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《半导体技术》 2002年01期
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GaN生长工艺流程实时监控系统

王三胜  顾彪  徐茵  王知学  杨大智  
【摘要】:分析了在ECR-MOCVD装置上外延生长GaN单晶薄膜的工艺过程特点和在此过程中影响GaN结晶质量的主要因素。在此基础上,设计了一套以80C31单片机为核心的光电隔离电路和PC机组成的两级系统,用于GaN薄膜外延生长的工艺流程监控,并提出了一种合适的工艺流程监控策略。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
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中国博士学位论文全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 高爱华;刘卫国;张伟;周顺;李岗;;MOCVD的气动控制回路设计[J];液压与气动;2006年09期
2 曲钢,徐茵;GaN薄膜生长实时监控系统的实现[J];半导体技术;2004年09期
3 何华云;胡晓宇;;生产型GaN MOCVD(6片机)设备中的压力控制技术[J];电子工业专用设备;2006年12期
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中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 刘忠;基于Ethernet控制网络的OPC技术的研究[D];兰州理工大学;2006年
2 王宇;硅基GaN薄膜制备及紫外探测器的初步研究[D];浙江大学;2001年
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4 赵恒;免疫策略优化模糊系统与神经网络温度控制算法研究[D];西安电子科技大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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2 张捍东,刘丽萍,何喜元;微机控制系统的抗干扰设计第3讲 电源设计原则[J];冶金自动化;1996年06期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王方;岳艳杰;邱道尹;朱云;;基于红外技术的变电站温度监控[J];电网与清洁能源;2011年05期
2 王聪;张军伟;杜丽;周海;;光栅拼接技术研究进展[J];激光与光电子学进展;2011年08期
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6 弭强;张金玲;吕英华;朱琳;;基于ZigBee的监护系统设计及其电磁兼容分析[A];第二十届全国电磁兼容学术会议论文集[C];2010年
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9 袁胜春;杨成沛;;集群LED显示屏状态监控方案[A];2010全国LED显示应用技术交流暨产业发展研讨会文集[C];2010年
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中国重要报纸全文数据库 前6条
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5 邵永表 王春;高清立体拼接屏开创大屏3D时代[N];中国技术市场报;2010年
6 记者 张启富;我市家电下乡产品销售额大幅增长[N];广安日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 张昊翔;硅基GaN薄膜材料及紫外探测器原型器件研究[D];浙江大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王知学;控制技术在GaN薄膜生长过程中的应用[D];大连理工大学;2000年
2 王宇;硅基GaN薄膜制备及紫外探测器的初步研究[D];浙江大学;2001年
3 符斯列;ECR等离子体参数空间分布特性研究及制备GaN薄膜中的应用[D];华南师范大学;2004年
4 周紫光;利用表面光伏谱研究氮化镓薄膜的光电行为[D];大连理工大学;2009年
5 吴玉新;一维GaN纳米结构和GaN薄膜的制备及其特性研究[D];山东师范大学;2006年
6 杨诚;脉冲激光沉积GaN薄膜及ZnO缓冲层的影响[D];山东师范大学;2007年
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8 薛守斌;硅基以ZnO为缓冲层制备GaN薄膜和一维纳米结构的研究[D];山东师范大学;2007年
9 周勋;GaN薄膜结构的高分辨X射线衍射表征及其电学特性分析[D];电子科技大学;2008年
10 陈勇;GaN LED外延片微结构分析及性能研究[D];电子科技大学;2009年
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