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《半导体技术》 2001年07期
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表面活性剂对硅单晶片表面吸附颗粒的作用

刘玉岭  桑建新  叶占江  
【摘要】:提出了新抛光硅片镜面吸附动力学过程;深入研究表面活性剂的性质和作用;利用表面活性剂特性,有效地控制硅片表面颗粒处于易清洗的物理吸附状态。
【作者单位】河北工业大学!天津
【分类号】:TN305.2

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 雷红;;CMP后清洗技术的研究进展[J];半导体技术;2008年05期
2 陈海涛;檀柏梅;刘玉岭;牛新环;刘金玉;;晶片CMP后表面纳米颗粒的去除研究[J];半导体技术;2011年01期
3 赵之雯;牛新环;檀柏梅;袁育杰;刘玉岭;;蓝宝石衬底材料CMP抛光工艺研究[J];微纳电子技术;2006年01期
4 武彩霞;刘玉岭;牛新环;康海燕;苏艳勤;;多层Cu布线化学机械抛光后颗粒的去除问题[J];微纳电子技术;2010年02期
5 杨飞;檀柏梅;高宝红;苏伟东;田巧伟;刘楠;;多层铜布线表面CMP后颗粒去除研究[J];微纳电子技术;2012年12期
6 赵之雯;;蓝宝石衬底纳米级超光滑表面加工工艺研究[J];新技术新工艺;2008年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 陈贵财;太阳能多晶硅片表面污染物去除技术的研究[D];大连理工大学;2011年
2 赵权;锗抛光片抛光清洗技术研究[D];天津大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 曹亚,李惠林;高分子表面活性剂在固/液界面上的吸附形态[J];物理化学学报;1999年10期
2 曹亚,李惠林,张爱民;CMC型高分子表面活性剂在固/液界面上的吸附[J];物理化学学报;1999年10期
3 刘玉岭,刘钠,曹阳;硅单晶片镜面吸附物吸附状态的研究[J];稀有金属;1999年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 狄卫国,刘玉岭,司田华;ULSI硅衬底的化学机械抛光技术[J];半导体技术;2002年07期
2 雷红;;CMP后清洗技术的研究进展[J];半导体技术;2008年05期
3 林健;赵权;刘春香;杨洪星;;空间太阳电池用超薄Ge单晶片的CMP技术[J];半导体技术;2010年04期
4 雷延茹,罗顺火,刘永刚;丙烯腈-苯乙烯共聚物在TATB炸药上的吸附行为[J];火炸药学报;2004年02期
5 张小文,刘云;洗涤剂用荧光增白剂[J];北京轻工业学院学报;1998年02期
6 薛转茹;胡志勇;朱海林;陈琳;;可断键均三嗪脂肪磺酸盐型表面活性剂的合成与表面活性[J];日用化学工业;2008年03期
7 林健;赵权;刘春香;杨洪星;;空间太阳能电池用超薄锗单晶片的清洗技术[J];电子工业专用设备;2011年03期
8 李薇薇,刘玉岭,周建伟,王娟;CMP过程中纳米级颗粒在芯片表面吸附状态控制[J];电子工艺技术;2005年06期
9 古海云,刘玉岭;利用表面活性剂有效去除ULSI衬底硅片表面吸附颗粒[J];电子器件;2000年04期
10 李薇薇,刘玉岭,檀柏梅,周建伟,王娟;利用表面活性剂有效去除ULSI衬底硅片表面吸附颗粒[J];电子器件;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 檀柏梅;刘玉岭;赵之雯;郝子宇;周建伟;王胜利;;专用复合型表面活性剂在微电子技术中的应用[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前7条
1 付义乐;苯乙烯半菁、一甲川菁染料的合成及性质研究[D];西北大学;2011年
2 陈甜甜;除虫脲水悬浮剂的物理稳定性及机理研究[D];山东农业大学;2011年
3 程隆棣;陶瓷纤维湿法非织造流浆中的分散性能研究[D];东华大学;2002年
4 魏玉萍;纤维素基高分子表面活性剂的合成及性能表征[D];天津大学;2005年
5 张淑敏;清洗技术和平滑层对极紫外多层膜基底粗糙度的影响及表面表征技术研究[D];同济大学;2007年
6 张西慧;螯合剂在微电子工艺中减少硅表面重金属污染的应用研究[D];河北工业大学;2007年
7 庄占兴;氟铃脲悬浮剂加工原理及其性能研究[D];山东农业大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陆庆;纳米硅胶表面分子印记聚合物的制备及其在毒死蜱农药残留检测中的应用[D];南京医科大学;2010年
2 武步华;氟啶脲悬浮剂润湿分散剂的筛选及稳定机理研究[D];山东农业大学;2010年
3 马忠诚;一种钙矾石结晶化抑制剂的合成及其性能研究[D];中国建筑材料科学研究总院;2010年
4 韩兆钢;2-甲基-8-氨基喹啉合成工艺研究及其在颜料黄138制备中的应用[D];华东理工大学;2011年
5 陈贵财;太阳能多晶硅片表面污染物去除技术的研究[D];大连理工大学;2011年
6 张凯;单油酸1,3-丙二醇酯的酶法合成、分离纯化与性质研究[D];华南理工大学;2011年
7 刘占永;疏水改性羧甲基纤维素钠及其pH敏感水凝胶的研究[D];河北工业大学;2011年
8 李晨;磺酸盐型三聚表面活性剂的合成及性能研究[D];中北大学;2012年
9 冉兴;香豆素荧光分散染料的合成研究[D];大连理工大学;2000年
10 周家容;香子兰化学成分及超临界CO_2提取工艺研究[D];广东工业大学;2002年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 储佳,马向阳,杨德仁,阙端麟;硅片清洗研究进展[J];半导体技术;2001年03期
2 狄卫国,刘玉岭,司田华;ULSI硅衬底的化学机械抛光技术[J];半导体技术;2002年07期
3 李仁;半导体IC清洗技术[J];半导体技术;2003年09期
4 苏建修,康仁科,郭东明;超大规模集成电路制造中硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2003年10期
5 何良恩,凤坤,唐雪林,李刚;对抛光片清洗技术的研究[J];半导体技术;2004年07期
6 陈志刚;陈杨;陈爱莲;;硅晶片化学机械抛光中的化学作用机理[J];半导体技术;2006年02期
7 盛金龙;;IC制造中清洗技术发展的分析[J];半导体技术;2006年03期
8 李薇薇;檀柏梅;周建伟;刘玉岭;;一种有效去除CMP后表面吸附杂质的新方法[J];半导体技术;2006年03期
9 吕菲;刘春香;杨洪星;赵权;于妍;赵秀玲;;锗单晶片的碱性腐蚀特性分析[J];半导体技术;2007年11期
10 赵权;;半导体单晶抛光片清洗工艺分析[J];半导体技术;2007年12期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 李薇薇;微电子器件硅衬底表面污染物去除技术的研究[D];河北工业大学;2003年
2 张宁;中国光伏产业与发展战略研究[D];中国政法大学;2010年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 雷红;司马能;袁国兴;屠锡富;布乃敬;藏松涛;;计算机硬盘基片的化学机械清洗技术研究[J];半导体技术;2010年08期
2 王吉翠;邓乾发;周兆忠;李振;袁巨龙;;蓝宝石晶片机械化学研磨抛光新方法研究[J];表面技术;2011年05期
3 白敏菂;冷宏;李超群;;面向硅片清洗技术的高浓度臭氧产生装置[J];电子工业专用设备;2011年07期
4 孙振杰;刘涛;费玖海;;化学机械抛光(CMP)过程中抛光盘温度控制的分析研究[J];电子工业专用设备;2011年08期
5 汪海波;俞沁聪;刘卫丽;宋志棠;张楷亮;;工艺条件对蓝宝石化学机械抛光的影响[J];功能材料与器件学报;2010年03期
6 尹旭琴;李仰军;卫丽芬;武毅;刘建勋;;蓝宝石镀膜方法研究[J];光学仪器;2009年06期
7 刘楠;檀柏梅;高宝红;田巧伟;杨志欣;黄妍妍;;硅衬底化学机械抛光后去除有机物残留的研究[J];半导体技术;2012年12期
8 田巧伟;檀柏梅;高宝红;黄妍妍;刘楠;苏伟东;;微腐蚀去除硅衬底表面损伤及污染物研究[J];微纳电子技术;2012年12期
9 杨飞;檀柏梅;高宝红;苏伟东;田巧伟;刘楠;;多层铜布线表面CMP后颗粒去除研究[J];微纳电子技术;2012年12期
10 刘建河;王黎明;;固着磨料高速研磨的关键技术研究[J];长春理工大学学报(自然科学版);2012年04期
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陶占春;Al_2O_3陶瓷化学机械磨削用磨具的研制及性能研究[D];大连理工大学;2010年
2 吴建林;单晶蓝宝石水合抛光机理与试验研究[D];浙江工业大学;2010年
3 周平;单晶蓝宝石的延性研磨加工研究[D];浙江工业大学;2010年
4 吴健;蓝宝石CMP加工机理与工艺技术的研究[D];浙江工业大学;2012年
5 王军;单晶蓝宝石基片精密研磨工艺研究[D];大连理工大学;2008年
6 李树荣;蓝宝石晶片化学机械抛光液的研制[D];大连理工大学;2008年
7 孟庆平;蓝宝石高效超精密磨削技术及损伤检测研究[D];大连理工大学;2009年
8 关昂;磨削蓝宝石基片的软磨料砂轮的研制及性能研究[D];大连理工大学;2009年
9 彭名君;化学机械研磨工艺中的铜腐蚀研究[D];复旦大学;2009年
10 高淼;多模光纤和蓝宝石光纤高温测量技术的应用研究[D];武汉理工大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 曹亚,李惠林,徐僖;羧甲基纤维素系列高分子表面活性剂超声合成的研究[J];高等学校化学学报;1997年06期
2 顾惕人;高分子的展开膜[J];精细化工;1987年01期
3 李外郎;张宝音;顾惕人;;聚醚型表面活性剂在界面上的分子取向 Ⅱ.环氧乙烷环氧丙烷共聚多元醇在水面上的表面膜[J];物理化学学报;1987年01期
4 赵振国,顾惕人;聚乙二醇、聚丙二醇和环氧乙烷-环氧丙烷嵌段共聚物在固液界面上的吸附——Ⅰ.活性炭/水界面[J];物理化学学报;1989年02期
5 曹亚,李惠林,张爱民;CMC型高分子表面活性剂在固/液界面上的吸附[J];物理化学学报;1999年10期
6 杨承志;;表面活性剂吸附理论的最新进展[J];油田化学;1988年04期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 刘玉岭,檀柏梅,赵之雯,郝子宇;表面活性剂在半导体硅材料加工技术中的应用[J];河北工业大学学报;2004年02期
2 徐冬良;硅材料的目前状况及发展趋势——1992年6月赴美考察情况报告[J];半导体技术;1993年06期
3 蒋荣华,肖顺珍;我国半导体硅材料的发展现状[J];微纳电子技术;2001年06期
4 闫志瑞;鲁进军;李耀东;王继;林霖;;300mm硅片化学机械抛光技术分析[J];半导体技术;2006年08期
5 张伟;周建伟;刘玉岭;刘承霖;;硅片研磨表面状态的改善和研磨液的改进[J];半导体技术;2006年10期
6 王春梅;佟丽英;史继祥;王聪;;硼扩散片弯曲度的控制技术研究[J];电子工业专用设备;2010年08期
7 郑长如;;日本展出直径12英寸的硅片[J];上海有色金属;1993年02期
8 库黎明;李耀东;周旗钢;王敬;;双面抛光工艺中压力对300mm硅片表面形貌的影响[J];稀有金属;2006年02期
9 张天瑜;;基于单片机的脉冲电源控制系统设计[J];南宁职业技术学院学报;2008年06期
10 刘玉岭;张国华;;硅片双面研磨加工技术研究[J];电子工业专用设备;2008年12期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 屠海令;;深亚微米集成电路用硅片表面质量及缺陷工程[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
2 陈雪;汪钉崇;;单多晶太阳能硅片线痕的起因和降低方法[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
3 李宏;章钊;王倩;熊德华;程金树;;阳极键合后基片呈现黑斑原因及影响因素[A];中国硅酸盐学会玻璃分会2009年全国玻璃科学技术年会论文集[C];2009年
4 唐芳琼;;纳米包覆颗粒[A];2003年中国纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2003年
5 王方勇;朱维涛;徐礼春;;基于嵌入式实时操作系统的硅片传输系统设计[A];第三届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2005年
6 许结刚;刘振淮;王仁杰;汪钉崇;;硅片脱胶机的改进[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
7 李科技;郭体强;;对集成电路用硅抛光片局部平整度的研究[A];第十届中国科协年会论文集(四)[C];2008年
8 张美蓉;张丽;艾厚喜;王文;;参黄花颗粒抗脑缺血再灌注损伤机理研究综述[A];第一届全国麻醉药理专业委员会第二次学术会议论文集[C];2011年
9 徐鹏;祖静;李乐;;裸硅片及芯片的抗高g值冲击性能分析[A];庆祝中国力学学会成立50周年暨中国力学学会学术大会’2007论文摘要集(下)[C];2007年
10 檀柏梅;刘玉岭;赵之雯;郝子宇;周建伟;王胜利;;专用复合型表面活性剂在微电子技术中的应用[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 王佑;投资7亿美元 江苏中能逆势做硅片[N];第一财经日报;2009年
2 叶超;国内最大多晶硅企业向硅片延伸[N];中国有色金属报;2010年
3 甘泉;宁波保税区8英寸硅片彰显科技实力[N];国际商报;2009年
4 韩凤龙;速战速胜 颗粒归仓[N];周口日报;2006年
5 湖南中医药大学 赵桐先;驴胶补血颗粒——妇女保健良药[N];大众卫生报;2008年
6 杨黎峰;确保利润“颗粒归仓”[N];华中电力报;2009年
7 记者 姚剑锋;抚顺千亩水稻颗粒无收谁之过[N];新华每日电讯;2004年
8 王海玲;抢抓良机颗粒归仓[N];新乡日报;2008年
9 李亚锋郜小波 郅双燕;全力奋战三夏 确保颗粒归仓[N];焦作日报;2008年
10 徐建军;大起大落后的终端攻略[N];医药经济报;2004年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李宏;微机电系统低温阳极键合用微晶玻璃的研究[D];武汉理工大学;2008年
2 田业冰;大尺寸硅片磨削平整化理论与工艺技术的研究[D];大连理工大学;2007年
3 霍凤伟;硅片延性域磨削机理研究[D];大连理工大学;2006年
4 杨卫平;超声椭圆振动—化学机械复合抛光硅片技术的基础研究[D];南京航空航天大学;2008年
5 彭锦雯;原子转移自由基聚合(ATRP)在多功能硅(100)表面改性材料制备中的应用[D];复旦大学;2005年
6 张蕴慧;复方桑仙颗粒治疗中老年高血压病的临床和实验研究[D];山东中医药大学;2001年
7 徐向青;桑仙颗粒对中老年高血压病患者生活质量的影响及肾保护作用的研究[D];山东中医药大学;2003年
8 王家辉;紫癜颗粒治疗慢性原发性血小板减少性紫癜方证相关性的实验研究[D];北京中医药大学;2004年
9 杨献平;钻井液固液动压分离及固液两相流运动规律研究[D];西南石油学院;2004年
10 刘路宏;优糖明颗粒对糖尿病视网膜病变非增殖期作用的实验研究[D];成都中医药大学;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 肖哲;晶圆级机械致单轴应变Si技术研究[D];西安电子科技大学;2010年
2 鲁红升;深部调驱颗粒的合成、表征及评价[D];西南石油学院;2005年
3 姚雪莲;银仙通肺宝颗粒的药学及药效学研究[D];湖北中医学院;2004年
4 崔增柱;在线颗粒度检测系统的研究与开发[D];浙江大学;2004年
5 丁英平;产妇康颗粒工艺及质量标准研究[D];湖北中医学院;2005年
6 马宝霞;TiB_2-TiC颗粒增强镁基复合材料的制备[D];吉林大学;2005年
7 郭建友;生慧颗粒对β-淀粉样蛋白所致Alzheimer病大鼠的作用及其机制研究[D];浙江中医学院;2003年
8 陈朝平;增强型脉冲离子源的研制[D];西安工业大学;2006年
9 司马媛;激光清洗硅片表面颗粒沾污的试验研究[D];大连理工大学;2006年
10 张胜利;超精密磨削硅片表层损伤检测的试验研究[D];大连理工大学;2006年
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