收藏本站
《半导体技术》 2003年10期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

基于有限状态机模型的光刻版图自动布局系统

粟鹏义  陈开盛  曹庄琪  
【摘要】:采用有限状态机模型设计了集成电路光刻版上各个图形布局的自动系统。将布局的各个阶段定义为不同的状态,布局规则定义为触发条件,组成一个有限状态机。基于此模型的计算机自动布局系统能自动完成图形在光刻版上的布局,充分利用硅圆片面积并给出布局报告。
【作者单位】上海交通大学 上海光刻电子科技有限公司 上海交通大学
【分类号】:TN405

【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 韩胤;张勇;;CTCS3级仿真系统中无线闭塞中心的仿真[J];铁路计算机应用;2007年03期
2 刘光明,陈炼,马永生;基于UML需求分析技术的应用研究[J];科技广场;2005年03期
3 任丽君;;基于UML的学生网上选课系统建模[J];长春师范学院学报;2006年02期
4 陆晓燕,秦朝辉,尹治本;UML建模技术及其应用[J];成都信息工程学院学报;2004年03期
5 柯清超,李克东;学习系统的软件建模方法研究[J];电化教育研究;2003年08期
6 宋清龙,罗晓东;使用JDBC访问网络数据库的UML建模[J];电脑知识与技术;2004年08期
7 张美琪,雷跃明,文俊浩;UML在电子商务系统中的业务建模应用[J];重庆大学学报(自然科学版);2005年04期
8 曾成斌;基于UML的网站规划和设计[J];贵州工业大学学报(自然科学版);2005年04期
9 朱小军,袁卫卫,黄光奇,罗雪山;C~4ISR体系结构设计方法[J];火力与指挥控制;2005年03期
10 庄耿松,王晓耘;第三方物流电子追踪系统的分析与设计[J];杭州电子工业学院学报;2003年04期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 李北平;陈星光;;UML在VE中的应用探讨[A];信息经济与国民经济增长方式的转变——中国信息经济学会2006年学术年会论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 柯清超;分布式学习系统软件建模方法研究[D];华南师范大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张征;法定计量检定机构综合业务系统设计与实现[D];山东大学;2007年
2 滕平;基于B/S结构的图书荐购系统的设计与开发[D];南昌大学;2007年
3 李俊春;基于J2EE的网上职介系统的构建与实现[D];南昌大学;2007年
4 陈秀伟;基于UML的CS-AIS的设计和实现[D];大连海事大学;2007年
5 彭军;基于UML的科研业绩管理系统设计与实现[D];南昌大学;2007年
6 何海江;基于Web的电子邮件系统设计与实现[D];大连理工大学;2006年
7 陶华亭;数据库应用系统的UML建模策略研究[D];华东师范大学;2007年
8 王文举;油气生产成本管理系统研究与开发[D];中国石油大学;2007年
9 周鹏;一种企业级过程控制软件架构及其应用研究[D];华中科技大学;2005年
10 许丹;基于供应链的餐饮业管理系统[D];南京理工大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 冯伯儒,张锦,侯德胜,周崇喜,苏平;相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术[J];光电工程;2001年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 茅哲民;用于大规模集成电路光刻掩模版的保护膜[J];半导体技术;1981年04期
2 魏荣治;硅功率场效应晶体管的研究[J];固体电子学研究与进展;1981年01期
3 徐朝燕;;用初缩机翻版的尝试与冲洗工艺[J];仪表技术与传感器;1986年03期
4 邹德恕,王东风;MOS型CO气体传感器[J];传感器技术;1987年Z1期
5 邹德恕,王东凤,刘永刚;SnO_2栅MOS型一氧化碳传感器[J];北京工业大学学报;1987年03期
6 陈家荣;M8216电路的分析与测试[J];半导体技术;1989年01期
7 万国章;自装三用分步重复精缩机[J];黑龙江大学自然科学学报;1989年02期
8 ;简讯[J];半导体技术;1990年02期
9 简博司;张盛东;;有源矩阵基板用两块光刻版a-Si TFT阵列[J];光电子技术;1990年02期
10 高勇;高压功率达林顿开关管的芯片设计与制造[J];半导体技术;1993年01期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 赵晓锋;王丙利;李斌;温殿忠;;采用MEMS制作悬臂梁结构设计模拟与制作工艺研究[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 陈兵;SiGe异质结双极晶体管(SiGe HBT)研究与设计[D];北京工业大学;2003年
2 徐淑霞;多晶硅高温压力传感器设计[D];沈阳工业大学;2003年
3 张谦述;LiNbO_3波导电光A/D转换器技术研究[D];电子科技大学;2005年
4 王宇;基于FD-BPM的有机聚合物光波导器件的模拟[D];吉林大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026