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《半导体光电》 2010年05期
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沉积温度对纳米ZnO薄膜的结构和光电性能的影响

岳兰  孟繁新  
【摘要】:采用阴极电沉积的方法,用ZnCl2的二甲基亚砜溶液做电解液,在导电玻璃上制备了纳米ZnO薄膜。研究了沉积温度对薄膜结构特性和光电性能的影响。XRD分析表明,ZnO薄膜为纤锌矿结构,电解液温度的升高能促进纳米ZnO薄膜的(002)面(c轴)择优取向的程度。随着电解液温度的升高,薄膜的禁带宽度和面电阻减小。光学测试表明样品的透射率可高达80%以上,电学测试表明样品的面电阻值最小可达7.57×104Ω/□。AFM显示电解液温度对ZnO晶粒形貌及晶粒大小的影响很大。

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【引证文献】
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【参考文献】
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【共引文献】
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【同被引文献】
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2 吕向锋;高洪林;马亮;王新华;;基于LabVIEW串口通信的研究[J];国外电子测量技术;2009年12期
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【二级参考文献】
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2 董有忠,郑毓峰,张校刚,段鹤,孙言飞,陈艳华;电沉积FeS_2(Pyrite)薄膜的制备与性能研究[J];功能材料;2005年02期
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【相似文献】
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10 吕玉珍;郭林;李成榕;汪佛池;;简单溶液法制备氧化锌纳米棒及光学性质[J];发光学报;2009年04期
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10 张铮;黄运华;李萍;廖庆亮;张跃;;基于ZnO纳米阵列的应力传感器构建及性能测试[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
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7 史新福;直流反应和射频磁控溅射制备的Al掺杂ZnO薄膜结构与光学性质[D];西北师范大学;2010年
8 郝红静;低温溶液法制备ZnO:Co纳米粉体及性质研究[D];河北师范大学;2011年
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10 锁雅芹;Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的结构及光学性质研究[D];兰州大学;2010年
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