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《半导体技术》 2000年05期
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电阻率两种测试方法间几何效应修正的相关性

孙以材  范兆书  孙新宇  宁秋凤  
【摘要】:根据有限厚度样品体电阻率和薄层电阻两种测试方法间的厚度修正系数的相关性,论证了其边缘效应修正系数具有一一对应的严格的相等性。通过实验予以证明,并可将这一结论应用于非圆心点测试。

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【引证文献】
中国期刊全文数据库 前9条
1 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
2 王静,孙以材,刘新福;利用多项式拟合规范化方法实现范德堡函数的高精度反演[J];半导体学报;2003年08期
3 李新义;杜楠;冯长杰;庞宇;李晓刚;;用电阻法测试45钢在硫酸中的腐蚀深度[J];材料保护;2010年07期
4 李艳红;;一种数字化智能四探针测试仪的设计[J];电子世界;2012年12期
5 晏敏,彭楚武,黎福海,曾健平,赵冯;智能四探针电阻率测试仪的研制[J];湖南大学学报(自然科学版);2005年05期
6 孙以材;王伟;屈怀泊;;四探针电阻率微区测量改进的Rymaszewski法厚度修正[J];纳米技术与精密工程;2008年06期
7 贡涛;祝宝军;陶颖;唐元洪;王平;;自蔓延高温合成La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3热处理工艺研究[J];热加工工艺;2007年08期
8 谢莉莉;汪鹏;;电阻率测量技术研究[J];高等职业教育(天津职业大学学报);2007年05期
9 刘弘逸;;利用方形四探针技术测量硅基片薄膜电阻的研究[J];现代仪器;2009年03期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)'2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
2 谢莉莉;汪鹏;;四探针法在半导体测试技术中的应用[A];第二十届中国(天津)’2006IT、网络、信息技术、电子、仪器仪表创新学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
2 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
3 谈发堂;银填充导电胶中表面与界面研究[D];华中科技大学;2006年
4 郭俊福;宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D];中国科学技术大学;2008年
5 刘萍云;原位聚合聚苯胺层层自组装膜的制备及其敏感性能研究[D];国防科学技术大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 罗辉;四探针智能测试仪的研发[D];杭州电子科技大学;2010年
3 赵晓然;表征薄层电阻的Mapping技术研究[D];河北工业大学;2011年
4 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
5 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
6 晏敏;智能四探针电阻率测试仪研究及开发[D];湖南大学;2005年
7 李晨山;半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用[D];河北工业大学;2007年
8 田建来;液体电阻率测试仪的研发[D];河北工业大学;2007年
9 谢辉;大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究[D];河北工业大学;2007年
10 梅冰;银—铜复合粉的制备及性能研究[D];华中科技大学;2006年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 周全德,赵向娅,孙月珍;直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法[J];半导体技术;1993年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董苏;蔡云凯;;半导体材料测试技术的现状[J];阳光能源;2009年03期
2 李国强,华慧,介万奇;CdZnTe晶片的红外透过率研究[J];半导体光电;2003年04期
3 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
4 张志勤;李胜华;张秀丽;;扩展电阻技术测试外延片外延厚度误差分析[J];半导体技术;2008年10期
5 任献普;刘新福;黄宇辉;柳春茹;赵晓然;赵丽敏;;基于EIT技术的微区薄层电阻测试系统研究[J];半导体技术;2009年10期
6 石俊生,孙以材;方块电阻测试中的有限元理论[J];半导体情报;1996年06期
7 陈畅生,曾繁清,熊传铭,沈学础;硅中氧的结构组态及热扩散行为[J];半导体学报;1991年08期
8 戴显英,张鹤鸣,王伟,胡辉勇,吕懿,舒斌;应变Si_(1-x)Ge_x材料掺杂浓度的表征技术[J];半导体学报;2003年09期
9 张艳辉,孙以材,刘新福,陈志永;斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术[J];半导体学报;2004年06期
10 曾冬梅,王涛,介万奇;碲锌镉晶片中位错与Te沉淀的透射电子显微分析[J];半导体学报;2005年09期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 张鹏;黄云;李斌;;PHEMT器件界面态分析方法[A];2007'第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李蛟;PEDOT:PSS薄膜的掺杂改性及其在有机太阳能电池中的应用研究[D];中国海洋大学;2010年
2 季梅;氧化钆掺杂对氧化铪高K栅介质氧空位抑制作用及电学性能研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
3 秦艳丽;硅基薄膜的制备及其在锂离子电池中的应用[D];兰州大学;2011年
4 杨超;聚吡咯基导电复合材料的制备及其性能研究[D];兰州大学;2011年
5 马格林;一种新的SiC外延材料质量评估方法[D];西安电子科技大学;2011年
6 鲁林峰;太阳电池用ZnO:Al和β-FeSi_2薄膜材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 刘祖明;晶体硅太阳电池及其电子辐照研究[D];四川大学;2002年
8 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
9 袁剑峰;酞菁铜有机场效应晶体管器件性能的研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
10 贾莉;低成本制备氧化锆薄膜燃料电池的研究[D];大连理工大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张亚萍;锗单晶片的表面化学腐蚀研究[D];浙江理工大学;2010年
3 吴东;Ca-Co-O体系氧化物热电材料的制备与性能研究[D];昆明理工大学;2008年
4 齐栋博;高频光电导衰减法少子寿命测试仪设计[D];沈阳工业大学;2011年
5 张磊;脉冲激光沉积氮化硅薄膜的工艺研究[D];武汉理工大学;2011年
6 张俊双;磁控溅射法制备AZO透明导电薄膜及其性能研究[D];暨南大学;2011年
7 李苗苗;空间GaAs太阳能电池用Ge单晶的位错形态及硬度研究[D];北京有色金属研究总院;2010年
8 王小娜;Gd_2O_3掺杂HfO_2高k栅介质的制备与击穿特性研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
9 黄剑;氧化铜纳米棒的制备、改性及其复合材料的研究[D];兰州理工大学;2011年
10 张富;CCD MOS表界面结构特性与工艺及环境应力的关系研究[D];电子科技大学;2011年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 彭少方,张昭;化学还原法制备纳米金属粉的几点考虑[J];四川有色金属;2003年02期
2 吕建国,叶志镇,汪雷;ZnO薄膜紫外受激发射研究的最新进展[J];半导体光电;2002年03期
3 杨丽卿;三探针法测量硅外延材料电阻率的局限性[J];半导体技术;1987年03期
4 周全德,赵向娅,孙月珍;直排四探针电阻率硅圆片非圆心点直径修正因子F_2的简易求法[J];半导体技术;1993年04期
5 何德湛;C-V技术及其在半导体工艺检测上的应用[J];半导体技术;2000年03期
6 孙以材,王静,赵彦晓,田立强,刘江;动态随机存储器IC芯片制造技术的进展与展望[J];半导体技术;2002年12期
7 刘新福,孙以材,刘东升;四探针技术测量薄层电阻的原理及应用[J];半导体技术;2004年07期
8 徐远志,晏敏,黎福海;数字化智能四探针测试仪的研制[J];半导体技术;2004年08期
9 钱敏;刘蓓;辛煜;;准静态C-V法测量硅表面态密度分布及数据处理[J];半导体技术;2007年07期
10 张志勤;李胜华;张秀丽;;扩展电阻技术测试外延片外延厚度误差分析[J];半导体技术;2008年10期
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 蒋亚东;电子聚合物气、湿敏特性及机理研究[D];电子科技大学;2001年
2 徐桂芝;基于EIT技术的脑内电特性与功能成像研究[D];河北工业大学;2002年
3 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
4 徐管鑫;电阻抗成像技术理论及应用研究[D];重庆大学;2004年
5 郭俊福;宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D];中国科学技术大学;2008年
6 李勇平;基于改进粒子群神经网络的电信业务预测模型研究[D];华南理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
2 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
3 张继国;片状银粉的制备工艺研究[D];华中科技大学;2005年
4 李晨山;半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用[D];河北工业大学;2007年
5 谢辉;大型硅片内微区薄层电阻均匀性测试技术研究[D];河北工业大学;2007年
6 苏双臣;用四探针法测试硅片微区薄层电阻的稳定性研究[D];河北工业大学;2006年
7 徐仁伯;多功能半导体材料测试仪的设计[D];湖南大学;2008年
8 陈金明;人工神经网络在电子设备自动控制方面的研究与应用[D];电子科技大学;2008年
9 王勇;高压共轨电控柴油机神经网络轨压控制研究[D];大连理工大学;2008年
10 秦涛;半绝缘SiC单晶材料的电学参数测试研究[D];西安电子科技大学;2009年
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 吴涛;;镍离子对聚苯胺性能的影响[J];工程塑料应用;2010年07期
2 赵英伟;庞克俭;;Kelvin四线连接电阻测试技术及应用[J];半导体技术;2005年11期
3 于信明;崔玉兴;;GaAs工艺监测研究[J];半导体技术;2011年07期
4 吴蕾;居冰峰;杨春晖;林军;;微纳薄膜器件的电阻率精确测量方法[J];半导体技术;2012年07期
5 刘新福,孙以材,刘东升,陈志永,张艳辉,王静;无测试图形薄层电阻测试仪及探针定位[J];半导体学报;2004年02期
6 李宏力;孙以材;王伟;Harry Hutchinson;;Neurocomputing van der Pauw function for the measurement of a semiconductor's resistivity without use of the learning rate of weight vector regulation[J];半导体学报;2011年12期
7 高莹;孟庆云;;室温下金属铝膜的霍尔效应初步研究[J];北京化工大学学报(自然科学版);2012年02期
8 林翠;赵晴;杜楠;张三平;冯长杰;;碳钢在混凝土模拟溶液中的腐蚀测试研究[J];表面技术;2010年03期
9 刘彩凤;;基于导电银浆流变特性的导线印刷品质分析与控制[J];包装工程;2009年05期
10 孙以材;宫云梅;王静;程东升;张效玮;;硅的电阻率温度系数~电阻率关系Si几种拟合方法的比较[J];传感器世界;2006年03期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 康嘉杰;徐滨士;王海斗;王成彪;;基于电学方法的再制造零部件缺陷检测与寿命预测应用基础研究[A];2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议论文集[C];2011年
2 辛智青;李路海;唐小君;汪继伟;吕越;;印刷导电膜方阻测试方法研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
3 李黎;李良福;覃彬全;程正学;林涛;;降阻剂电阻率及工频耐流自动测试仪[A];S13 第十届防雷减灾论坛——雷电灾害与风险评估[C];2012年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 汪鹏;半导体薄层电阻测量新方法研究[D];河北工业大学;2011年
2 赵晓华;单晶硅基LaB_6薄膜的磁控溅射制备工艺及生长机制[D];山东大学;2011年
3 刘彩凤;基于神经网络的RFID标签天线印刷品质的优化研究[D];南京林业大学;2009年
4 吕杭炳;电阻型存储器器件与工艺研究[D];复旦大学;2008年
5 丘学鹏;交换偏置磁锻炼和恢复效应研究及GMR自旋阀的制备[D];复旦大学;2010年
6 王震东;太阳电池材料CuInS_2薄膜及其纳米棒阵列研究[D];复旦大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李新义;红壤土壤腐蚀直接、连续监测技术的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 张心怡;基于稳定固溶体合金团簇模型的无扩散阻挡层Cu-Ni-Mo三元薄膜[D];大连理工大学;2010年
3 吴蕾;平面亚微米导电率精确测量及其在MEMS器件无损检测中的应用研究[D];浙江大学;2011年
4 陈园园;基于透明晶体管的SrTiO_3透明薄膜制备及其性能研究[D];西北大学;2011年
5 张冲;硅橡胶/银玻璃微珠外场作用下的导电响应行为[D];湖北工业大学;2011年
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7 李鹤;固体氧化物燃料电池合金基复合阳极材料的研究与应用[D];吉林大学;2011年
8 李春野;高压氢处理对ZnO薄膜性能的影响及SiC衬底GaN基LED的制备[D];大连理工大学;2011年
9 丁春瑞;层层自组装聚电解质薄膜的制备及其药物释放性能的研究[D];新疆大学;2011年
10 徐露露;镍包石墨复合粉末的制备及在导电硅橡胶中的应用研究[D];中南大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 宿昌厚;全域f函数及其直观表达式[J];半导体技术;1987年03期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈学全,包德修;四探针测圆形薄片电阻率的计算公式[J];半导体学报;1981年01期
2 徐远志,晏敏,黎福海;数字化智能四探针测试仪的研制[J];半导体技术;2004年08期
3 施浩;实用范德堡测量系统[J];复旦学报(自然科学版);1987年04期
4 张艳辉,孙以材,刘新福,陈志永;斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术[J];半导体学报;2004年06期
5 何华春;刘雄;邓世隆;;贵金属电阻率的精确测量[J];贵金属;1983年03期
6 袁隐;李达汉;;硅单晶电阻率标准样片的稳定性实验研究[J];计量技术;1987年01期
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8 桂力敏;汪宗禹;范焕章;孙沩;;用测试图形和正方阵列机械四探针研究硅单晶电阻率的均匀性[J];上海有色金属;1983年01期
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10 张鸿祥,富乃成,贺场;全自动四探针电阻率测试装置[J];半导体技术;1989年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 汤洪志;包勋;马勇胜;王蔚;杨再立;郭晶;;LQC-Ⅱ型三维电阻率测量系统简介[A];中国地球物理学会第二十七届年会论文集[C];2011年
2 储昭坦;王克协;盛利民;邓乐;苏义脑;;随钻测井中近钻头电阻率测量方法研究[A];中国地球物理学会年刊2002——中国地球物理学会第十八届年会论文集[C];2002年
3 安金珍;修济刚;陈峰;陈大元;;实验室用高精度岩石电阻率自动测量系统分析[A];1994年中国地球物理学会第十届学术年会论文集[C];1994年
4 沈晓红;张玉林;;一种新型熔铝电阻率测量装置[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(下)[C];2001年
5 汤洪志;刘庆成;龚育龄;徐飞;姚小虹;肖劲;;三维电阻率测量方法试验研究[A];资源、环境与工程电法勘探方法技术交流会论文集[C];2003年
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7 莫撼;;水平二层介质甚低频数据的迭代反演[A];1996年中国地球物理学会第十二届学术年会论文集[C];1996年
8 刘迪仁;徐建华;;金属套管对地层电阻率测量的影响[A];1996年中国地球物理学会第十二届学术年会论文集[C];1996年
9 陈大元;修济刚;安金珍;陈峰;;单轴压力下有补给水岩石电阻率变化各向异性研究[A];1994年中国地球物理学会第十届学术年会论文集[C];1994年
10 秦绪英;;电阻率测量中泥浆侵入影响校正方法研究[A];油气地球物理实用新技术——中国石化石油勘探开发研究院南京石油物探研究所2005年学术交流会论文集[C];2005年
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1 姜小毛杨章跃;东华理工大获核能国际合作项目[N];中国化工报;2008年
2 ;挑战世界级难题的人[N];中国石油报;2004年
3 本报记者 王金法 通讯员 胡先锋;复杂油气藏开发又增“新式武器”[N];中国石化报;2005年
4 记者 吴天鹏;地质研究所黄金发挥“人才方阵”作用[N];人民武警;2006年
5 袁明德;堤坝走一遭 隐患全知晓[N];中国水利报;2003年
6 毛磊;快速探测地下污染物新方法问世[N];中国化工报;2002年
7 周宏;地质导向钻井技术破解薄油层勘探开发难题[N];中国石油报;2007年
8 通讯员 张胜文 张萍;长城测井成功应用新过套管电阻率测井仪[N];中国石油报;2009年
9 记者 赵士振 通讯员 程强;胜利油田2009年取得228项专利授权[N];中国石化报;2010年
10 郭良杰 张涛 吕建军;过套管电阻率测井提高油田动态监测水平[N];中国石化报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘新福;结合图像分析的微区薄层电阻四探针测试技术研究[D];河北工业大学;2003年
2 夏欣;基于电阻率测量的海床蚀积过程原位监测技术研究[D];中国海洋大学;2009年
3 郭俊福;宽禁带半导体器件的研制及其测量技术[D];中国科学技术大学;2008年
4 吕伟国;水平井中感应测井、电磁波测井测量响应研究[D];吉林大学;2009年
5 鲍思前;La填充Skutterudite热电材料的制备、结构及性能研究[D];华中科技大学;2006年
6 程希;套管井电阻率测井技术研究及在油藏监测中的应用[D];西北大学;2009年
7 吴宝嘉;钙系二元化合物CaS和CaSe的高压电学性质研究[D];吉林大学;2011年
8 彭刚;高压下原位电学测量的误差及新的测量方法[D];吉林大学;2011年
9 韩永昊;金刚石对顶砧上原位电导率测量方法[D];吉林大学;2005年
10 于生宝;不接触电极探测方法及仪器研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王静;结合图像分析的四探针测试系统研究[D];河北工业大学;2003年
2 张艳辉;图像识别在微区四探针测试技术中的应用[D];河北工业大学;2004年
3 徐仁伯;多功能半导体材料测试仪的设计[D];湖南大学;2008年
4 李岩;CaB_4及Bi_2Sr_2CoO_(6+x)高压下的电输运性质及结构相变[D];吉林大学;2009年
5 王海洋;非晶材料电特性测量和温度控制系统的设计[D];兰州理工大学;2009年
6 王一楠;基于虚拟仪器的自动化薄膜电阻率测量系统研究[D];华中科技大学;2008年
7 田霖;过套管技术在深井地层探测系统中的应用研究[D];武汉理工大学;2009年
8 杨帆;一款半导体材料电阻率测量的恒流源系统设计[D];西安电子科技大学;2009年
9 王月;高压下CdS、PbSe和PbTe的电学性质及其可逆相变的研究[D];吉林大学;2007年
10 徐庆岩;过渡金属掺杂ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质研究[D];苏州大学;2009年
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