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《半导体技术》 2000年04期
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二氧化硅和氮化硅薄膜的等离子汽相淀积与应用

崔进炜  
【摘要】:开发了一种全新的等离子增强化学汽相淀积氧化硅和氮化硅薄膜制作技术,并首次将其成功地用于半导体功率器件芯片的钝化工艺,提高和保证了器件的性能和可靠性。
【作者单位】西安卫光电工厂!西安710065
【分类号】:TN304

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【引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 祝洪良;硅片氮气直接氮化的动力学和机理研究[D];浙江大学;2003年
2 潘洪哲;β相氮化硅材料的第一性原理研究[D];四川师范大学;2006年
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈大鹏,叶甜春,谢常青,李兵,赵玲莉,韩敬东,胥兴才;LPCVD制备纳米硅镶嵌结构氮化硅膜及其内应力[J];半导体学报;2001年12期
2 李新贝;张方辉;牟强;;等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响[J];材料保护;2006年07期
3 黄绍春;江永清;叶嗣荣;郭林红;刘晓芹;赵珊;;干氧SiO_2的氢氟酸缓冲腐蚀研究[J];桂林电子科技大学学报;2006年05期
4 朱晓辉;;二氧化硅基波导薄膜的制备方法综述[J];现代技术陶瓷;2006年02期
5 王永珍,龚国权,崔敬忠;二氧化硅薄膜的制备及应用[J];真空与低温;2003年04期
6 韩阶平,侯豪情,邵逸凯;适用于剥离工艺的光刻胶图形的制作技术及其机理讨论[J];真空科学与技术学报;1994年03期
7 王占国;纳米半导体材料及其纳米器件研究进展[J];半导体技术;2001年05期
8 叶超,宁兆元,项苏留,沈明荣,汪浩,甘肇强;微波电子回旋共振-化学气相沉积SiN_x薄膜的光学性能研究[J];光学学报;1997年04期
9 庄大明,刘家浚,李文治,朱宝亮, 张绪寿,张平余;工艺因素对离子束增强沉积氮化硅薄膜组成与结构的影响[J];摩擦学学报;1995年02期
10 庄汉锐,华道权,徐素英,刘宝国,符锡仁;硅粉在高氮压下氮化的研究[J];无机材料学报;1989年02期
【二级引证文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 丁迎春;γ-Si_3N_4材料第一性原理研究[D];四川师范大学;2007年
2 韩俊华;合成氮化硅与氮化硅铁的热力学分析与实验研究[D];西安建筑科技大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;一种带保护环的平面InGaAsP APD[J];半导体光电;1982年01期
2 G.R.Antell ,R.F.Murison ,程泰平;用二氧化硅钝化InGaAs/InP台面光电探测器[J];半导体光电;1985年02期
3 井上洁 ;李明辉;;连载4 金属加工的新方法——高能密度加工法综述[J];电子工艺技术;1987年04期
4 ;银的节约和回收[J];电子工艺技术;1987年Z1期
5 钱国森;烧结点试验仪结构和控制系统的改进设计[J];江苏大学学报(自然科学版);1989年03期
6 骆之恬;;顺口溜里的学问——编余随想之一[J];编辑之友;1989年05期
7 ;来函照登[J];机械工人.冷加工;1989年02期
8 Takashi Unagami;赵伟;;电子回旋共振等离子氢钝化的高性能多晶硅薄膜晶体管[J];光电子技术;1990年03期
9 ;电阻器涂层[J];真空电子技术;1990年01期
10 杨德清;陈尔纲;;W[111]场发射尖端的制作与使用[J];电子显微学报;1992年06期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 施慧聪;俞松波;施惠生;;利用硫离子固结水泥基材料中的重金属[A];建筑新技术研讨会论文集[C];2005年
2 马厚义;张进涛;潘伟;陈慎豪;;电化学振荡与孔蚀之间关系的研究[A];2006年全国腐蚀电化学及测试方法学术会议论文集[C];2006年
3 王志林;章小鸽;杜荣归;林昌健;;金属单质Bi对锌电极在浓KOH溶液中电化学行为的影响[A];2006年全国腐蚀电化学及测试方法学术会议论文集[C];2006年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 海南北证 马波;指标钝化提示见顶[N];财经时报;2000年
2 化冰;新闻敏感钝化的产生与校正[N];中国新闻出版报;2001年
3 本报记者 魏璇;降息弊大于利 渐成市场共识[N];财经时报;2002年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 徐海阳;掺杂ZnO薄膜及ZnO基异质结发光器件研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 陈世建;氧化锌低维纳米结构的制备及发光研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 程文婷;低聚物对硝酸铵钝化改性的研究[D];南京理工大学;2005年
2 肖书虎;聚苯胺对铁基金属的伽伐尼阳极保护效应[D];武汉大学;2005年
3 顾爱玲;黄铜表面钝化处理与耐环境腐蚀研究[D];华中科技大学;2005年
4 卜雪涛;碱性锌空气电池负极性能研究[D];河北工业大学;2006年
5 胥钧耀;镁合金化学镀镍[D];重庆大学;2005年
6 顾娟;某些化肥对农用硝酸铵的钝感化改性研究[D];南京理工大学;2006年
7 吕雪飞;H62铜合金稀土钝化膜制备及性能研究[D];大连理工大学;2006年
8 陈俊;CdZnTe晶体的表面处理和钝化研究[D];四川大学;2006年
9 黄燕华;高性能硅基发光材料及硅MSM结构光电探测器的研制[D];厦门大学;2006年
10 王媛媛;铝基电镀铅锡合金轻型板栅的制备及性能研究[D];天津大学;2006年
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