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《半导体技术》 2002年12期
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动态随机存储器IC芯片制造技术的进展与展望

孙以材  王静  赵彦晓  田立强  刘江  
【摘要】:介绍了DRAM 0.1mm特征尺寸理论极限的突破及相关技术进展,以及各种非易失性随机存储器(NVRAM)如FeRAM,相变RAM,MRAM。现今PC中的RAM很快将被NVRAM所取代,从而可缩短PC的启动时间。

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 刘新福,孙以材,刘东升,陈志永,张艳辉,王静;无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位[J];半导体学报;2004年02期
2 刘新福,孙以材,刘东升;两种薄层电阻测试系统探针游移误差的对比分析[J];电子器件;2004年01期
3 苏双臣;刘新福;张润利;刘金河;;探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析[J];北华航天工业学院学报;2007年05期
4 羽成;;新型NVRAM将成为下一代的主流内存[J];集成电路应用;2003年12期
5 刘新福,刘东升,孙以材;一种改进的硅片薄层电阻及其均匀性表征方法[J];稀有金属;2004年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前3条
1 苏双臣;用四探针法测试硅片微区薄层电阻的稳定性研究[D];河北工业大学;2006年
2 孙鹏;0.11微米DRAM BPSG空洞问题的解决[D];复旦大学;2008年
3 雷静;存储器测试方法的研究与测试程序的实现[D];电子科技大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 孙以材,刘新福,宋青林;基于GMR及TMR效应的磁随机存储器的最新应用开发[J];半导体技术;2001年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 朱思峰;詹承华;蒋泽军;;磁阻式随机存取存储器研究[J];河南师范大学学报(自然科学版);2006年01期
2 赵燕平,由臣,宁保群;巨磁电阻材料及应用[J];天津理工学院学报;2003年03期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨丽卿;三探针法测量硅外延材料电阻率的局限性[J];半导体技术;1987年03期
2 孙以材,范兆书,孙新宇,宁秋凤;电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性[J];半导体技术;2000年05期
3 熊险峰,张红南,杨献,陈为,司孝平;系统芯片的测试技术[J];半导体技术;2003年02期
4 李仁;半导体IC清洗技术[J];半导体技术;2003年09期
5 孙新宇,王鑫,孙以材,孟庆浩,孙冰,李福林;微处理器在微区薄层电阻测试Mapping技术中的应用[J];半导体技术;1998年02期
6 石林初;电阻网络元模拟算法及其在IC设计中的应用[J];半导体技术;1999年02期
7 周全德;薄层电阻标样及Mapping在IC制造中的应用研究[J];半导体情报;2000年04期
8 赵正平;21世纪初微电子技术发展展望[J];半导体情报;1999年01期
9 孟庆浩,孙新宇,孙以材;薄层电阻测试Mapping技术[J];半导体学报;1997年09期
10 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前5条
1 朱小莉;DSPC50的可测性设计及电路实现[D];湖南大学;2003年
2 任爱玲;嵌入式memory内建自测试算法[D];东南大学;2005年
3 谢明恩;可测试性设计技术及应用研究[D];南京航空航天大学;2007年
4 徐金荣;基于BIST的嵌入式存储器可测性设计研究[D];北京交通大学;2008年
5 宋毅;嵌入式随机存储器测试研究及仿真[D];湖南大学;2008年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 苏双臣;刘新福;张润利;刘金河;;探针游移对方形四探针测试仪测量硅片薄层电阻的影响分析[J];北华航天工业学院学报;2007年05期
2 羽成;;新型NVRAM将统吃未来的内存市场[J];集成电路应用;2005年10期
3 韩萌;刘晟;孟立凡;;影响RTS-8型四探针测试仪测量精度的主要因素[J];中国高新技术企业;2009年05期
4 李建昌;王永;王丹;李永宽;巴德纯;;半导体电学特性四探针测试技术的研究现状[J];真空;2011年03期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 刘迪;板带钢轧辊辊型及其磨损检测系统的研究与实现[D];北京邮电大学;2009年
2 冯帅;数字式半导体电阻率测试方法及系统研究[D];西安电子科技大学;2010年
3 陈鹏;汞探针CV测试仪测量硅重掺衬底外延层电阻率的准确性和稳定性[D];复旦大学;2010年
4 杨江;边界扫描测试建模关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
5 赵丽敏;探针游移对测试大型硅片微区薄层电阻的影响及仿真技术研究[D];河北工业大学;2011年
6 赵晓然;表征薄层电阻的Mapping技术研究[D];河北工业大学;2011年
7 朱倩颖;手动式探针仪的自动化改造[D];天津大学;2012年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王海;新型磁电材料与磁传感器[J];传感器技术;1999年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 黄雪霜;杨洁;;集成人生路 宇耕大讲堂——访北京大学微纳电子学研究院首席科学家、中国科学院院士王阳元[J];科学中国人;2011年16期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 邓小玲;郭冬娇;蔡苇;符春林;;退火温度对BZT薄膜介电性能的影响研究[A];2011中国功能材料科技与产业高层论坛论文集(第二卷)[C];2011年
2 鲁东;郭涛;李辉;郑培生;聂全新;;钽铌前驱体综述[A];有色金属工业科学发展——中国有色金属学会第八届学术年会论文集[C];2010年
3 赵梦璧;;应用SIMS技术分析IC掺杂工艺[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
4 刘方;骆清铭;;近红外无线血氧监测仪的设计与实现[A];第八届全国激光生物学学术会议暨《激光生物学》创刊十周年庆祝会会议指南及论文摘要[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 宗文雯;长城开发苏州工厂二期奠基[N];苏州日报;2009年
2 报道员 张皕成 杨宁昱;欧盟给三星等开反垄断罚单[N];经济参考报;2010年
3 山西 杨德印;用MAX6642测量IC芯片温度[N];电子报;2004年
4 北京半导体行业协会常务理事 朱贻玮;国内芯片生产线建设知多少[N];中国电子报;2004年
5 志军;Canon DIGIC芯片 给数码相机一颗强壮的“芯”[N];中国计算机报;2003年
6 闫书强;不会消失的“0”和“1”[N];电脑报;2009年
7 本报记者 乔申颖 王阳元;在辛勤耕耘中享受创新的幸福[N];经济日报;2009年
8 杨晓;长虹涉足IC芯片开发新公司落户成都高新区[N];中国高新技术产业导报;2005年
9 湖北 孙玉清;EPSON墨盒识别通关不再难[N];电脑报;2002年
10 信息产业部电子信息产品管理司副司长 肖华;以IC芯片技术和产品为核心培育数字电视产业链[N];中国电子报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 迟庆国;钛酸铅基铁电薄膜组织结构控制及性能研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
2 杨海平;钽醇盐的电化学合成及纯化研究[D];中南大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 易旭东;0.13μm堆叠式动态随机存储器光刻工艺优化的研究[D];复旦大学;2011年
2 沈宏伟;微纳深沟槽结构测量系统研究[D];华中科技大学;2008年
3 徐华;脉冲激光沉积Pb_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜和(Pb,Sr)TiO_3/(Pb,La)TiO_3多层膜的介电性能及弛豫现象[D];苏州大学;2005年
4 董存霖;一种应用于增益单元嵌入式动态随机存储器的自适应动态刷新及写电压调整方案[D];复旦大学;2011年
5 吴雨健;DRAM原理及工艺流程的研究[D];天津大学;2007年
6 李木子;DRAM器件制造的新工艺和电性测试参数的分析[D];天津大学;2007年
7 邹艳;掺钕的铋系列铁电薄膜的制备与性能研究[D];广东工业大学;2012年
8 程宽;基于增益单元的高速低数据保持功耗eDRAM设计[D];复旦大学;2011年
9 臧松干;隧穿晶体管及其在存储器中的应用[D];复旦大学;2011年
10 刘伟;0.15um工艺光刻制程中的关键技术[D];天津大学;2012年
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