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《半导体技术》 2000年05期
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电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性

孙以材  范兆书  孙新宇  宁秋凤  
【摘要】:根据有限厚度样品体电阻率和薄层电阻两种测试方法间的厚度修正系数的相关性,论证了其边缘效应修正系数具有一一对应的严格的相等性。通过实验予以证明,并可将这一结论应用于非圆心点测试。

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