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《半导体技术》 1990年02期
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十年后美国半导体技术预测

陈幼松  
【摘要】:正 不久前美国Semiconductor Interna-tional杂志为纪念创刊十周年(1979~1989),邀请各有关专家对十年后美国的半导体技术和半导体工业作了预测。主要的论点有,今后的重点将是单片系统、分子器件,硅晶片的直径将达到8~10英寸,电路设计规则将为0.1~0.3μm,净化室的清洁度将达到Class0.1。下面介绍这些专家的意见。 1.将进入清洁度Class0.1、设备为租借的时代
【作者单位】北京理工大学

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