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《半导体光电》 2011年04期
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基于CCD工艺的模型参数提取测试图形设计

祝晓笑  石念  杨洪  翁雪涛  
【摘要】:介绍了一套基于CCD工艺的模型参数提取用测试图形(Testchip)设计方法。该Testchip的设计充分考虑了CCD工艺特征、中测测试条件、CCD放大器特性等各种关键因素,并在对应的工艺线进行流片,得到了完整的测试数据。
【作者单位】重庆光电技术研究所;
【分类号】:TN386.5

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