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《半导体技术》 2001年11期
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GaAs单晶阈值电压自动测试系统的研究

胡志高  朱敏  李传海  
【摘要】:根据GaAs阈值电压的测试原理,选取了一种比较精确的实验测试计算方法。在此基础上,分别设计了GaAs 单晶阈值电压均匀件自动测试系统的硬件电路和软件程序,并利用此系统对GaAs样品进行了实际测量,效果良好。

【共引文献】
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