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《半导体技术》 2004年07期
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四探针技术测量薄层电阻的原理及应用

刘新福  孙以材  刘东升  
【摘要】:对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴涛;;镍离子对聚苯胺性能的影响[J];工程塑料应用;2010年07期
2 赵英伟;庞克俭;;Kelvin四线连接电阻测试技术及应用[J];半导体技术;2005年11期
3 于信明;崔玉兴;;GaAs工艺监测研究[J];半导体技术;2011年07期
4 高莹;孟庆云;;室温下金属铝膜的霍尔效应初步研究[J];北京化工大学学报(自然科学版);2012年02期
5 林翠;赵晴;杜楠;张三平;冯长杰;;碳钢在混凝土模拟溶液中的腐蚀测试研究[J];表面技术;2010年03期
6 李新义;杜楠;冯长杰;庞宇;李晓刚;;用电阻法测试45钢在硫酸中的腐蚀深度[J];材料保护;2010年07期
7 冯长杰;杜楠;李晓刚;;电阻法和方块电阻法连续监测A3钢在硫酸中的腐蚀深度[J];材料工程;2008年08期
8 李哲男;黄昊;张雪峰;左芳;钟武波;董星龙;;导电涂料中纳米铜粉抗氧化性的研究[J];材料科学与工艺;2008年06期
9 孙励志;胡健;梁云;;碳纤维长度对燃料电池用碳纤维纸性能的影响[J];电源技术;2010年04期
10 韩力;熊予莹;金玲;;ZAO膜磁控溅射变参数制备技术[J];电子元件与材料;2008年09期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 赵晓华;单晶硅基LaB_6薄膜的磁控溅射制备工艺及生长机制[D];山东大学;2011年
2 贾建峰;多层铁电薄膜的制备及其电性能研究[D];兰州大学;2006年
3 吕杭炳;电阻型存储器器件与工艺研究[D];复旦大学;2008年
4 丘学鹏;交换偏置磁锻炼和恢复效应研究及GMR自旋阀的制备[D];复旦大学;2010年
5 王震东;太阳电池材料CuInS_2薄膜及其纳米棒阵列研究[D];复旦大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张心怡;基于稳定固溶体合金团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-Mo三元薄膜[D];大连理工大学;2010年
3 陈园园;基于透明晶体管的SrTiO_3透明薄膜制备及其性能研究[D];西北大学;2011年
4 武慧;掺杂二甲亚砜的PEDOT:PSS薄膜的制备及在有机太阳能电池的应用[D];北京交通大学;2011年
5 李鹤;固体氧化物燃料电池合金基复合阳极材料的研究与应用[D];吉林大学;2011年
6 沈洲;高方块电阻发射区单晶硅太阳电池的制备与性能的研究[D];南京航空航天大学;2011年
7 赵丽敏;探针游移对测试大型硅片微区薄层电阻的影响及仿真技术研究[D];河北工业大学;2011年
8 赵晓然;表征薄层电阻的Mapping技术研究[D];河北工业大学;2011年
9 周卓作;基于反常霍尔效应的薄膜磁滞回线测量系统的研究[D];华中科技大学;2011年
10 汪超;Al基金属玻璃薄膜材料制备及特性研究[D];华中科技大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 孙以材,范兆书,孙新宇,宁秋凤;电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性[J];半导体技术;2000年05期
2 宿昌厚,鲁效明;双电测组合法测试半导体电阻率的研究[J];半导体学报;2003年03期
3 石俊生;孙以材;;四探针测试技术中边缘修正的有关方法[J];半导体杂志;1997年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董苏;蔡云凯;;半导体材料测试技术的现状[J];阳光能源;2009年03期
2 李国强,华慧,介万奇;CdZnTe晶片的红外透过率研究[J];半导体光电;2003年04期
3 孙以材,范兆书,孙新宇,宁秋凤;电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性[J];半导体技术;2000年05期
4 高平,成立,王振宇,祝俊,史宜巧;数字VLSI电路测试技术-BIST方案[J];半导体技术;2003年09期
5 金西,丁文祥,贠超;RISC结构的IP核验证与测试[J];半导体技术;2003年11期
6 王振宇,成立,高平,史宜巧,祝俊;先进的芯片尺寸封装(CSP)技术及其发展前景[J];半导体技术;2003年12期
7 成立,王振宇,高平;DRAM芯片的最新研制进展与发展趋势[J];半导体技术;2004年04期
8 成立,王振宇,高平,祝俊;VLSI电路可测性设计技术及其应用综述[J];半导体技术;2004年05期
9 赵英伟;庞克俭;;Kelvin四线连接电阻测试技术及应用[J];半导体技术;2005年11期
10 李加元;成立;王振宇;李华乐;贺星;;系统芯片设计中的可复用IP技术[J];半导体技术;2006年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 邓书康;陈刚;高立刚;陈亮;俞帆;方静华;杨宇;;离子束溅射生长非晶Si薄膜的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 李建平;张晨;秦振杰;;中国集成电路IP核群体开发的思考[A];教育部中南地区高等学校电子电气基础课教学研究会第二十届学术年会会议论文集(下册)[C];2010年
3 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)'2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
4 张鹏;黄云;李斌;;PHEMT器件界面态分析方法[A];2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2007年
5 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李蛟;PEDOT:PSS薄膜的掺杂改性及其在有机太阳能电池中的应用研究[D];中国海洋大学;2010年
2 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
3 秦艳丽;硅基薄膜的制备及其在锂离子电池中的应用[D];兰州大学;2011年
4 杨超;聚吡咯基导电复合材料的制备及其性能研究[D];兰州大学;2011年
5 马格林;一种新的SiC外延材料质量评估方法[D];西安电子科技大学;2011年
6 陈达;3C-SiC/Si异质外延生长与肖特基二极管伏安特性的研究[D];西安电子科技大学;2011年
7 陈建林;Al掺杂与Al-Sc共掺杂ZnO薄膜的制备、微观组织及光电性能[D];湖南大学;2009年
8 鲁林峰;太阳电池用ZnO:Al和β-FeSi_2薄膜材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
10 刘祖明;晶体硅太阳电池及其电子辐照研究[D];四川大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张亚萍;锗单晶片的表面化学腐蚀研究[D];浙江理工大学;2010年
3 吴东;Ca-Co-O体系氧化物热电材料的制备与性能研究[D];昆明理工大学;2008年
4 王昊;高阻缓冲层与高迁移率GaN基HEMT材料生长研究[D];西安电子科技大学;2011年
5 胡庆波;多晶硅水性切削液再生研究[D];江南大学;2011年
6 齐栋博;高频光电导衰减法少子寿命测试仪设计[D];沈阳工业大学;2011年
7 张磊;脉冲激光沉积氮化硅薄膜的工艺研究[D];武汉理工大学;2011年
8 张俊双;磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜及其性能研究[D];暨南大学;2011年
9 李苗苗;空间GaAs太阳能电池用Ge单晶的位错形态及硬度研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
10 王小娜;Gd_2O_3掺杂HfO_2高k栅介质的制备与击穿特性研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 崔容强;王晨;;太阳能电池检测系统基本原理[J];阳光能源;2008年03期
2 姜勇 ,王刚;电磁屏蔽玻璃在电磁屏蔽方舱上的应用[J];安全与电磁兼容;2005年01期
3 胡玉生;;远场区同轴传输线测试法的原理与进展[J];安全与电磁兼容;2006年02期
4 李焕然;闻映红;;屏蔽效能的测量方法[J];安全与电磁兼容;2006年06期
5 冯则坤,张秀成,何华辉;纳米磁性颗粒膜的制备及微波电磁特性研究[J];兵器材料科学与工程;2002年03期
6 袁林生;沈晓冬;崔升;范凌云;;透明屏蔽材料的研究现状及展望[J];兵器材料科学与工程;2007年02期
7 李守荣,梁平治;电阻阵列动态红外景像产生器[J];半导体光电;2001年05期
8 钟水库;刘长青;沈晓明;;太阳电池基本参数的实验与分析[J];半导体光电;2007年04期
9 罗江财;半导体材料的霍耳测量[J];半导体光电;1994年04期
10 杨丽卿;三探针法测量硅外延材料电阻率的局限性[J];半导体技术;1987年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张以忱;张峻豪;宋青竹;;磁控溅射膜厚均匀性设计方法[A];真空工程学术交流会论文集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 苑同锁;导电聚合物的合成及其红外反射性能在节能材料中的应用[D];四川大学;2002年
2 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
3 王清;团簇线判据及Cu-Zr(Hf)基三元块体非晶合金形成[D];大连理工大学;2006年
4 查超麟;L1_0 FePt基磁记录介质材料的研究[D];复旦大学;2006年
5 丁金磊;太阳电池I-V方程显式求解原理研究及应用[D];中国科学技术大学;2007年
6 徐丹;中温固体氧化物燃料电池CeO_2基复合电解质材料的制备和性能研究[D];吉林大学;2008年
7 崔方明;化学法制备太阳电池用CuInS_2及ZnS薄膜材料[D];浙江大学;2008年
8 朱成军;新型钴基钙钛矿阴极材料及在中温固体氧化物燃料电池中的应用[D];吉林大学;2009年
9 徐振;垂直磁记录介质的制备和超快自旋动力学研究[D];复旦大学;2009年
10 徐静;磁控溅射SiO_2基LaB_6薄膜的制备工艺及性能[D];山东大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张心怡;基于稳定固溶体合金团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-Mo三元薄膜[D];大连理工大学;2010年
2 徐利燕;无扩散阻挡层Cu(Sn),Cu(C),Cu(Sn,C)薄膜的制备和表征[D];大连理工大学;2011年
3 汪丹;SiO_2基体上直流磁控溅射LaB_6/ITO复合薄膜的性能研究[D];山东大学;2011年
4 王晋;溶胶—凝胶法制备纳米钛酸锶材料及双功能器件[D];西北大学;2002年
5 吴凤秋;炭/炭复合材料的力学性能及其断裂机理的研究[D];中南大学;2002年
6 李晔;树脂浸渍法增密制备炭/炭复合材料[D];中南大学;2002年
7 石林峰;基于USB的大容量多通道数据采集系统[D];西北工业大学;2004年
8 郝树森;纳米SrTiO_3电容-电压敏特性优化及双功能器件研究[D];西北大学;2004年
9 梁俊华;基于薄膜晶体管应用的功能薄膜AIN和ZnO的生长与特性研究[D];浙江大学;2006年
10 郑勇;面向领域的仿真测试平台研究与实现[D];西北工业大学;2006年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 林翠;赵晴;杜楠;张三平;冯长杰;;碳钢在混凝土模拟溶液中的腐蚀测试研究[J];表面技术;2010年03期
2 李新义;杜楠;冯长杰;庞宇;李晓刚;;用电阻法测试45钢在硫酸中的腐蚀深度[J];材料保护;2010年07期
3 王永斌;孙震;余刚;杨幼然;郭明;汪洪;;可钢化单银low-E镀膜玻璃的耐热性能[J];材料科学与工程学报;2012年01期
4 范丽琴;裴瑜;林丽梅;詹仁辉;赖发春;;溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响[J];福建师范大学学报(自然科学版);2008年05期
5 彭福川;林丽梅;郑卫峰;盖荣权;赖发春;;氧分压对射频磁控溅射制备氧化锌薄膜光电学性质的影响[J];福建师范大学学报(自然科学版);2011年01期
6 梁云;孙励志;胡健;;偶联剂处理碳纤维对燃料电池用碳纤维纸性能的影响[J];造纸科学与技术;2010年03期
7 李世帅;冯秀鹏;黄金昭;张仲;陶冶微;;简单水热法制备棒状纳米氧化锌及其表征[J];功能材料;2010年S1期
8 温时宝;张如根;李国伟;吴其晔;;分段控温原位聚合沉积法制备苯胺-邻苯二胺共聚物薄膜[J];功能高分子学报;2010年03期
9 李国伟;孙雪丽;温时宝;吴其晔;;苯胺分散聚合中稳定剂PVP-K90的稳定机理[J];功能高分子学报;2010年04期
10 周双喜;黄水梅;邓文武;徐青;汪卫东;;掺杂型电磁屏蔽导电涂料研究进展[J];硅酸盐通报;2012年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 李颖弢;基于二元金属氧化物阻变存储器的研究[D];兰州大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张心怡;基于稳定固溶体合金团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-Mo三元薄膜[D];大连理工大学;2010年
3 王炯;燃料电池用碳纸的制备和表征[D];东华大学;2011年
4 李甜;铁电薄膜电滞回线的理论分析[D];太原理工大学;2011年
5 马飞;基于AMR传感器的车辆检测系统设计[D];太原理工大学;2011年
6 徐利燕;无扩散阻挡层Cu(Sn),Cu(C),Cu(Sn,C)薄膜的制备和表征[D];大连理工大学;2011年
7 李世帅;本征及掺杂氧化锌的制备和光电性质研究[D];济南大学;2011年
8 李建辉;大功率模拟集成电路直流参数测试[D];电子科技大学;2011年
9 李东凯;模拟IC直流参数测试硬件技术研究与实现[D];电子科技大学;2011年
10 梅迪;单靶磁控溅射一步法制备CIGS薄膜[D];电子科技大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 宿昌厚;全域f函数及其直观表达式[J];半导体技术;1987年03期
2 周全德,赵向娅,孙月珍;直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法[J];半导体技术;1993年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 任献普;刘新福;黄宇辉;柳春茹;赵晓然;赵丽敏;;基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究[J];半导体技术;2009年10期
2 查名瑞;再谈经典四探针测试方法中圆片边界修正系数[J];半导体技术;1996年04期
3 王新久;测量薄层电阻修正因子的一种计算方法[J];固体电子学研究与进展;1982年04期
4 刘新福,孙以材,刘东升,陈志永,张艳辉,王静;无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位[J];半导体学报;2004年02期
5 罗应明;离子注入均匀性的测绘—历史与现状[J];微细加工技术;1992年04期
6 石林初;电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用[J];半导体技术;1999年02期
7 W.A.Keenan;李达汉;;用于离子注入监测的薄层电阻测量的新进展[J];国外计量;1986年06期
8 Wilson S.R.,高心林;通过离子注入前后快速热退火改善多晶硅薄层电阻[J];微电子学;1987年01期
9 刘秀喜;热氧化对p型Si薄层电阻R_s的影响[J];半导体技术;1992年01期
10 石俊生;孙以材;;四探针测试技术中边缘修正的有关方法[J];半导体杂志;1997年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王锁泉;刘忠族;周庆云;席亦农;;隔振器机械阻抗测量[A];第十届船舶水下噪声学术讨论会论文集[C];2005年
2 邬爱清;柳赋铮;;岩石力学试验技术及其工程应用的进展[A];新世纪岩石力学与工程的开拓和发展——中国岩石力学与工程学会第六次学术大会论文集[C];2000年
3 洪节平;;某型飞机试飞测试技术论述[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
4 李小兵;刘莹;郭纪林;周顺斌;;微摩擦测试技术研究进展[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(二)[C];2006年
5 丁涛;明晓;;基于Labview的七孔探针测量系统研究[A];2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集(Ⅲ)[C];2008年
6 陈国栋;;系统级芯片与定制逻辑[A];面向21世纪的科技进步与社会经济发展(上册)[C];1999年
7 王溢芳;舒国安;王雷;;空调测试技术的发展动态[A];第十二届全国冷(热)水机组与热泵技术研讨会论文集[C];2005年
8 谢存毅;;纳米力学测试技术及其应用[A];中国力学学会学术大会'2005论文摘要集(上)[C];2005年
9 唐永祥;;地层测试技术在高压低渗地层中的应用[A];“南方复杂地层井筒新技术”技术交流会论文集[C];2005年
10 张成怀;魏光辉;王韶光;;电磁兼容测试中的混响室技术[A];中国物理学会静电专业委员会第十三届学术年会论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 吴克;移动通信测试技术日新月异[N];中国电子报;2000年
2 ;测试技术:为TD-SCDMA发展提供强力支撑[N];人民邮电;2006年
3 记者 安岚坡;我国LED测试技术跻身世界先进行列[N];消费日报;2006年
4 边锋;沃特的执著[N];科技日报;2004年
5 记者 李映;汽车开发与测试技术借“车”升级[N];中国电子报;2005年
6 安世亚太 杜婷 NI技术市场经理 朱君 同捷公司电子电气分院原理所副所长 刘文超 北京恒润科技有限公司 范永健;汽车开发与测试技术迈上新台阶[N];中国电子报;2005年
7 ;燃料电池测试技术[N];中国汽车报;2002年
8 ;精密测试技术的展望(下)[N];电子报;2008年
9 记者 陈文东;省农科院与荷兰欲结DUS测试技术金兰[N];云南经济日报;2009年
10 本报特约记者 孙兆光;“管道城”里的科研人[N];石油管道报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
2 祁家毅;半球谐振陀螺仪误差分析与测试技术[D];哈尔滨工业大学;2009年
3 曹长青;气—液—固三相流化床流动特性的实验研究与数值模拟[D];天津大学;2005年
4 郭天太;基于VR的虚拟测试技术及其应用基础研究[D];浙江大学;2005年
5 郭杰荣;集成开关电流电路测试技术研究[D];湖南大学;2008年
6 任更锋;自锚式悬索—斜拉组合体系桥梁模型试验研究[D];长安大学;2009年
7 方攸同;异步电机测试技术与可靠性研究[D];河北工业大学;2001年
8 于镒隆;发动机管理系统开发的测试技术与平台研究[D];天津大学;2009年
9 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
10 李留英;UML测试技术的研究与实现[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵晓然;表征薄层电阻的Mapping技术研究[D];河北工业大学;2011年
2 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
3 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
4 郭仁慧;数字波面干涉仪棱镜角度偏差测试技术的研究[D];南京理工大学;2004年
5 陶前;电机机械特性测试系统[D];浙江大学;2005年
6 赵雪松;竹材曲面受压过程的有限元分析[D];内蒙古农业大学;2005年
7 李松和;内燃机曲轴轴系扭振数字化测试系统[D];浙江大学;2005年
8 谢辉;软交换系统的自动化测试平台ATS的研究和实现[D];华中科技大学;2005年
9 王洪波;航空发电机综合测试系统的研制[D];西安科技大学;2008年
10 肖鹏;便携式固体火箭发动机测试系统设计[D];南京理工大学;2009年
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