真空微电子器件

【摘要】：正最近两年里,微电子器件家族增添了一个新成员,它是半导体技术与真空技术相结合的产物,这就是真空微电子器件或真空半导体器件.由于它具有明显的优点和潜在的应用领域,特别是它采用类似于集成电路工艺就可以制造出来,引起了美国、法国和苏联等国家的注意,并且积极地进行着这种新型器件的研究.1986年12月美国宣布制成了第一支真空FET.

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中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	廖复疆;;真空微电子器件及其应用[A];中国电子学会真空电子学分会第十一届学术年会论文集[C];1997年
2	刘卫东;郑修麟;刘云鹏;罗恩泽;;阴极材料对真空微电子器件场发射性能的影响[A];中国电子学会真空电子学分会第十届年会论文集（下册）[C];1995年
3	卢励吾;张砚华;徐遵图;徐仲英;王占国;J.Wang;WeikunGe;;RTA对应变InGaAs/GaAs单量子阱激光二极管电子发射和DX中心的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
4	朱长纯;;纳米材料及其在真空微电子器件中的应用[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
5	吴雪梅;诸葛兰剑;柳襄怀;;C、Hf薄膜抑制栅极电子发射的机理研究[A];2005年功能材料学术年会论文集[C];2005年
6	方仁昌;向伟;唐国云;樊子荣;;影响真空间隙放电的因素及效果[A];中国工程物理研究院科技年报（1998）[C];1998年
7	陈文雄;董雷;;扫描电镜中场发射电子枪透镜的象差[A];第五次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1988年
8	向嵘;陈立;李野;吴奎;姜德龙;王新;田景全;;二维电子倍增器件特性测试和系统模拟的新方法[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
9	张彤;毛福明;;高压强下电子诱导脱附的研究方法[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
10	王小霞;廖显恒;赵青兰;余晓军;张济忠;;微波管栅发射问题的研究[A];中国电子学会真空电子学分会第十三届学术年会论文集（下）[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前4条

1	朱丹;新型表面传导电子发射阴极研究[D];清华大学;2009年
2	王栋;ZnO基稀磁半导体材料的微结构及性能研究[D];武汉大学;2010年
3	廖平;行波管电子光学系统CAD技术研究[D];电子科技大学;2004年
4	高志远;极性宽禁带半导体微结构与新效应研究[D];西安电子科技大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	叶光;用于场致发射显示的MIM型电子发射结构的研制[D];福州大学;2003年
2	魏红艳;Ag、Cu、Au在同步辐射光激发下的光电子能谱实验分析[D];新疆师范大学;2012年
3	吴成昌;纳米晶体硅量子点场致发射冷阴极研究[D];天津大学;2006年
4	李建军;三极管场发射阵列的设计与制作[D];电子科技大学;2007年
5	刘恋;一种新型可折叠场致发射阴极制备工艺研究[D];武汉理工大学;2008年
6	胡太康;微波管阴极热子热特性分析[D];中国科学院研究生院（电子学研究所）;2007年
7	徐亿勇;基于氧化锡和碳双层薄膜的表面发射阴极阵列的制作[D];清华大学;2007年
8	程国新;高功率微波输出窗真空—介质界面击穿研究[D];国防科学技术大学;2008年
9	时晴暄;场发射阵列薄膜技术研究[D];电子科技大学;2007年
10	蔡南科;多孔硅微结构与应用研究[D];浙江师范大学;2010年

中国重要报纸全文数据库

前5条

1	本报记者刘肖勇通讯员刘楚珠;打造显示技术创新中心[N];广东科技报;2010年
2	记者　胡春民左延鹊;平板电视时代让东芝走开？[N];中国电子报;2007年
3	成都小英;电子管电路基础知识（七）[N];电子报;2007年
4	湖南杨先畴;实用的胆管高压延时电路[N];电子报;2003年
5	电脑商报记者袁东海;LED背光成为LCD显示器救命稻草[N];电脑商报;2008年

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