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《半导体光电》 1996年01期
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离子镀光学薄膜的等离子体物理过程

杨国伟  
【摘要】:应用等离子体物理理论研究了离子镀光学薄膜中等离子体作用过程,得到了不同偏压条件下射入基片表面的离子和电子流密度和能量,从而为离子镀膜工艺参数的正确设计提供了理论依据。
【作者单位】湘潭大学
【分类号】:O484.4

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【引证文献】
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1 赵永江;离子辅助沉积氧化物薄膜的特性分析[D];浙江大学;2005年
2 刘政;离子束技术在超低损耗薄膜中的应用[D];西安工业大学;2007年
3 陈为兰;光学薄膜应力的研究[D];浙江大学;2008年
【共引文献】
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1 彭静,张军,蹇锡高,顾彪;低温等离子体在CF/树脂基复合材料中的应用[J];工程塑料应用;1998年11期
2 邹德恕,徐晨,鲁鹏程,杜金玉,崔碧峰,舒雄文,刘莹,沈光地;射频溅射法镀LD腔面光学薄膜的工艺研究[J];半导体光电;2003年06期
3 杨国伟;高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析[J];半导体技术;1998年04期
4 朱立群,钟群鹏,杉山和夫;等离子体处理对非晶态合金镀层表面改性研究[J];北京航空航天大学学报;1998年02期
5 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[J];北京理工大学学报;2005年S1期
6 盖轲;苯胺水溶液等离子体降解中间产物的HPLC分析[J];宝鸡文理学院学报(自然科学版);2003年04期
7 戴乐阳;曹彪;曾美琴;欧阳柳章;朱敏;;用于材料表面改性的空气介质阻挡放电发射光谱研究[J];中国表面工程;2007年02期
8 褚国红;殷晓梅;李辉;张立彬;张书香;;CPP薄膜表面的氟等离子体聚合及其亲水性研究[J];表面技术;2007年06期
9 韩勇;王志义;;微弧氧化陶瓷膜的制备及形貌研究[J];山东陶瓷;2011年06期
10 庞华,葛袁静,张跃飞,张广秋;射频等离子体自偏压及其对聚合成膜的影响[J];北京印刷学院学报;2003年04期
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2 谢芬艳;胡文娟;翁静;陈强;;等离子体聚合胺基功能薄膜及其细胞吸附性研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
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4 王德禧;;低温等离子体在聚合物材料中的应用[A];2005塑料助剂生产与应用技术信息交流会论文集[C];2005年
5 阮建军;施耀;;一种新型的除臭技术——非平衡等离子体[A];中国环境保护优秀论文精选[C];2006年
6 付亚波;陈强;葛袁静;;等离子体制备低表面能薄膜性能研究[A];中国物理学会静电专业委员会第十二届学术年会论文集[C];2005年
7 解林坤;邓启平;;氧气低温等离子体脱除中密度纤维板中游离甲醛的研究[A];第二届中国林业学术大会——S11 木材及生物质资源高效增值利用与木材安全论文集[C];2009年
8 岳蕾;谢芬艳;陈强;翁静;;射频等离子体聚合类聚乙烯氧抗菌功能材料的研究[A];第十一届全国包装工程学术会议论文集(一)[C];2007年
9 张受业;王正铎;陈强;刘忠伟;刘福平;;磁增强等离子体化学气相沉积法Roll-to-Roll制备SiOx高阻隔薄膜[A];第十三届全国包装工程学术会议论文集[C];2010年
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2 依成武;新型横向极板电除尘器研究[D];江苏大学;2010年
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4 李惠娟;等离子体与CuO/TiO_2/γ-Al_2O_3催化体系协同脱除NO研究[D];浙江大学;2009年
5 王春莹;聚酯低温等离子体表面改性及喷墨印花应用性能研究[D];江南大学;2011年
6 潘巧媛;氧活性粒子注入烟气资源化脱硫脱硝研究[D];大连海事大学;2011年
7 张文超;复合半导体桥电爆特性及桥温变化的研究[D];南京理工大学;2011年
8 吕江维;硼掺杂金刚石薄膜电极的制备与性能评价[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 周圣军;大功率GaN基LED芯片设计与制造技术研究[D];上海交通大学;2011年
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1 孙海燕;微弧氧化制备功能性陶瓷膜的研究[D];长春理工大学;2010年
2 王天威;液体电极沿面放电等离子体灭活大肠杆菌的研究[D];大连理工大学;2010年
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4 那刚;线筒式脉冲电晕放电对混合VOCs降解的研究[D];大连理工大学;2010年
5 郝寅虎;等离子体改性聚乙烯浸润性的老化过程研究[D];大连理工大学;2010年
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8 吴利峰;微波氢等离子体发射光谱诊断[D];武汉工程大学;2010年
9 钟犁;滑动弧放电等离子体重整甲烷制氢的研究[D];浙江大学;2010年
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2 周克崧,袁镇海,罗广南;离子镀技术及其发展(上)[J];表面工程;1996年04期
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4 冯毓材,李哓谦,尢大纬,况元珠,王宇;光学薄膜制备用的多离子束电子束系统[J];电工电能新技术;1997年03期
5 贾克辉,徐颖,高劲松,曹健林;等离子辅助镀膜技术[J];发光学报;2002年06期
6 吴秀丽;超低损耗电介质多层膜反射镜及其应用[J];光机电信息;1996年01期
7 黄卫东,詹如娟;表面波等离子体沉积类金刚石膜结构的Raman光谱和XPS分析[J];光谱学与光谱分析;2003年03期
8 宋继鑫;国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺[J];光学技术;1994年01期
9 黄伟,张云洞;离子束辅助淀积低温微光学元件红外宽带增透膜[J];光学技术;1998年03期
10 胡文涛,范正修,刘立明;利用光热偏转技术实施光学薄膜弱吸收的多波长测量[J];光学学报;1993年05期
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