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《半导体技术》 2001年05期
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高性能高温压力传感器

刘艳艳  姚素英  张生才  张维新  毛赣如  曲宏伟  
【摘要】:研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿。通过研 究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量硅杯的工艺 条件。通过优化掺杂浓度,改善了传感器的温度特性,基本上实现自补偿。测试结果表明,多晶硅压力传感器 综合精度达0.l%~0.2%FS,灵敏度温度系数绝对值小于3 × 10-4/℃,有广阔的应用前景。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前4条
1 徐肯,王绍清,冯勇建;MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试[J];半导体技术;2004年11期
2 庞科,张生才,姚素英,张为;多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿[J];传感技术学报;2004年01期
3 崔光浩;闻化;雷钢;张爱平;;高精度无油封压力传感器设计[J];传感器与微系统;2006年11期
4 刘永民;张新江;鲍文辉;马腾云;;测井压力计刻度原理和数据处理方法[J];石油仪器;2006年06期
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 段鹏;小型制冷装置柔性实验平台的研制[D];杭州电子科技大学;2009年
2 李敬涛;电容压力变送器的密封性研究及网络化接口技术[D];华南理工大学;2011年
3 谢医华;多晶硅压力传感器的开发技术研究[D];暨南大学;2004年
4 杨国锋;机电产品BIT设计中传感器选择与优化技术的研究[D];国防科学技术大学;2003年
5 颜鹰;MEMS高温压力传感器若干关键技术的研究[D];华中科技大学;2005年
6 郑雁公;基于表面微机械加工的高灵敏度压力传感器研究[D];沈阳工业大学;2009年
7 张时华;高温低气压动态压力测试研究方法及实现[D];中北大学;2008年
8 井云鹏;基于高温高精度压力传感器的数据融合技术研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张维新,毛赣如,姚素英,曲宏伟;多晶硅压力传感器[J];天津大学学报;1996年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新;一种新型单晶硅SOI高温压力传感器[J];传感技术学报;2002年04期
2 崔虹云;张海丰;吴云飞;;Al金属多晶硅纳米膜欧姆接触的制作[J];佳木斯大学学报(自然科学版);2009年05期
3 张为,姚素英,刘艳艳,王涌萍,阎富兰,田莉萍,牛秀文;四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用[J];微电子学;2001年06期
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 陆学斌;多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 孙瑞;100KPa多晶硅纳米膜压力芯片研究[D];沈阳工业大学;2011年
2 谢医华;多晶硅压力传感器的开发技术研究[D];暨南大学;2004年
3 王健;多晶硅纳米薄膜压力传感器设计[D];沈阳工业大学;2009年
4 崔林;多晶硅纳米薄膜MEMS力敏结构研究[D];沈阳工业大学;2009年
【同被引文献】
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1 孙俊峰;石霞;;PECVD SiO_2薄膜内应力研究[J];半导体技术;2008年05期
2 揣荣岩;刘晓为;霍明学;宋明浩;王喜莲;潘慧艳;;掺杂浓度对多晶硅纳米薄膜应变系数的影响[J];半导体学报;2006年07期
3 陈明;邱超凡;;基于MSP430单片机的气象观测仪数据处理系统[J];兵工自动化;2008年07期
4 武庄,何新贵;用遗传规划法确定最佳故障隔离策略[J];兵工学报;2000年04期
5 王洪业,安志超;离子束溅射薄膜压力传感器[J];传感技术学报;1993年02期
6 孟令昆,曹兆臣;一种扩散硅压力传感器温度补偿方法——漂移电流源外补偿法[J];传感技术学报;1997年01期
7 沈桂芬,吴春瑜,姚朋军,杨学昌,刘兴辉,吕品,高嵩;各向异性腐蚀技术研究与分析[J];传感技术学报;2001年02期
8 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新;一种新型单晶硅SOI高温压力传感器[J];传感技术学报;2002年04期
9 马丽杰;溅射型应变计与压力变送器[J];传感器技术;1989年03期
10 孙生才,薛垂荫,徐民宗,徐哲尧;NTC微珠状热敏电阻的各种应用[J];传感器技术;1990年06期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 高飞;高洪涛;;故障诊断技术在制冷系统中的应用[A];中国制冷学会第十七次团体会员大会暨第五届全国食品冷藏链大会论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 刘严岩;多传感器数据融合中几个关键技术的研究[D];中国科学技术大学;2006年
2 方晓柯;现场总线网络技术的研究[D];东北大学;2005年
3 潘柳萍;液压连续升降系统关键技术研究[D];同济大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 吴国锋;两种铸造温度对铸接式衔铁的影响比较[D];第四军医大学;2001年
2 闫爱云;制冷系统故障预测与诊断方法研究[D];西安科技大学;2005年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 张晓莉;陈水金;;耐高温压力传感器研究现状与发展[J];传感器与微系统;2011年02期
2 谢胜秋;姚东媛;张丽新;邹向光;;有限元仿真在硅-蓝宝石高温压力传感器双膜片设计上的应用[J];计量与测试技术;2010年04期
3 刘海松;吴杰长;杨国才;陈国钧;;船舶机舱监控系统BIT设计方法研究[J];机械与电子;2012年07期
4 陈玉光;张青;;一种新型陶瓷压阻式传感器的有限元分析[J];数字技术与应用;2010年05期
5 唐力强;李民强;陈建群;李鹏;;基于厚膜技术的双电容陶瓷压力传感器[J];仪表技术与传感器;2006年07期
6 孟超;赵玉龙;赵立波;王新波;刘元浩;;MEMS耐高温压力传感器封装工艺[J];仪表技术与传感器;2009年09期
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 郭秋芬;微型梳状线振动陀螺仪特性及干扰因素影响的研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
2 陆学斌;多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前8条
1 孙瑞;100KPa多晶硅纳米膜压力芯片研究[D];沈阳工业大学;2011年
2 刘鹏飞;LC谐振式耐高温加速度传感器的设计[D];中北大学;2011年
3 刘鑫;集成薄膜型气体传感器的研究[D];黑龙江大学;2006年
4 段燕军;负荷传感器温度特性的试验问题研究[D];吉林大学;2007年
5 沈亲沐;装备系统级测试性分配技术研究及应用[D];国防科学技术大学;2007年
6 栾梦姣;高温条件下MEMS微构件动态特性测试技术研究[D];大连理工大学;2009年
7 胡鹏;煤层瓦斯抽放钻孔单向流动负压分布规律的研究[D];河南理工大学;2009年
8 廖丽华;电子皂膜流量计的研究与设计[D];吉林大学;2010年
【相似文献】
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1 刘洪,姚素英,曲宏伟,张生才,张维新,毛赣如;TMAH在压力传感器制作中的应用[J];电子科技大学学报;2000年06期
2 李育刚,姚素英,张生才,赵毅强,张为,张维新;一种新型单晶硅SOI高温压力传感器[J];传感技术学报;2002年04期
3 ;面向石化等重要行业的MEMS压力传感器[J];中国制造业信息化;2005年11期
4 沈桂芬,姚朋军,张宏,刘玲,张宏庆,范军;TMAH腐蚀液的研究[J];微电子学与计算机;2003年10期
5 张书玉,张维连,张生才,姚素英;SOI高温压力传感器的研究现状[J];河北工业大学学报;2005年02期
6 王权,丁建宁,王文襄,范真;高温压力传感器温度漂移补偿研究[J];传感器技术;2005年02期
7 赵永林,公茂法,孙晨;一种温度自补偿光电转换电路[J];山东矿业学院学报;1995年01期
8 杨进成;温度自补偿微波测厚传感器的研制[J];厦门大学学报(自然科学版);1988年02期
9 刘晓为,张国威,刘振茂,郭青,高家昌,范茂军,段治安,崔光浩;多晶硅高温压力传感器[J];传感器技术;1990年05期
10 罗元,李向东,付红桥,黄尚廉;MEMS工艺中TMAH湿法刻蚀的研究[J];半导体光电;2003年02期
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1 邱召运;刘其涛;姜广东;;线性差分霍尔组件与霍尔电流传感器模型研究[A];2010振动与噪声测试峰会论文集[C];2010年
2 耿自钦;杨继红;;康铜合金与温度自补偿应变计[A];首届全国称重技术研讨会论文集[C];1999年
3 蔡绍松;董燕;;箔式电阻应变计的研制及应用技术简介[A];首届全国称重技术研讨会论文集[C];1999年
4 张铭;杨德兴;;一种光纤光栅式飞机驾驶杆力传感器[A];2011西部光子学学术会议论文摘要集[C];2011年
5 王仲生;王育才;;转子碰摩力学特征及其监控技术研究[A];第九届全国结构工程学术会议论文集第Ⅲ卷[C];2000年
6 尹福炎;;电阻应变式测力与称重传感器技术的回顾——纪念电阻应变式测力与称重传感器诞生70周年[A];称重科技——第九届称重技术研讨会论文集[C];2010年
7 王跃川;冯宗材;赵凌;陈波;杜春蕾;;微光学用超支化聚酯光致抗蚀剂[A];第五届中国辐射固化年会论文集[C];2001年
8 谭彬;冯美玲;邹国栋;黄小荥;;离子热合成单一手性配位聚合物[A];中国化学会第28届学术年会第8分会场摘要集[C];2012年
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1 丛林;美国三开高层访锡[N];无锡日报;2008年
2 首席记者 齐泽萍;我省3项目获得今年国家973计划专项资助[N];山西经济日报;2010年
3 本报记者 路云;杉杉:以新材料成就高科技板块[N];中国高新技术产业导报;2003年
4 韩富斌;我省22项科技成果获国家科学技术奖励[N];陕西日报;2007年
5 蔡莉莉;杉杉高科技多元产业化基地初具规模[N];科技日报;2004年
6 通讯员 唐江 潘培波;依靠自主创新占据市场高端[N];汉中日报;2007年
7 苏菁;昆山42家民企西安招才[N];苏州日报;2007年
8 陈新;昆山市联手西安高校[N];西安日报;2007年
9 刘晓明;国家计委组织实施新型电子元器件专项[N];中国电子报;2002年
10 ;800吨锂离子负极材料项目工程启动[N];中国有色金属报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 罗元;光通信MEMS光开关关键技术的研究[D];重庆大学;2003年
2 何俊;分布式光纤传感系统关键技术研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
3 闫社平;硅纳米线的机电特性研究[D];浙江大学;2011年
4 钱江波;谐振腔介质微扰技术测量蒸汽湿度的理论与实验研究[D];华北电力大学;2012年
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1 李叶;高温压力传感器的特性测试技术研究[D];中北大学;2012年
2 韩晓亮;SiC高温压力传感器[D];西安电子科技大学;2001年
3 许小荣;三室两膜电解法制备四甲基氢氧化铵研究[D];郑州大学;2012年
4 海涛;SIMOX高温压力传感器的技术研究[D];哈尔滨理工大学;2004年
5 徐淑霞;多晶硅高温压力传感器设计[D];沈阳工业大学;2003年
6 许高攀;用于光纤通信的MEMS光开关[D];厦门大学;2002年
7 张书玉;SOI高温压力传感器的研究[D];河北工业大学;2006年
8 林立军;基于超声技术的气体温度测量方法的研究[D];燕山大学;2004年
9 贾以律;银杏叶中烷基酚的甲基衍生化气相色谱法测定研究[D];浙江工业大学;2008年
10 曹正军;MEMS后处理中体硅腐蚀的芯片保护[D];东南大学;2006年
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