收藏本站
《半导体技术》 1999年05期
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

半导体厂超净供气系统

梁国仑  余京松  
【摘要】:介绍了集成电路制造用的电子气体中粒子控制规范、供气系统用的材料及其处理技术、供气管路和配件技术、粒子过滤及计数技术

【引证文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 梁国仑,余京松;国外电子气体技术进展[J];半导体技术;2001年02期
2 瞿陆辉;;半导体、TFT及光伏企业生命安全系统设计[J];黑龙江科技信息;2011年05期
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 陈鹰;论半导体生产用气体配管工程的风险管理[D];华东理工大学;2011年
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 西川幸伸;半导体制造用气供给系统及过滤器[J];低温与特气;1996年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 瞿陆辉;;半导体、TFT及光伏企业生命安全系统设计[J];黑龙江科技信息;2011年05期
【同被引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 彭志辉,黄其煜;半导体代工厂的特气供应系统探讨[J];半导体技术;2005年08期
2 林鹰,程线;基于InTouch系统的毒害气体监控系统的分析与设计[J];重庆交通学院学报;2005年02期
3 西川幸伸;半导体制造用气供给系统及过滤器[J];低温与特气;1996年03期
4 刘冬梅,陈志勇,周玉斌;建筑工程项目施工中的风险管理[J];福建建筑;2003年03期
5 安忠,朱烁,李卓伟;工程项目的风险分析与管理[J];中国港湾建设;1999年01期
6 唐斌斌,安义中;浅议工程项目的风险管理[J];广西工学院学报;2004年01期
7 束少华;施工项目风险的分析与预防[J];建筑管理现代化;2002年04期
8 尹志军,陈立文,王双正,苏春生;我国工程项目风险管理进展研究[J];基建优化;2002年04期
9 王志;工程项目风险管理规划与控制探讨[J];基建优化;2002年06期
10 赵春玉,任志香;浅谈工程施工项目的风险管理[J];吉林水利;2004年01期
【二级引证文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 郑秋艳;王少波;李少波;李翔宇;;电子气体主要杂质分析方法综述[J];低温与特气;2008年01期
2 余京松;沃银花;张金波;;对国内硅烷生产的几点看法[J];低温与特气;2009年06期
3 林宇巍;;SEMI标准关于电子气分析方法概述[J];质量技术监督研究;2011年03期
4 郑秋艳;王少波;李翔宇;;电子气体分析方法综述[J];舰船防化;2008年04期
5 应松;;关于电子气体中金属粒子测定方法的探讨[J];气体分离;2012年02期
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 郭世菊;硒化氢的合成工艺及硒化氢气体标准物质研究[D];北京化工大学;2008年
2 马宪超;微量气体混合控制系统的研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 谢卫;通信电缆供气系统的节能技术[J];能源技术;2004年06期
2 曲丹丹,薛剑英,罗诗金,王学忠;可用于汽油中微粒检测的LJ150粒子计数器[J];现代仪器;2004年02期
3 顾芳;杨娟;卞保民;贺安之;;用粒子计数法测量颗粒物质量浓度[J];激光技术;2007年04期
4 顾芳;于晓;王春勇;卞保民;贺安之;;测量质量浓度的光学粒子计数器的标定方法[J];红外与激光工程;2007年S1期
5 杨娟;顾芳;卞保民;陆建;;光强均匀度与标准粒子信号分布关系研究[J];红外与激光工程;2007年S1期
6 吴长春,张鹏,蒋方美;输气管道仿真软件及其在供气调峰中的应用[J];石油工业技术监督;2005年05期
7 陈霖新;半导体生产用高纯气体供应系统[J];洁净与空调技术;2002年04期
8 何凤有;鲍卫宁;汤瑒;刘西超;;基于模糊PID控制器的空压机恒压供气系统的设计[J];工矿自动化;2010年01期
9 张洪度;于波;任建世;付鸿玉;张功杼;徐升美;;一种新的发射光谱光源辉光放电灯的研制[J];分析化学;1980年03期
10 刘晴晖;;PLC在轻烃燃气站自动控制系统中的应用[J];中州煤炭;2006年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王广庆;王晶;李家福;魏书杰;;海洋石油平台的仪表供气系统[A];2009年度海洋工程学术会议论文集(下册)[C];2009年
2 李学彬;韩永;徐青山;胡欢陵;;两种粒子计数器相结合来测量大气气溶胶粒子折射率虚部[A];大气气溶胶科学技术研究进展——第八届全国气溶胶会议暨第二届海峡两岸气溶胶科技研讨会文集[C];2005年
3 熊才喜;;管道天然气用户的应急供气系统[A];中国城市燃气学会LNG专业委员会2009年煤层气液化主题年会论文集[C];2009年
4 俞善东;易明华;;山区城镇CNG供气系统工艺探讨[A];中国土木工程学会城市燃气分会压缩天然气专业委员会2010年论文集(二)[C];2010年
5 王晓东;郭艳丽;;口腔设备集中供气系统的应用介绍[A];新疆医学工程学会第四届学术年会论文汇编[C];2002年
6 顾芳;于晓;王春勇;卞保民;贺安之;;测量质量浓度的光学粒子计数器的标定方法[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
7 刘俊杰;张志辉;;不同尘源对滤料计数效率测试结果的影响[A];全国暖通空调制冷2006学术年会资料集[C];2006年
8 杨娟;顾芳;卞保民;陆建;;光强均匀度与标准粒子信号分布关系研究[A];2007年先进激光技术发展与应用研讨会论文集[C];2007年
9 刘占旗;王进军;高增林;李爱武;;FH放射性气溶胶防护气衣系统[A];第四届中国核学会省市区“三核”论坛论文集[C];2007年
10 赵作志;童勇;李玉清;;4105QN天然气发动机的开发[A];加入WTO和中国科技与可持续发展——挑战与机遇、责任和对策(下册)[C];2002年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报实习记者 于亚军;液化气供气系统暴露安全隐患[N];呼和浩特日报(汉);2006年
2 驻地记者 张传友 首席记者 高淑华;金马公司积极开展天然气挖潜工作[N];盘锦日报;2008年
3 本报记者 刘思燕;找回天空的湛蓝[N];中国航天报;2002年
4 本报记者 马芳;为了让使用管道液化气的居民早日用上天然气[N];呼和浩特日报(汉);2007年
5 甘丰录 吴广华 黄锡新;船企产品助“神七”问天[N];中国船舶报;2008年
6 春秘 立民 张辉;38年最强风暴潮突袭秦皇岛[N];河北日报;2007年
7 苏建凤特约记者 徐春芳;为火炬点燃“上”双保险[N];首都建设报;2008年
8 通讯员 龚伟;“神舟”飞天 武船建功[N];中国船舶报;2002年
9 李占彬 张继成;天然气管道建设将进入新的发展期 [N];中国工业报;2005年
10 记者 窦丽娟 通讯员 边龙;大庆首条数字化输气管道建成[N];中国石油报;2009年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 顾芳;单粒子光散射法测量悬浮颗粒物质量浓度的理论模型及应用[D];南京理工大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 龚瑞;新型大流量激光粒子计数器的研制[D];南京理工大学;2012年
2 聂春飞;LR6105Q双燃料柴油机LPG供气系统应用设计[D];江苏大学;2003年
3 刘芳;天然气转换中危险源分析及安全控制的研究[D];重庆大学;2006年
4 张建灿;燃料电池空压机测试平台及供气系统的控制策略研究[D];浙江大学;2005年
5 苏鹏东;管道片式喷气织机独立供气系统的设计及仿真分析[D];浙江理工大学;2012年
6 罗义英;生物质燃气集中供气系统储气技术优化研究[D];河南农业大学;2007年
7 李威信;一户一贮槽液化石油气供气系统及安全性研究[D];浙江工业大学;2007年
8 白坤海;空压机变频及微机自动控制系统研究[D];山东大学;2006年
9 骆超;掺气试验装置的研制和掺气对空蚀作用的试验研究[D];河海大学;2007年
10 仝永德;城市震害预测信息管理系统研究[D];中国海洋大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026