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《半导体技术》 2002年07期
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PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析

陈蒲生  张昊  冯文修  刘剑  刘小阳  王锋  
【摘要】:采用俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析PECVD法低温形成SiOxNy薄介质膜的微观组分及其与制膜工艺间关系,通过椭圆偏振技术测试该薄膜的物理光学性能。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 陈玉萍,徐甲强,方少明;现代测试技术在纳米材料研究中的应用[J];化学研究与应用;2004年05期
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 陈蒲生,杨光有;雪崩热电子注入对快速热氮化的SiO_xN_y膜陷阱的影响[J];半导体学报;1991年07期
2 曾天亮,陈平,江志庚,李志彭;PECVD SiON膜的性质及其在双层互连工艺中的应用[J];半导体学报;1992年06期
3 陈蒲生,冯文修,王川,王锋,刘小阳,田万廷,曾绍鸿;用于薄介质栅的PECVD法低温形成SiO_xN_y薄膜及其电学特性[J];半导体学报;1997年10期
4 陈蒲生;用于VLSI的SiO_xN_y薄膜的界面陷阱[J];固体电子学研究与进展;1992年04期
5 杨炳良,刘百勇,郑耀宗,王曦;SiO_xN_y薄膜高场电子陷阱和释放特性的研究[J];物理学报;1991年11期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 葛春桥,薛亦渝,夏志林;AZO透明导电薄膜的制备技术、光电特性及应用[J];真空电子技术;2004年06期
2 魏杰,任妮;电泳沉积MoS_2固体润滑膜研究[J];真空与低温;1999年02期
3 刘玉萍;陈枫;郭爱波;李斌;但敏;刘明海;胡希伟;;AZO透明导电薄膜的制备技术及应用进展[J];真空与低温;2007年01期
4 林琳,吴锦雷;埋藏于BaO介质中的Ag纳米粒子可见光波段的光致荧光增强现象研究[J];真空科学与技术学报;2000年01期
5 姚文清,朱永法,郑斌,曹立礼;金属/石墨界面扩散反应的AES研究[J];真空科学与技术学报;2000年01期
6 陈文兴;杜莉娟;姚玉元;吕慎水;;磁控溅射法制备电磁屏蔽织物的研究[J];真空科学与技术学报;2007年03期
7 王武育,张欣,孙平;化合物薄膜的光学增透特性及其应用[J];稀有金属;1997年03期
8 许小红,武海顺,张聪杰,金志浩;溅射沉积AlN薄膜结构与基片种类的关系[J];压电与声光;2000年04期
9 王文如,杨正兵;微细金属图形制作中的剥离技术[J];压电与声光;2001年01期
10 李占锋,尚丽平;薄膜厚度的石英晶体差动在线测量方法[J];仪器仪表学报;2001年S1期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 侯和峰;李春红;陈玉清;綦晓峰;徐丽丽;;低辐射镀膜玻璃[A];首届山东材料大会论文集(建筑材料篇)[C];2007年
2 曾武贤;谢泉;梁艳;张晋敏;肖清泉;杨吟野;任学勇;;不同溅射气压对β-FeSi_2形成的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(1)[C];2007年
3 李朝升;王先平;方前锋;S.Veprek;李世直;;反应磁控溅射法制备nc-TiN/a-Si_3N_4薄膜的 Young's 模量和内耗[A];第七届全国内耗学术会议论文集[C];2003年
4 王东;路建军;齐宏进;;防水透湿织物上碳氟膜的纳米结构及均匀性的初步研究[A];第六届功能性纺织品及纳米技术应用研讨会论文集[C];2006年
5 孙喜莲;徐学科;邵建达;;铬过渡层对银膜的微结构、光学性质及附着力的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
6 袁振宇;徐东;蔡炳初;;镍钛形状记忆合金薄膜超弹性性能的研究[A];上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会论文集[C];2005年
7 韩向宇;张祖伟;胡陈果;;管径对碳纳米管膜激活能的影响[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
8 付光宗;杨丰帆;杨小红;廖克俊;刘高彬;;超薄铝膜的制备与透光率的研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
9 徐永青;杨拥军;郑七龙;李海军;;新型硅—铝—硅结构MEMS加工技术及应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
10 莫继良;朱旻昊;安剑;雷斌;周仲荣;;物理气相沉积CrN涂层的研究进展[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 吴卫东;Co:BaTiO_3纳米复合薄膜及C_xH_(1-x)薄膜的制备和性能研究[D];四川大学;2007年
2 王立无;红外薄膜系统的设计和制备[D];四川大学;2007年
3 杨祖念;电化学技术制备白钨矿晶态薄膜的生长动力学研究[D];四川大学;2006年
4 蒋长军;反点阵阵列膜的结构和磁性[D];兰州大学;2007年
5 孙建荣;高频用尖晶石结构Mn-Zn铁氧体薄膜制备与性能研究[D];兰州大学;2007年
6 梁文萍;Ti_2AlNb O相合金双辉等离子渗Mo、Cr及其性能研究[D];太原理工大学;2007年
7 肖继明;梯度涂层高速钢刀具切削性能及磨损失效机理研究[D];西安理工大学;2007年
8 崔彩娥;弧辉渗镀技术在镁合金表面形成钛铬薄膜及其耐蚀性能研究[D];太原理工大学;2006年
9 缪强;镁合金AZ91D表面弧辉渗镀TiN、CrN、TiN/CrN薄膜及其性能研究[D];太原理工大学;2007年
10 潘书生;氮掺杂SnO_2薄膜生长与物性研究[D];中国科学院研究生院(合肥物质科学研究院);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 俞振南;Si衬底GaN基蓝光LED芯片出光效率的研究[D];南昌大学;2007年
2 吴树建;无取向硅钢绝缘涂层附着性的研究[D];上海交通大学;2008年
3 姚成志;硼掺杂金刚石薄膜涂层工具的制备和试验研究[D];上海交通大学;2008年
4 赵华玉;PIC/MCC模拟直流平面磁控溅射[D];大连理工大学;2008年
5 朱亚民;薄膜温度传感器的研制[D];大连理工大学;2007年
6 庞洪超;含氦纳米膜的制备及其固氦特性研究[D];四川大学;2007年
7 程丙勋;磁控溅射制备Al膜和Cu膜的结构与性能研究[D];四川大学;2007年
8 彭宝剑;上转换发光显示三基色材料及其光电特性研究[D];四川大学;2007年
9 刘中华;退火条件对氧化钒薄膜光电特性影响的研究[D];四川大学;2007年
10 刘变美;无机溶胶—凝胶法制备掺钨二氧化钒薄膜研究[D];四川大学;2007年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李莉娟;孙凤久;;红外光谱法在金属氧化物纳米材料研究中的应用[J];材料导报;2006年01期
2 邱玮丽,马晓华,杨清河,付延鲍,宗祥福;用衰减全反射红外光谱研究纳米SiO_2粒子在复合涂层中的迁移现象[J];复合材料学报;2004年04期
3 赵杰,赵经贵,高山,霍丽华;二氧化锡气敏纳米粉体的红外光谱研究[J];光散射学报;2004年03期
4 骆智训;方炎;;表面增强拉曼散射光谱的应用进展[J];光谱学与光谱分析;2006年02期
5 孔乐;唐世彪;李承祥;王卫;朱大鸣;阴泽杰;;单壁碳纳米管晶格振动模及红外吸收光谱的研究[J];光学技术;2006年04期
6 刘绍璞,蒋治良,孔玲,刘芹;[HgX_2]_n纳米微粒的吸收光谱、Rayleigh散射和共振Rayleigh散射光谱[J];中国科学B辑;2002年06期
7 何佑秋,刘绍璞,刘芹,刘忠芳,胡小莉;金纳米微粒与藏红T相互作用的吸收、荧光和共振Rayleigh散射光谱特征[J];中国科学B辑;2005年02期
8 周岚,刘晓峻,张淑仪,王建朝,张立德;纳米NiTiO_3光声光谱研究[J];南京大学学报(自然科学版);1997年01期
9 姚文清,叶小燕,朱永法,曹立礼;扫描俄歇微探针系统的功能扩展与升级改造[J];实验技术与管理;2000年06期
10 王元生,杨裕民,黄兆新;二氧化锡纳米粉掺杂及其显微结构[J];材料研究学报;1998年05期
【二级引证文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 徐甲强;氧化物纳米材料的合成、结构与气敏特性研究[D];上海大学;2005年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 陈斗南,刘百勇,郑学仁;薄Si_xO_yN_z膜击穿机理的研究[J];物理学报;1989年01期
2 杨炳良,刘百勇,陈斗南,郑耀宗;SiO_xN_y薄膜的微观结构与新的电流传输机理模型[J];物理学报;1991年02期
3 杨劲,陈蒲生;介质膜电荷陷阱特性的雪崩注入法的技术改进——垫高电压[J];半导体技术;1991年04期
4 陈蒲生,杨光有;雪崩热电子注入对快速热氮化的SiO_xN_y膜陷阱的影响[J];半导体学报;1991年07期
5 陈蒲生,杨劲;MIS结构中快速热氮化的SiO_xN_y膜电荷特性[J];固体电子学研究与进展;1992年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 陈蒲生,张昊,冯文修,刘剑,刘小阳,王锋;PECVD法低温形成SiO_xN_y介质膜的俄歇电子能谱和红外吸收光谱分析[J];半导体技术;2002年07期
2 陈蒲生,刘剑,张昊,冯文修;PECVD法低温形成纳米级薄介质膜击穿特性的实验研究[J];半导体技术;2004年06期
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