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《半导体光电》 2012年01期
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透明导电ZnO:Sn薄膜光学和电学性能的研究进展

谌夏  方亮  吴芳  阮海波  魏文猴  黄秋柳  
【摘要】:纯ZnO电阻率高,电学性能不稳定,通过掺杂其他元素提高其光电性能,制备出高质量的ZnO薄膜是实现其应用的关键。文章从制备方法、掺杂浓度和退火等方面综述了Sn掺杂ZnO(ZnO:Sn)薄膜光电性能的研究进展,提出了降低ZnO:Sn薄膜电阻率和提高透光率的有效途径。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 黄树来,马瑾,刘晓梅,马洪磊,孙征,张德恒;ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质[J];半导体学报;2004年01期
2 韦敏;邓宏;王培利;李阳;;ZnO基紫外探测器的研究进展与关键技术[J];材料导报;2007年12期
3 叶志镇,张银珠,陈汉鸿,何乐年,邹璐,黄靖云,吕建国;ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究[J];电子学报;2003年11期
4 王峰;张志勇;闫军锋;李林;贠江妮;;ZnO-SnO_2透明导电薄膜的制备及性能研究[J];光子学报;2009年12期
5 葛春桥;郭爱云;胡小峰;;掺杂透明导电半导体薄膜的光电性能研究[J];应用光学;2006年01期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王怡;江伟;邢光建;武光明;李东临;;TiO_2/ZnO薄膜紫外探测器的光电特性[J];半导体光电;2009年04期
2 王丽;方亮;吴芳;谌夏;阮海波;;透明导电GZO薄膜电学和光学性能的研究进展[J];半导体技术;2012年07期
3 余旭浒,马瑾,计峰,王玉恒,王翠英,马洪磊;射频磁控溅射制备ZnO∶Ga透明导电膜及特性[J];半导体学报;2005年02期
4 王玉恒,马瑾,计峰,余旭浒,张锡健,马洪磊;SnO_2:Sb薄膜的制备和光致发光性质[J];半导体学报;2005年05期
5 黄丽,李喜峰,张群,缪维娜,张莉,章壮健,华中一;渠道火花烧蚀法制备In_2O_3∶Mo透明导电薄膜[J];半导体学报;2005年11期
6 冯士维;李瑛;孙静莹;谢雪松;杨集;张跃宗;卢毅成;;ZnO紫外光电导型探测器的制备与研究[J];北京工业大学学报;2007年07期
7 周鸣鸽;战可涛;;溶胶-凝胶法制备掺铝氧化锌透明导电膜的正交实验研究[J];北京化工大学学报(自然科学版);2009年03期
8 江辉明,叶志清,曾明生;脉冲激光沉积(PLD)机理分析及其应用[J];江西师范大学学报(自然科学版);2005年01期
9 吴跃波;黄波;吴孙桃;;ZnO薄膜紫外探测器的研制[J];传感技术学报;2008年07期
10 吴跃波;杨启耀;雷声;吴孙桃;;退火对ZnO薄膜特性的影响与紫外探测器的研制[J];传感技术学报;2012年05期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 万翠凤;金胜明;;氧化锌掺杂制备高导电性粉末及应用[A];第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 赵旺;MOCVD法制备氧化锌发光器件及薄膜晶体管的研究[D];吉林大学;2011年
2 向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
3 赵涧泽;MOCVD生长Sb掺杂ZnO薄膜的基本特性及ZnO同质结发光器件研究[D];大连理工大学;2011年
4 刘卫卫;ZnO基薄膜材料及其p型掺杂特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
5 韩舜;MgZnO薄膜及其紫外光电探测器制备和特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
6 肖芝燕;氮掺杂p型ZnO薄膜材料的制备及光电性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 陈艳伟;ZnO、ZnO:In一维纳米结构材料的制备及其光伏器件[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
8 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
9 戴江南;ZnO薄膜的常压MOCVD生长及掺杂研究[D];南昌大学;2007年
10 刘维峰;ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张兴来;ZnO薄膜的制备和紫外探测器的研究[D];长春理工大学;2010年
2 赵兴亮;Mn、Co、Al掺杂SiC薄膜制备及其光敏性质研究[D];天津理工大学;2010年
3 李勇;A1掺杂ZnO薄膜的制备及激光感生电压效应[D];昆明理工大学;2010年
4 王敬宇;铁电薄膜、半导体薄膜应力的X射线衍射表征与研究[D];电子科技大学;2011年
5 马向丽;ZnO薄膜及其光电器件的室温制备及性能研究[D];浙江大学;2011年
6 王佳佳;电沉积锌/氧化锌薄膜及生长机理[D];吉林大学;2011年
7 徐海军;二步法制备绒面结构ZAO薄膜及其在非晶硅薄膜太阳电池前电极应用研究[D];景德镇陶瓷学院;2011年
8 刘凤琼;Li、Mg掺杂/Li-Mg共掺杂ZnO薄膜及其ZnO-金属肖特基二极管的研制[D];兰州大学;2011年
9 于丽媛;取向ZnO/Cu_2O异质结构纳米线阵列的制备及特性研究[D];辽宁师范大学;2011年
10 李大伟;掺杂ZnO薄膜的制备及其异质结紫外光特性研究[D];电子科技大学;2011年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 叶志镇,陈汉鸿,刘榕,张昊翔,赵炳辉;直流磁控溅射ZnO薄膜的结构和室温PL谱[J];半导体学报;2001年08期
2 黄树来,马瑾,刘晓梅,马洪磊,孙征,张德恒;ZnO-SnO_2透明导电膜的低温制备及性质[J];半导体学报;2004年01期
3 张德恒;透明导电膜中光吸收边的移动[J];半导体杂志;1998年03期
4 赵懿琨;连洁;张飒飒;王公堂;宫文栎;于元勋;卜刚;;ZnO基紫外探测器的研究进展[J];材料导报;2006年01期
5 孙超,陈猛,裴志亮,曹鸿涛,黄荣芳,闻立时;透明导电膜ZnO:Al(ZAO)的组织结构与特性 [J];材料研究学报;2002年02期
6 王丽玉,谢家纯,林碧霞,王克彦,傅竹西;n-ZnO/p-Si异质结UV增强型光电探测器的研究[J];电子元件与材料;2004年01期
7 吴春春,杨辉,陆文伟;sol-gel法制备ATO透明导电薄膜[J];电子元件与材料;2005年03期
8 叶志镇,张银珠,陈汉鸿,何乐年,邹璐,黄靖云,吕建国;ZnO光电导紫外探测器的制备和特性研究[J];电子学报;2003年11期
9 高晖,邓宏,李燕;ZnO肖特基势垒紫外探测器[J];发光学报;2005年01期
10 黄树来,马瑾,计峰,余旭浒,王玉恒,马洪磊;磁控溅射有机衬底ZnO∶SnO_2透明导电膜的结构和光电特性[J];功能材料;2004年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 范丽琴;裴瑜;林丽梅;詹仁辉;赖发春;;溅射功率对掺铝氧化锌薄膜光电学性质的影响[J];福建师范大学学报(自然科学版);2008年05期
2 赵希磊;王科范;张伟风;顾玉宗;;Sn量子点的研究进展[J];材料导报;2010年S1期
3 吕旗,姜恩永,李金锷;FeWB金属玻璃高温电学性质的研究[J];天津大学学报;1986年01期
4 李爱丽;闫金良;石亮;刘建军;;基底温度对ZnO/Cu/ZnO透明导电膜性能的影响[J];人工晶体学报;2009年05期
5 杨兵初;李雪勇;聂国政;;掺铝氧化锌薄膜的光电性能[J];中南大学学报(自然科学版);2006年06期
6 牛建钢;赵五洲;高巍;王翠表;孙维连;;立方型Ti-B-N的光学性质的计算[J];光学学报;2008年02期
7 刘汉法;张化福;类成新;袁长坤;;薄膜厚度对ZnO∶Zr透明导电薄膜光电性能的影响[J];液晶与显示;2008年06期
8 梁鸿东;梁海燕;周方桥;王肖燕;;受主掺杂对BaSnO_3电阻的电学性能影响[J];山西师范大学学报(自然科学版);2009年02期
9 袁明;李宏建;李雪勇;徐仁伯;周子游;王继飞;;氧氩比对钴掺杂氧化锌薄膜光电性能的影响[J];发光学报;2010年04期
10 刘波;赵小如;冯娴娴;刘凯;赵亮;;掺杂氧化锌薄膜的最新进展[J];液晶与显示;2009年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王晓姹;吴坚青;李志青;吴萍;姜恩永;白海力;;非晶CN_x薄膜的光学性质和电学性质[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
2 刘立伟;耿秀梅;李伟伟;张智军;程国胜;;石墨烯-半导体量子点非共价复合体系制备及光电性能[A];中国化学会第27届学术年会第04分会场摘要集[C];2010年
3 汲明亮;李凤岩;何青;李伟;孙云;刘唯一;徐传明;周志强;;射频溅射氧化锌薄膜晶体结构和电学性质[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
4 李林娜;薛俊明;孙建;耿新华;赵颖;;Sn含量对低温制备In_2O_3:Sn薄膜性能的影响[A];第十届中国太阳能光伏会议论文集:迎接光伏发电新时代[C];2008年
5 董利民;田杰谟;张宝清;;碳陶瓷复合材料热学和电学性能研究[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 张俊双;叶勤;;AZO透明导电薄膜的研究进展[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
7 朱世富;杜文娟;赵北君;何知宇;李佳伟;张顺如;张熠;;CdGeAs_2晶体的光学性质研究[A];第15届全国晶体生长与材料学术会议论文集[C];2009年
8 吕宏洋;郑金标;;溶胶-凝胶法制备掺Er的钛酸钡热敏陶瓷的研究[A];2005年全国高分子学术论文报告会论文摘要集[C];2005年
9 王立冬;陆丹;马於光;;纳米SiO_2/共轭聚合物复合物结构及光学性质[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
10 陈娜;曹江利;乔利杰;;高温氢致氧化铝电学性能改性的研究[A];第四届全国反应堆物理与核材料学术研讨会论文集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 敬松;缓释及控释注射剂研究进展[N];中国医药报;2004年
2 张鹏;中德专家共商肝癌生物信号转导研究进展[N];科技日报;2008年
3 本报记者 张九陆;进军网络核心[N];中国财经报;2002年
4 李丹 苏玉君 郭战峰;《气候变化研究进展》第一届编辑委员会会议召开[N];中国气象报;2005年
5 莫伟;糖尿病证型客观化研究进展[N];中国医药报;2004年
6 长虹;生脉饮研究进展[N];中国医药报;2001年
7 陶春祥;大黄治疗慢性肾功能衰竭研究进展[N];中国医药报;2001年
8 张骁束;梅英;单克隆抗体的研究进展[N];中国医药报;2003年
9 杨传华 陆峰;中西医结合溶栓治疗急性心肌梗死研究进展[N];中国医药报;2003年
10 庄愉;AD治疗药物研究进展[N];中国医药报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘艳辉;FeS_2薄膜制备及光电性能[D];浙江大学;2006年
2 陈复生;大豆蛋白凝胶光学性质及其应用的研究[D];中国农业大学;2002年
3 贾璐;非晶GaN薄膜的制备及性能和碳纳米管的LB排布[D];兰州大学;2009年
4 李金华;Mn掺杂ZnO纳米晶的光学和磁学性质研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
5 杨志林;金属纳米粒子的光学性质及过渡金属表面增强拉曼散射的电磁场机理研究[D];厦门大学;2006年
6 齐济;钒氧化物及其复合玻璃的制备与性质研究[D];大连理工大学;2008年
7 彭丽萍;In掺杂ZnO薄膜的制备与特性研究[D];重庆大学;2010年
8 陈恒智;稀土掺杂Bi_3TiNbO_9铁电氧化物的光学性质研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
9 杨帆;镓铟氧化物薄膜的制备及性质研究[D];山东大学;2009年
10 贠江妮;钙钛矿型氧化物半导化掺杂与表面吸附光电特性的理论研究[D];西北大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 夏志林;电子束蒸发制备AZO薄膜的光电性能研究[D];武汉理工大学;2004年
2 邓志兵;溶胶—凝胶法制备ATO透明导电薄膜的光电性质[D];华中科技大学;2006年
3 崔心东;ZnO纳米复合薄膜的制备及其结构和电学性能的研究[D];中国石油大学;2009年
4 程有光;溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌薄膜及其光电性能研究[D];华中科技大学;2008年
5 丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
6 孙立涛;ZnO稀磁半导体的制备及表征[D];长春理工大学;2009年
7 任广剑;氧化物稀磁半导体的研究进展[D];东北师范大学;2009年
8 陈欣;脉冲激光沉积法制备ZnO:Al透明导电薄膜的研究[D];武汉大学;2005年
9 张瑞锋;量子阱红外探测器及红外材料光电性能的研究[D];山东大学;2005年
10 韦美琴;溶胶—凝胶法研制ZAO透明导电薄膜[D];安徽工程科技学院;2007年
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