司 郑赟;消费类电子有“芯”事[N];计算机世界;2005年
5 主持人:何宗琦;专家坐堂[N];电脑报;2002年
6 河南 宋战校 摘;RS6445C定时器IC[N];电子报;2002年
7 记者 孙文博/北京;平面CMOS是我国半导体纳米技术发展契机[N];电子资讯时报;2002年
8 ;华虹NEC:知难而进 奋发图强永不变[N];中国电子报;2006年
9 何小明 编译;多媒体扩大图像传感器应用[N];中国电子报;2003年
10 ;未来几年的关键技术[N];中国计算机报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 童建农;深亚微米/纳米V-SOI MOSFET的建模与模拟[D];华中科技大学;2004年
2 李磊;基于RRNS和均衡的深亚微米VLSI中的数据保护技术研究[D];电子科技大学;2010年
3 李志远;MOS晶体管全区域噪声模型及其在低噪声运放设计中的应用[D];哈尔滨工业大学;2009年
4 郑伟;多媒体应用的高性能数字信号处理器功能部件结构设计研究[D];浙江大学;2003年
5 张卫东;深亚微米MOS器件热载流子效应研究[D];西安电子科技大学;1999年
6 胡永华;深亚微米理论及IP核设计技术的研究[D];合肥工业大学;2001年
7 罗小华;深亚微米单元工艺参数提取和建模技术研究[D];浙江大学;2004年
8 刘红侠;超薄栅氧化层经时击穿效应与可靠性仿真技术研究[D];西安电子科技大学;2001年
9 李训根;深亚微米工艺条件下标准单元和存储器逻辑参数提取及建模技术研究[D];浙江大学;2005年
10 苏浩航;深亚微米VLSI电源/地线网络信号完整性主要问题的算法研究[D];西安电子科技大学;2008年
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1 王大海;适用于深亚微米CMOS器件的Ni自对准硅化物工艺的研究[D];长春理工大学;2004年
2 董国庆;深亚微米光阻残留颗粒的研究[D];复旦大学;2011年
3 刘海波;深亚微米SDE MOS器件结构及可靠性研究[D];西安电子科技大学;2002年
4 张旻;百万门级SOC芯片深亚微米物理设计的方法[D];复旦大学;2010年
5 许晓琳;基于深亚微米工艺的IP设计技术研究[D];合肥工业大学;2003年
6 魏晓云;“CoStar”DSP的物理设计及信号完整性问题解决方案[D];湖南大学;2003年
7 刘剑慰;CMOS高速锁相环设计[D];南京航空航天大学;2002年
8 汪珺;基于Garfield5设计中时钟树综合技术研究[D];东南大学;2006年
9 宁涉洋;深亚微米标准单元库设计与优化[D];西安电子科技大学;2010年
10 雍尚刚;USB设备控制器IP的研究与ASIC设计[D];电子科技大学;2005年
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