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《半导体技术》 2004年07期
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溅射法制备纳米薄膜材料及进展

贾嘉  
【摘要】:溅射技术以其在制备薄膜中的独特优点,成为获得高性能纳米材料的重要手段。本文介绍了离子束溅射和磁控溅射技术的基本原理、方法及其在制备纳米材料中的应用和优点,以国内外这方面的最新进展。文章最后对我国纳米材料今后的应用及发展前景进行了展望。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李喜波;唐晓红;吴卫东;唐永建;王红艳;杨向东;;磁控溅射法制备金团簇纳米颗粒及性能表征[J];强激光与粒子束;2006年06期
2 杨武保;磁控溅射镀膜技术最新进展及发展趋势预测[J];石油机械;2005年06期
3 徐万劲;磁控溅射技术进展及应用(上)[J];现代仪器;2005年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 魏取福;徐秋香;蔡以兵;汪莹莹;;纳米结构光电功能纺织材料的研究[A];第八届功能性纺织品及纳米技术研讨会论文集[C];2008年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 赵本刚;基于MEMS的光学电流传感器与微纳安检流计的研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
2 李喜波;金属小团簇的密度泛函理论研究和金属纳米团簇材料的实验研究[D];四川大学;2007年
3 常鹰;球形纳米氧化锆粉末及其涂层材料的研究[D];中南大学;2006年
4 宋鹏;纳米晶钙钛矿型La(Pb)Fe(Co,Ni)O_3的制备及气敏特性研究[D];山东大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 刘章勇;反应性基片上制备纳米(微米)晶薄膜[D];青岛科技大学;2007年
2 张玉杰;(Ti)/Fe/Ti纳米薄膜的制备、微结构和磁特性研究[D];河北师范大学;2007年
3 华戟云;钢基表面氧化铝薄膜制备的研究[D];江苏大学;2007年
4 樊丽梅;IMAC蛋白质芯片载体的制备与性能研究[D];河南科技大学;2007年
5 顾金宝;ZnO薄膜的制备与性能研究[D];合肥工业大学;2007年
6 马莹;钛系氧化物纳米晶薄膜的制备及其光电性能研究[D];哈尔滨工程大学;2006年
7 许佳玲;C(Ti)/FePt/Ti(Fe)系列薄膜样品的微结构和磁特性研究[D];河北师范大学;2006年
8 许喆;磁控溅射法制备硼薄膜和硼纳米线[D];燕山大学;2005年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 韩高荣,汪建勋,杜丕一,张溪文,赵高凌;纳米复合薄膜的制备及其应用研究[J];材料科学与工程;1999年04期
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3 文玉华,周富信,刘曰武;纳米材料的研究进展[J];力学进展;2001年01期
4 严东生;纳米材料的合成与制备[J];无机材料学报;1995年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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2 钱翼清,赵平,王卫华;烷基化纳米SiO_2/MMA乳液聚合物及其对PC的改性研究[J];工程塑料应用;2002年01期
3 孙向民,汪信,杨绪杰;纳米材料改性塑料的研究进展[J];工程塑料应用;2003年10期
4 朱泳,刘艳红,魏希文,沈光地,陈建新,邹德恕;SiGe材料及其在半导体器件中的应用[J];半导体技术;2001年08期
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6 徐龙堂,周美玲,徐滨士,马世宁,张伟;含纳米粉镀液的电刷镀复合镀层试验研究[J];中国表面工程;1999年03期
7 辛煜,范叔平,宁兆元,杨礼富,薛青,金宗明;偏压对多弧离子镀TiN膜层的影响[J];表面技术;1997年01期
8 夏章能,徐洁;AlN陶瓷化学镀法金属化机理[J];表面技术;1999年02期
9 沃银花,杜平凡,姚奎鸿;钢铁表面氮化硅薄膜生成技术[J];表面技术;2005年02期
10 国洪俊,李浩文,任晓辉,黄迅;工艺条件对化学共沉淀法制备SrTiO_3粉料性能的影响[J];山东陶瓷;1998年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 刘静维;;浮法玻璃在线镀膜[A];2007中国浮法玻璃及玻璃新技术发展研讨会论文集[C];2007年
2 王新林;;金属功能材料研究和开发的某些最新进展[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
3 王兢;张景超;陈丽华;刘国范;徐宝琨;;复合材料湿敏元件的电学特性[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4 董新龙;虞吉林;王礼立;;银纳米晶体材料的冲击特性[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 贾嘉;;PCVD法制备硅系纳米复合薄膜材料[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
6 程鹏;李华峰;赵立涛;陈国需;王德岩;;修复促进剂对Ti/Si型纳米添加剂修复增效性能的研究[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(一)[C];2006年
7 谢建榕;黄岳元;王亚平;宋桂贤;高新;;纳米技术应用进展[A];2005'中国西安涂料涂装、电镀、热喷涂技术高层交流研讨会——纳米技术在表面工程中的应用论文集[C];2005年
8 周富信;文玉华;刘曰武;;纳米晶体力学性质的分子动力学模拟[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2001年
9 黄伟九;陈波水;董浚修;;纳米硼酸锆的摩擦学性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第二届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2001年
10 张俊宝;刘玉亮;宋洪伟;吴杰;史弼;熊天英;;表面纳米化GCr15钢组织结构与力学性能[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨秋景;掺杂纳米TiO_2对庚烷的光催化氧化作用研究[D];吉林大学;2005年
2 蒋治良;无机纳米微粒体系的共振瑞利散射光谱研究及分析新应用[D];西南师范大学;2003年
3 刘磊力;纳米金属和复合金属粉的制备及其催化性能的研究[D];南京理工大学;2004年
4 丁弘仁;国产贵金属烤瓷合金的研制[D];第四军医大学;2002年
5 范志新;电子薄膜材料最佳掺杂含量的理论研究[D];河北工业大学;2002年
6 涂洁磊;新型MIp~+-Al_(0.3)Ga_(0.7)As/p-n-n~+-GaAs结构太阳电池电子及辐照效应研究[D];四川大学;2002年
7 余海湖;静电自组装纳米复合薄膜研究[D];武汉理工大学;2002年
8 郭亚军;轴瓦磁控溅射镀膜技术及其材料力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
9 姜蕾;集成电路Cu互连工艺中的Ta基扩散阻挡层研究[D];复旦大学;2003年
10 李晓云;金属膜电阻器稳定性的研究[D];天津大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李波;聚偏氟乙烯/层状硅酸盐纳米复合材料的形态结构及结晶动力学研究[D];吉林大学;2007年
2 陈裕;航空金属块体材料电子散射与纳米碳管相关力学问题的计算模拟[D];南京航空航天大学;2007年
3 李晓红;TiO_2/SiO_2复合半导体对气相污染物气-固复相光催化反应的研究[D];吉林大学;2005年
4 张毅;碳纳米管膜的压阻效应及其相关力学性质研究[D];重庆大学;2005年
5 张涛;新型低辐射薄膜TiN的APCVD法制备及性能研究[D];浙江大学;2005年
6 王莲英;透明尼龙纳米复合材料的制备、结构与性能的关系[D];中北大学;2005年
7 朱红;水银电容加速度传感器原理的研究[D];中北大学;2005年
8 杨义文;纳米固体超强酸及其催化酯化反应的研究[D];江西师范大学;2005年
9 刘永根;合成龙脑的研究[D];江西师范大学;2005年
10 李谋;脉冲偏压电弧离子镀纳米硬膜的制备与表征[D];大连理工大学;2005年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高春芳,李冬晖,赵光,郑国宝,王秀丽,许红兵;胃癌患者血清比较蛋白质组学研究[J];解放军医学杂志;2005年06期
2 高丽丽;刘力;;纳米材料的研究[J];化工科技;2006年01期
3 吴丽君;发展中的溅射靶材[J];真空科学与技术学报;2001年04期
4 潘春柳,张文祥,李雪梅,周广栋,蒋大振,吴通好;煤质炭负载杂多酸催化剂上气-固相合成邻乙氧基苯酚[J];催化学报;2003年02期
5 于江波,袁曦明,陈敬中;纳米发光材料的研究现状及进展[J];材料导报;2001年01期
6 王过之;纳米防腐涂料原理与实践[J];四川兵工学报;2003年03期
7 康振辉,王恩波,王轶博,由万胜,胡长文,黄百渠,乌垠,历锡亮,焦明大;有机-无机杂化纳米材料的制备、表征及性质[J];东北师大学报(自然科学版);2001年03期
8 俞建群,贾殿赠,张校刚,夏熙,郑毓峰;纳米PbS的合成新方法——一步室温固相化学反应法[J];分子科学学报;1998年02期
9 钟智丽;王训该;;纳米纤维的应用前景[J];纺织学报;2006年01期
10 由万胜,王轶博,王恩波,许林,胡长文,忻新泉,李峰;室温固相反应制备Keggin结构杂多酸铵盐纳米粒子[J];高等学校化学学报;2000年11期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 宋晶晶;张津;杨栋华;;溅射法制备VO_2薄膜的研究现状[A];2007高技术新材料产业发展研讨会暨《材料导报》编委会年会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 申林;掺镧钛酸铋粉体、陶瓷及薄膜的溶胶-凝胶制备技术与性能研究[D];四川大学;2002年
2 刘继进;(CaO/Y_2O_3)-ZrO_2超细粉的制备及其电解质性能的研究[D];湖南大学;2002年
3 韦建军;自悬浮定向流法制备金属与合金纳米微粒及其结构物性的研究[D];四川大学;2003年
4 栗大超;硅微机械扭转镜光致动器及其动态测试技术的研究[D];天津大学;2004年
5 张可畏;电子式高压电力互感器的设计与实用化研究[D];大连理工大学;2006年
6 韩宏伟;染料敏化二氧化钛纳米晶薄膜太阳电池研究[D];武汉大学;2005年
7 王海明;电子式电流互感器传感头的理论与工艺研究[D];燕山大学;2006年
8 康崇;法拉第镜式光学电流互感器研究[D];哈尔滨工程大学;2005年
9 金大重;生化检测用集成微机械悬臂梁谐振传感器技术[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2006年
10 张加涛;铜族纳米材料的调控合成、微结构及表面性能研究[D];清华大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 冯祖勇;α-Fe_2O_3基气敏纳米材料的制备及其结构、性能的研究[D];福州大学;2002年
2 李小换;ZnO和AlN薄膜结构及其性能的研究[D];北京工业大学;2003年
3 李朝阳;铝团簇的理论计算以及金属纳米材料制备和性能的初步研究[D];中国工程物理研究院北京研究生部;2003年
4 赵新民;基片下外加磁场磁控溅射方法的研究[D];苏州大学;2003年
5 曾建平;液态源雾化化学沉积法制备纳米颗粒镧钛酸铅薄膜[D];天津大学;2004年
6 陈小兵;溶胶凝胶法制备二氧化钛基抗菌薄膜及其性能研究[D];广东工业大学;2004年
7 韩雷刚;多工位平面磁控溅射镀膜装置及膜厚分布均匀性研究[D];电子科技大学;2004年
8 林华;纳米二氧化钒粉体制备及掺杂对其相变性能影响的研究[D];重庆大学;2004年
9 黄蓉;基于硅衬底的新型射频微机械开关[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2004年
10 刘翔宇;磁控溅射镀膜中靶的优化设计[D];清华大学;2004年
【二级引证文献】
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张以忱;于大洋;马胜歌;巴德纯;;类金刚石掺杂Ti/N薄膜的制备与性能研究[A];真空冶金与表面工程——第八届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 张惠;钛表面磁控溅射氮硅锆涂层对钛瓷结合的影响及G-I钛遮色瓷的研制[D];第四军医大学;2006年
2 陈红;氢化纳米硅薄膜的光学常数和室温可见发光研究[D];上海交通大学;2007年
3 张榕;氢化纳米硅薄膜光电导性质研究[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 祁俊路;射频反应磁控溅射法制备Al_2O_3薄膜结构与性能的研究[D];合肥工业大学;2006年
2 毛伟;声表面波传感器及其接口设计的研究[D];浙江大学;2006年
3 赵雪会;Al_(18)B_4O_(33w)/6061Al 复合材料表面稀土转化膜的耐蚀性研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
4 杨维虎;常温下制备表面抗菌不锈钢的研究[D];四川大学;2006年
5 黄光伟;消偏振膜的超薄层设计研究[D];中国科学院研究生院(西安光学精密机械研究所);2006年
6 赵永亮;等离子体/离子复合注入不锈钢表面改性研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
7 谭宏斌;钛合金表面离子束辅助沉积膜层及其高温微动疲劳行为研究[D];西北工业大学;2007年
8 顾金宝;ZnO薄膜的制备与性能研究[D];合肥工业大学;2007年
9 邵甄胰;Si-NO薄膜的制备及性能研究[D];西南交通大学;2007年
10 张玉杰;(Ti)/Fe/Ti纳米薄膜的制备、微结构和磁特性研究[D];河北师范大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
1 韩伟强,韩高荣,丁子上;纳米硅薄膜结构特性研究[J];半导体学报;1996年06期
2 史国华,张溪文,杜丕一,韩高荣;纳米硅薄膜研究进展[J];材料科学与工程;1999年03期
3 董树荣,张孝彬,涂江平,王春生,刘茂森;新型纳米材料——纳米碳管[J];材料科学与工程;1998年02期
4 丛洪涛,孙秀魁,徐坚,卢柯;纳米晶Al的制备及拉伸性能(Ⅱ)[J];材料研究学报;1998年06期
5 卢柯,周飞;纳米晶体材料的研究现状[J];金属学报;1997年01期
6 施尔畏,栾怀顺,仇海波,王爱民,仲维卓,冯楚德,郭景坤;水热法制备超细 ZrO_2粉体的物理-化学条件[J];人工晶体学报;1993年01期
7 常明,孙伟,郭长海,杨保和;纳米晶体结构与性能的模拟研究[J];物理学报;1997年07期
8 牟季美,张立德;纳米复合材料发展趋势[J];物理;1996年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李爱昌;卢艳红;曹国蕾;刘萍;刘增仁;;(Ni–Mo)/TiO_2纳米薄膜光电催化降解罗丹明B的性能[J];硅酸盐学报;2011年08期
2 吕健;杨晓辉;;金属/硅基纳米复合体系制备技术[J];华北水利水电学院学报;2011年03期
3 魏岳;孙伟;;纳米材料概述[J];科技致富向导;2011年20期
4 李明;张晓波;李洪俊;刘亲壮;;《纳米材料》课程设计探讨[J];吉林师范大学学报(自然科学版);2011年03期
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中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孟旭;杨保平;崔锦峰;卢永娟;贾均红;;CdS纳米薄膜的制备及其图案化[A];甘肃省化学会二十六届年会暨第八届中学化学教学经验交流会论文集[C];2009年
2 罗贝贝;关怀民;童跃进;;基于非水乳化法二氧化硅掺杂的聚酰亚胺纳米薄膜的制备与性能[A];中国化学会第28届学术年会第8分会场摘要集[C];2012年
3 汪信;刘孝恒;;空气-水界面无机纳米薄膜的研究[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
4 张丽华;隋曼龄;张磊;李斗星;;Pb纳米薄膜球化的TEM原位观察[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年
5 赵高扬;马怀香;张卫华;;溶胶—凝胶法制备YBCO纳米薄膜及结构研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
6 李强;程晓丽;高山;霍丽华;赵经贵;;椭球形α-Fe_2O_3纳米薄膜的制备与气敏性研究[A];2003年纳米和表面科学与技术全国会议论文摘要集[C];2003年
7 任嗣利;杨生荣;赵亚溥;;聚合物表面上C_(60)纳米薄膜的制备及摩擦学性能研究[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
8 苏章菲;曾冬梅;孙世刚;;不同偏振光下Pt纳米薄膜的原位红外反射光谱研究和理论分析[A];第十五届全国分子光谱学术报告会论文集[C];2008年
9 杨振宇;王涛;卢子兴;;纳米薄膜的屈服应力尺寸效应和缺陷演化:分子动力学模拟[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
10 程晓丽;宋日新;高山;霍丽华;赵经贵;;氧化镁纳米薄膜的制备与AFM研究[A];全国第七届扫描隧道显微学学术会议(STM'7)论文集(一)[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 涂文;日本研制出厚度只有75纳米医用纳米薄膜胶布[N];中国包装报;2009年
2 赵军红 编译;新显示屏采用金属纳米薄膜[N];科技日报;2010年
3 聂翠蓉;美研制出可净化泄油污染纳米海绵[N];中国石化报;2008年
4 通讯员 邵炳祺;纳米技术应用科研成果国内首创国际领先[N];廊坊日报;2008年
5 中国耀华玻璃集团公司技术中心主任 刘志海;镀膜玻璃生产工艺及注意事项[N];中国建材报;2004年
6 向良璧 齐丹丹;纳米技术开创空气净化新领域[N];经济参考报;2003年
7 记者 李景卫;国际纳米科学与技术大会举行[N];人民日报;2006年
8 ;上海发展集成电路和纳米材料[N];中国电子报;2004年
9 柯沿;我国科学家在纳米技术上又有新突破[N];中国乡镇企业报;2000年
10 陈捷;我国表面纳米技术研究取得突破[N];经济日报;2001年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 季红军;空气—水界面金属氧化物纳米薄膜的自组装体系[D];南京理工大学;2011年
2 程广贵;复合纳米薄膜制备及其摩擦学行为研究[D];江苏大学;2010年
3 樊玉欠;基于电化学方法的Co_3O_4纳米薄膜材料制备及其性能研究[D];浙江大学;2012年
4 朱文;VA-VIA族化合物半导体纳米热电薄膜的电化学原子层外延生长[D];华中科技大学;2005年
5 张欣;电化学原子层沉积法(EC-ALD)制备功能性纳米半导体薄膜及其应用研究[D];兰州大学;2010年
6 王新;基于SiO_2/TiO_2纳米复合材料的制备及性能研究[D];南京理工大学;2011年
7 计亚军;二氧化钛纳米薄膜的制备与光电性能研究[D];南京大学;2011年
8 胡婕;纳米钙钛矿型氧化物的制备及性能研究[D];燕山大学;2009年
9 岳光辉;低维纳米功能材料制备及研究[D];兰州大学;2007年
10 于清江;低维ZnO纳米结构的制备及其性能研究[D];吉林大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 鲁源坤;Si/Ge纳米薄膜光电性质的模拟计算分析[D];太原科技大学;2010年
2 李春;基于铬配对金属薄膜的界面力学性能测试及其数值模拟[D];江苏大学;2010年
3 李鹏;纳米薄膜材料制备工艺研究[D];重庆大学;2004年
4 黄巧萍;纳米级铜锌合金薄膜的研制及其基础研究[D];中南大学;2004年
5 程晓丽;ZnO基纳米薄膜的制备与物理化学性质研究[D];黑龙江大学;2004年
6 崔利芹;TiO_2和ZnO纳米薄膜的制备及传感特性[D];哈尔滨工业大学;2010年
7 陈琨;纳米磁性薄膜中磁畴的磁力显微镜研究[D];电子科技大学;2005年
8 关维晔;TiO_2纳米薄膜的制备[D];吉林大学;2004年
9 钱凌峰;酞菁铜和苝酰亚胺的溶解及纳米薄膜的制备[D];上海交通大学;2011年
10 王佳佳;电沉积锌/氧化锌薄膜及生长机理[D];吉林大学;2011年
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