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《半导体技术》 2004年07期
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高品质清洗技术为IC产业的发展保驾护航

扬雪  张伟  
【摘要】:在人类社会步入21世纪的今天,现代信息技术正已空前的发展应用于人类生活的各个领域。作为信息产业乃至信息化基础和核心的半导体产业,越来越受到人们的瞩目和产业界的重视。本刊就IC产业的特殊性,洁净、空气、清洗技术、环保等诸多问题,特请海内外半导体产业知名的企业家和专家,就此话题,发表自己的观点,愿为读者提供一些启迪及参考。
【作者单位】本刊通讯员 本刊通讯员
【分类号】:TN405

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