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《半导体技术》 2004年08期
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半导体制造中颗粒污染的控制方法研究

李敬  钱省三  
【摘要】:首先分析了半导体制造中颗粒污染的来源,然后介绍了用C控制图进行颗粒污染控制的方法及其不足,进而提出了用多元回归分析进行颗粒污染控制的方法及实施。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
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中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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【二级参考文献】
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【相似文献】
中国期刊全文数据库 前7条
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中国重要会议论文全文数据库 前9条
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8 宏子木;超低硫柴油开启美国柴油车新潮流[N];中国石化报;2006年
9 记者  何成军 见习记者 王辉;重污染天气为何逢冬就抬头?[N];甘肃经济日报;2006年
10 彭勇 焦志;地球正经历“全球变暗”[N];中国财经报;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 蔡欢欢;建筑物附近颗粒污染物分布规律的研究[D];东华大学;2008年
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